燕东科技中电流离子注入设备采购国际招标澄清或变更公告2
燕东科技中电流离子注入设备采购国际招标澄清或变更公告2
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 中电流离子注入设备 | 1台 | 该设备用于离子注入工序,为实现半导 (略) 60nm硅片制造流程中的中电流离子注入工艺。 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 中电流离子注入设备 | 1台 | 该设备用于离子注入工序,为实现半导 (略) 60nm硅片制造流程中的中电流离子注入工艺。 |
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