0730-164011020191/66干刻涡轮分子泵国际招标澄清或变更公告(2)
0730-164011020191/66干刻涡轮分子泵国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 干刻涡轮分子泵 | 286台 | 本设备配套应用于TEL 低温多晶硅干刻蚀机台Impressio 1800 使用96台;ICD 低温多晶硅灰化机台HE1800-CPCT 使用90台;备用泵12台;刻蚀机使用涡轮分子泵共198台;本设备配套应用于NISSIN 低温多晶硅离子注入设备iG6 2个型号分别为77台及7台;型号1备用泵3台, 型号2备用泵1台(备用泵共4台);Nissin 设备共使用涡轮分子泵88台; | 点击查看>> |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 干刻涡轮分子泵 | 286台 | 本设备配套应用于TEL 低温多晶硅干刻蚀机台Impressio 1800 使用96台;ICD 低温多晶硅灰化机台HE1800-CPCT 使用90台;备用泵12台;刻蚀机使用涡轮分子泵共198台;本设备配套应用于NISSIN 低温多晶硅离子注入设备iG6 2个型号分别为77台及7台;型号1备用泵3台, 型号2备用泵1台(备用泵共4台);Nissin 设备共使用涡轮分子泵88台; | 点击查看>> |
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