1123-164CZ2016562二期前期验证制程气体系统国际招标澄清或变更公告(2)
1123-164CZ2016562二期前期验证制程气体系统国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 特殊气体供应系统 | 1套 | 1.特殊气体供应系统设备的采购、设计、安装、调试、试车和人员培训2.设备及其规格如下:SiF4气柜1套,SiF4-VMB1套,SiH4-VMB1套,NF3-VMB1套,NH3-VMB1套,H2-VMB1套,N2O-VMP1套,4%H2/N2-VMB6套及配套的特殊气体管路;(1)设备:颗粒测试 > 0.1μm/ ft3 /5min/3 times ≦1颗;氦气测漏: ≦1X10 -9 atm-cc/sec; 氧和水测试:≦10 ppb;压力测试: 耐压:测试条件下,1.5倍的使用压力保持30分钟无压力下降;保压:使用1.1倍的使用压力保压24h,压力下降小于5psi。具体规格要求详见设备规格表;(2)管路规格如下:SUS316L EP,Ra<=0.15mm , Rmax<0.5mm,操作压力0~10kg/cm2,颗粒小于0.1mm 1个以下/ ft3,颗粒测试 > 0.1μm/ ft3 /5min/3 times ≦1颗;氦气测漏: ≦1X10 -9 atm-cc/sec; 氧和水测试:≦10 ppb;压力测试:耐压:测试条件下,1.5倍的使用压力保持30分钟无压力下降;保压:使用1.1倍的使用压力保压24h,压力下降小于5psi。具体规格要求详见设备规格表;其他阀件规格详见材料规格表。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
2 | 大宗气体供应系统 | 1套 | 1.大宗气体供应系统设备的采购、设计、安装、调试、试车和人员培训 2.设备及其规格如下:颗粒测试 > 0.1μm/ ft3 /5min/3 times ≦1颗;氦气测漏: ≦1X10 -9 atm-cc/sec; 氧和水测试:≦10 ppb;压力测试:耐压:测试条件下,1.5倍的使用压力保持30分钟无压力下降;保压:使用1.1倍的使用压力保压24h,压力下降小于5psi。材料具体规格要求详见材料规格表。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
3 | 洁净干燥压缩空气供应系统 | 1套 | 1.洁净干燥压缩空气供应系统设备的采购、设计、安装、调试、试车和人员培训 2.设备及其规格如下:颗粒测试 > 0.1μm/ ft3 /5min/3 times ≦10颗;水测试:小于-70C;压力测试:耐压:测试条件下,1.5倍的使用压力保持30分钟无压力下降;保压:使用1.1倍的使用压力保压24h,压力下降小于5psi。材料具体规格要求详见材料规格表。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
4 | 气体监控系统 | 1套 | 1.气体监控系统设备的采购、设计、安装、调试、试车和人员培训 2.设备及其规格如下:电化学式气体侦测器 50颗,UPS 1台,压力传感器3颗,交换机1台,转换器1台,软体控制程式1套以及相关电力、仪控线缆一套; (1)侦测器规格:最小侦测极限:NF3≦3.0ppm,SiH4≦1.80 ppm,NH3≦ 9.0ppm,H2≦ 90ppm,SiF4≦1.0ppm,O2 ≦5% v/v,其他参数规格详见侦测器技术规格表(2)具体规格要求详见气体监控系统技术规范书与气体泄漏侦测系统工程技术规范。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
5 | 其他辅助设施 | 1套 | 1.管路支吊架1套;2.特气系统的吹扫与仪控气源配套设施1套;3.其他假设工程与配套设施。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 特殊气体供应系统 | 1套 | 1.特殊气体供应系统设备的采购、设计、安装、调试、试车和人员培训2.设备及其规格如下:SiF4气柜1套,SiF4-VMB1套,SiH4-VMB1套,NF3-VMB1套,NH3-VMB1套,H2-VMB1套,N2O-VMP1套,4%H2/N2-VMB6套及配套的特殊气体管路;(1)设备:颗粒测试 > 0.1μm/ ft3 /5min/3 times ≦1颗;氦气测漏: ≦1X10 -9 atm-cc/sec; 氧和水测试:≦10 ppb;压力测试: 耐压:测试条件下,1.5倍的使用压力保持30分钟无压力下降;保压:使用1.1倍的使用压力保压24h,压力下降小于5psi。具体规格要求详见设备规格表;(2)管路规格如下:SUS316L EP,Ra<=0.15mm , Rmax<0.5mm,操作压力0~10kg/cm2,颗粒小于0.1mm 1个以下/ ft3,颗粒测试 > 0.1μm/ ft3 /5min/3 times ≦1颗;氦气测漏: ≦1X10 -9 atm-cc/sec; 氧和水测试:≦10 ppb;压力测试:耐压:测试条件下,1.5倍的使用压力保持30分钟无压力下降;保压:使用1.1倍的使用压力保压24h,压力下降小于5psi。具体规格要求详见设备规格表;其他阀件规格详见材料规格表。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
2 | 大宗气体供应系统 | 1套 | 1.大宗气体供应系统设备的采购、设计、安装、调试、试车和人员培训 2.设备及其规格如下:颗粒测试 > 0.1μm/ ft3 /5min/3 times ≦1颗;氦气测漏: ≦1X10 -9 atm-cc/sec; 氧和水测试:≦10 ppb;压力测试:耐压:测试条件下,1.5倍的使用压力保持30分钟无压力下降;保压:使用1.1倍的使用压力保压24h,压力下降小于5psi。材料具体规格要求详见材料规格表。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
3 | 洁净干燥压缩空气供应系统 | 1套 | 1.洁净干燥压缩空气供应系统设备的采购、设计、安装、调试、试车和人员培训 2.设备及其规格如下:颗粒测试 > 0.1μm/ ft3 /5min/3 times ≦10颗;水测试:小于-70C;压力测试:耐压:测试条件下,1.5倍的使用压力保持30分钟无压力下降;保压:使用1.1倍的使用压力保压24h,压力下降小于5psi。材料具体规格要求详见材料规格表。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
4 | 气体监控系统 | 1套 | 1.气体监控系统设备的采购、设计、安装、调试、试车和人员培训 2.设备及其规格如下:电化学式气体侦测器 50颗,UPS 1台,压力传感器3颗,交换机1台,转换器1台,软体控制程式1套以及相关电力、仪控线缆一套; (1)侦测器规格:最小侦测极限:NF3≦3.0ppm,SiH4≦1.80 ppm,NH3≦ 9.0ppm,H2≦ 90ppm,SiF4≦1.0ppm,O2 ≦5% v/v,其他参数规格详见侦测器技术规格表(2)具体规格要求详见气体监控系统技术规范书与气体泄漏侦测系统工程技术规范。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
5 | 其他辅助设施 | 1套 | 1.管路支吊架1套;2.特气系统的吹扫与仪控气源配套设施1套;3.其他假设工程与配套设施。 | *交货期:不晚于 * 日交付使用。交货地点: (略) 工业区九工路1568号报价方式:交钥匙工程具体技术要求制程气体系统技术规范及其相关附件 |
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