详情见附件
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序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	氧化清洗湿台	1	气压控制：具有氮气、CDA、排风具备压力监控功能。其他参数详见第八章	无
2	标准清洗湿台	2	水气枪：配有进口PP水气枪。其他参数详见第八章	无
3	硫酸去胶湿台	1	测漏感知：设备底部配有防漏盘和漏液传感器检测漏液，防漏盘上的漏液能通过排放端口排走。其他参数详见第八章	无
4	有机去胶湿台	1	移门：有机玻璃移门，配有检测门开传感器，具有联动互锁功能。其他参数详见第八章	无
5	BOE湿台	1	定位方式：底部附万向转轮与活动式调整脚。其他参数详见第八章	无

8英寸MEMS晶圆生产线之氧化清洗湿台、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿台
、BOE湿台 - 国际招标澄清或变更公告(1)
澄清或变更简要说明：变更招标文件
苏美达 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-
04-30在中国 (略) 发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:品目1
设备名称：氧化清洗湿台
设备数量：1台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺，采用H2SO4、H2O2、HF、氨水
和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。
品目2
设备名称：标准清洗湿台
设备数量：2台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺，采用H2SO4、H2O2、HF、氨水
和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。
品目3
设备名称：硫酸去胶湿台
设备数量：1台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆光刻胶去除清洗工艺，采用H2SO4、H2O2和NH4OH溶液通过化学反
应达到光刻胶去除、清洗的作用。
品目4
设备名称：有机去胶湿台
设备数量：1台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆聚合物去除工艺，采用EKC溶液和NMP溶液通过化学反应达到去除
聚合物和光刻胶的目的。
品目5
设备名称：BOE湿台
设备数量：1台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆二氧化硅腐蚀、氮化硅腐蚀工艺，采用HF、NH4F、H3PO4溶液通过
化学反应达到腐蚀二氧化硅和氮化硅的目的。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF20/02
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之氧化清洗湿台、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿
台、BOE湿台
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
数量 简要技术规格
序号 产品名称
1 氧化清洗湿台 1 气压控制：具有氮气、CDA、排风具备压力监控功能。其他参数详见第八章
2 标准清洗湿台 2 水气枪：配有进口PP水气枪。其他参数详见第八章
3 硫酸去胶湿台 1 测漏感知：设备底部配有防漏盘和漏液传感器检测漏液，防漏盘上的漏液能通过排放端口排走。其他参数详见第八章 无
4 有机去胶湿台 1 移门：有机玻璃移门，配有检测门开传感器，具有联动互锁功能。其他参数详见第八章
1 定位方式：底部附万向转轮与活动式调整脚。其他参数详见第八章
5
BOE湿台
备注
无
无
无
无
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书
，如为境外企业提供企业注册登记证。
② 投标方可以是设备制造厂商或设备再制造厂商，也可以是设备授权代理商，代理商需具有设备制
造厂商的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供承诺书，格式自理）。
⑤ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-29
招标文件领购结束时间:2024-05-09
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦8楼西侧（ (略) (略) 198号）
招标文件售价:￥3000/$400
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-05-22 10:00
投标文件送达地点:苏美达大厦辅楼3楼开标室
开标地点:苏美达大厦辅楼3楼开标室
6、投标人在投标前 (略) （http://**）或机电产品 (略) （
http://**）完成注册及信息核验。评标结果 (略) 和中国 (略) 公
示。
7、联系方式
招标人:安徽华鑫 (略)
地址: (略) 东海大道888号
联系人:陈逊频
联系方式:*
招标代理机构:苏美达 (略)
地址: (略) 198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/周翠
联系方式:*、025-*
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）
招标人或其招标代理机构：___________________（盖章）

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序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	氧化清洗湿台	1	气压控制：具有氮气、CDA、排风具备压力监控功能。其他参数详见第八章	无
2	标准清洗湿台	2	水气枪：配有进口PP水气枪。其他参数详见第八章	无
3	硫酸去胶湿台	1	测漏感知：设备底部配有防漏盘和漏液传感器检测漏液，防漏盘上的漏液能通过排放端口排走。其他参数详见第八章	无
4	有机去胶湿台	1	移门：有机玻璃移门，配有检测门开传感器，具有联动互锁功能。其他参数详见第八章	无
5	BOE湿台	1	定位方式：底部附万向转轮与活动式调整脚。其他参数详见第八章	无

8英寸MEMS晶圆生产线之氧化清洗湿台、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿台
、BOE湿台 - 国际招标澄清或变更公告(1)
澄清或变更简要说明：变更招标文件
苏美达 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-
04-30在中国 (略) 发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:品目1
设备名称：氧化清洗湿台
设备数量：1台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺，采用H2SO4、H2O2、HF、氨水
和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。
品目2
设备名称：标准清洗湿台
设备数量：2台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆溅射前清洗、氧化清洗、键合工艺，采用H2SO4、H2O2、HF、氨水
和盐酸溶液通过化学反应达到清洗晶圆表面的目的。
品目3
设备名称：硫酸去胶湿台
设备数量：1台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆光刻胶去除清洗工艺，采用H2SO4、H2O2和NH4OH溶液通过化学反
应达到光刻胶去除、清洗的作用。
品目4
设备名称：有机去胶湿台
设备数量：1台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆聚合物去除工艺，采用EKC溶液和NMP溶液通过化学反应达到去除
聚合物和光刻胶的目的。
品目5
设备名称：BOE湿台
设备数量：1台
设备用途：本设备适用于八寸晶圆二氧化硅腐蚀、氮化硅腐蚀工艺，采用HF、NH4F、H3PO4溶液通过
化学反应达到腐蚀二氧化硅和氮化硅的目的。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF20/02
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之氧化清洗湿台、标准清洗湿台、硫酸去胶湿台、有机去胶湿
台、BOE湿台
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
数量 简要技术规格
序号 产品名称
1 氧化清洗湿台 1 气压控制：具有氮气、CDA、排风具备压力监控功能。其他参数详见第八章
2 标准清洗湿台 2 水气枪：配有进口PP水气枪。其他参数详见第八章
3 硫酸去胶湿台 1 测漏感知：设备底部配有防漏盘和漏液传感器检测漏液，防漏盘上的漏液能通过排放端口排走。其他参数详见第八章 无
4 有机去胶湿台 1 移门：有机玻璃移门，配有检测门开传感器，具有联动互锁功能。其他参数详见第八章
1 定位方式：底部附万向转轮与活动式调整脚。其他参数详见第八章
5
BOE湿台
备注
无
无
无
无
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:① 投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书
，如为境外企业提供企业注册登记证。
② 投标方可以是设备制造厂商或设备再制造厂商，也可以是设备授权代理商，代理商需具有设备制
造厂商的有效授权书。
③ 投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④ 投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供承诺书，格式自理）。
⑤ 单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-29
招标文件领购结束时间:2024-05-09
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦8楼西侧（ (略) (略) 198号）
招标文件售价:￥3000/$400
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-05-22 10:00
投标文件送达地点:苏美达大厦辅楼3楼开标室
开标地点:苏美达大厦辅楼3楼开标室
6、投标人在投标前 (略) （http://**）或机电产品 (略) （
http://**）完成注册及信息核验。评标结果 (略) 和中国 (略) 公
示。
7、联系方式
招标人:安徽华鑫 (略)
地址: (略) 东海大道888号
联系人:陈逊频
联系方式:*
招标代理机构:苏美达 (略)
地址: (略) 198号11楼
联系人:江岳峰/朱志云/周翠
联系方式:*、025-*
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名）
招标人或其招标代理机构：___________________（盖章）