京东方第8.6代AMOLED生产线项目国际招标澄清或变更公告2/09
京东方第8.6代AMOLED生产线项目国际招标澄清或变更公告2/09
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244BOECDDT01/09 | 干法刻蚀机 | 2&5套 | 设备用途及基本要求 本系统主要用于G8玻璃面板的柔性/刚性AMOLED干法刻蚀工艺,干法刻蚀机的主要系统应包括工艺腔室、真空系统、压力计、射频发生器、气体质量流量控制器、冷却系统、电极、搬送系统和软件系统等。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 本设备主要应用于G8 Half 2 in 1玻璃进行柔性主动矩阵有机发光二极体干法刻蚀工艺,干法刻蚀主设备应该包含工艺腔,真空系统,压力计,射频发生器、流量控制器,冷却系统,电极,传送系统,软件系统和附属设备等。需要采用合理的设计以及先进的技术来确保设备具有优异的性能表现。动作基础部分选择应确保设备系统具备高准确性,良好的可靠性以及快速响应度。设备应该便于使用,操作和维护,具备艺术造型,结构紧凑,性能稳定和带来满意的售后服务。该设备应具有良好的安全保护措施,例如互锁功能,紧急停止功能,防高压措施等等 | CNY25000/USD4050 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244BOECDDT01/09 | 干法刻蚀机 | 2&5套 | 设备用途及基本要求 本系统主要用于G8玻璃面板的柔性/刚性AMOLED干法刻蚀工艺,干法刻蚀机的主要系统应包括工艺腔室、真空系统、压力计、射频发生器、气体质量流量控制器、冷却系统、电极、搬送系统和软件系统等。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 本设备主要应用于G8 Half 2 in 1玻璃进行柔性主动矩阵有机发光二极体干法刻蚀工艺,干法刻蚀主设备应该包含工艺腔,真空系统,压力计,射频发生器、流量控制器,冷却系统,电极,传送系统,软件系统和附属设备等。需要采用合理的设计以及先进的技术来确保设备具有优异的性能表现。动作基础部分选择应确保设备系统具备高准确性,良好的可靠性以及快速响应度。设备应该便于使用,操作和维护,具备艺术造型,结构紧凑,性能稳定和带来满意的售后服务。该设备应具有良好的安全保护措施,例如互锁功能,紧急停止功能,防高压措施等等 | CNY25000/USD4050 |
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