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(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)
原子层沉积系统第1次答疑与澄清修改文件
(招标编号：ZDAZB-FS-*)
一、内容：
项目编号：ZDAZB--FS-*
项目名称：原子层沉积系统
答疑与澄清修改文件发出时间：2024年8月12日
原定开标时间：2024年8月26日北京时间下午14：30
一、答疑内容
问题★A1203薄膜的均匀性优于1%(8寸硅片)。针对电池极片这种柔性样品，8寸是指
极片的长还是宽？对于废标参数，请澄清样品尺寸和类别的描述，规定如正规的极片尺寸，
勿用和锂电行业不相干的晶圆LD尺寸要求，且前后矛盾模糊的参数。
答：该要求是针对块状或平面样品包覆层的均匀性，例如锂离子电池的极片，单位是英寸。
样品不限于晶圆，只要可满足8英寸长的块状或平面样品（柔性样品可卷曲）的均匀包覆，
即视为满足条件。
问题二：2)最大硅片尺寸：8”(200m)直径x0.25”(6.4m)高度。寸和英寸是两种不
同的单位，编号3的技术参数和该参数有矛盾，此处规定的是8英寸，200m。请澄清该条
参数与3号参数之间的关系，否则将给投标人造成极大的困扰。请统一平面样品的尺寸。
(19
答：参考问题一的答复，单位为英寸。
招标
问题三：4)★粉末承载器，分散模式为气体流化或样品室能转。气体流化是更优于旋转的
粉末分敢方式，且二者之间的成本存在明显的差异。这一点在行业内也达成共识。可参考CD
的卧式反应炉效果相较立式流化床效果更差，行业内更偏爱立式流化床方案。流化床是更优
秀的气相沉积方案已经是行业常识。作为废标参数，措述过于简单。如使用旋转床，转速，
正转/反转功能是否可以调整？
作为废标参数，请澄清是提供任意一种方式均可，且说明提供气体流化床方式应为更优异的
方案，可进行技术加分。否则该参数对使用流化床方案的厂商不公正。
答投标方可以详细阐述投标设备的先进性，并作同类设备对比：设备先进性有相应的评分
项。
问题四：8)▲具有防粉末粘结处理工艺，提高包覆均匀性和包覆率。描述太笼统，作为重
要参数，什么样的粘结处理工艺是符合要求的，什么样的处理工艺是更优异的，可以作为技
术加分？如何评判？请进行澄清说明。
答投标方可以详细阐述投标设备该功能的先进性，并作同类设备对比，提供支撑材料，证
明粉末包覆均匀性和包覆率。
二、本项目投标截止时间，开标时间廷期至北京时间2024年8月27日14时30分
三、其他说明
(1)本答疑与澄清修改文件是对招标文件的规定、修改或补充，对于招标文件及其他函件
内容相同（或相同性质）的内容应作修改或补充，投标人递交的投标文件中涉及到上述内容
的也应在相同的位置修改，否则后果自负
(2)如本答疑与澄清修改文件的内容与在此之前发出的招标文件、其他文件以及口头答复
有不一致的，均以本“答疑与澄清修改文件”的内容为准。
(3)本项目投标截止时间，开标时间已改变。
招标人：广东新型储 (略)
地址： (略) 越秀 (略) 水均岗8号
联系人：裴工
电话：*
招标代理机构： (略)
地址： (略) 天河 (略) 103号维多利广场A塔20楼
联系人：罗慧、高冰、段群丽、赵文杰（项目负贵人）
电话：*、*
2024年8月12日
延期开标：2024-08-2714：30：00
二、监督部门
本招标项目的监督部门为广东新型储 (略) 监督审计部。
三、联系方式
招标人：广东新型储 (略)
地址： (略) 越秀 (略) 水均岗8号
联系人：裴工
电话：*
电子邮件：/
招标代理机构： (略)
地址： (略) 天河 (略) 103号维多利广场A塔20楼
联系人：罗慧、高冰、段群丽（项目负责人：赵文杰）
电话：*
电子邮件：*@*63.com
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：么以立正（签名）
股份
招标人或其招标代理机构：
日(19)
招标专用章
用章详情见附件
(注：以下内容为附件图片识别，个别文字可能不准确，请以附件为准)
原子层沉积系统第1次答疑与澄清修改文件
(招标编号：ZDAZB-FS-*)
一、内容：
项目编号：ZDAZB--FS-*
项目名称：原子层沉积系统
答疑与澄清修改文件发出时间：2024年8月12日
原定开标时间：2024年8月26日北京时间下午14：30
一、答疑内容
问题★A1203薄膜的均匀性优于1%(8寸硅片)。针对电池极片这种柔性样品，8寸是指
极片的长还是宽？对于废标参数，请澄清样品尺寸和类别的描述，规定如正规的极片尺寸，
勿用和锂电行业不相干的晶圆LD尺寸要求，且前后矛盾模糊的参数。
答：该要求是针对块状或平面样品包覆层的均匀性，例如锂离子电池的极片，单位是英寸。
样品不限于晶圆，只要可满足8英寸长的块状或平面样品（柔性样品可卷曲）的均匀包覆，
即视为满足条件。
问题二：2)最大硅片尺寸：8”(200m)直径x0.25”(6.4m)高度。寸和英寸是两种不
同的单位，编号3的技术参数和该参数有矛盾，此处规定的是8英寸，200m。请澄清该条
参数与3号参数之间的关系，否则将给投标人造成极大的困扰。请统一平面样品的尺寸。
(19
答：参考问题一的答复，单位为英寸。
招标
问题三：4)★粉末承载器，分散模式为气体流化或样品室能转。气体流化是更优于旋转的
粉末分敢方式，且二者之间的成本存在明显的差异。这一点在行业内也达成共识。可参考CD
的卧式反应炉效果相较立式流化床效果更差，行业内更偏爱立式流化床方案。流化床是更优
秀的气相沉积方案已经是行业常识。作为废标参数，措述过于简单。如使用旋转床，转速，
正转/反转功能是否可以调整？
作为废标参数，请澄清是提供任意一种方式均可，且说明提供气体流化床方式应为更优异的
方案，可进行技术加分。否则该参数对使用流化床方案的厂商不公正。
答投标方可以详细阐述投标设备的先进性，并作同类设备对比：设备先进性有相应的评分
项。
问题四：8)▲具有防粉末粘结处理工艺，提高包覆均匀性和包覆率。描述太笼统，作为重
要参数，什么样的粘结处理工艺是符合要求的，什么样的处理工艺是更优异的，可以作为技
术加分？如何评判？请进行澄清说明。
答投标方可以详细阐述投标设备该功能的先进性，并作同类设备对比，提供支撑材料，证
明粉末包覆均匀性和包覆率。
二、本项目投标截止时间，开标时间廷期至北京时间2024年8月27日14时30分
三、其他说明
(1)本答疑与澄清修改文件是对招标文件的规定、修改或补充，对于招标文件及其他函件
内容相同（或相同性质）的内容应作修改或补充，投标人递交的投标文件中涉及到上述内容
的也应在相同的位置修改，否则后果自负
(2)如本答疑与澄清修改文件的内容与在此之前发出的招标文件、其他文件以及口头答复
有不一致的，均以本“答疑与澄清修改文件”的内容为准。
(3)本项目投标截止时间，开标时间已改变。
招标人：广东新型储 (略)
地址： (略) 越秀 (略) 水均岗8号
联系人：裴工
电话：*
招标代理机构： (略)
地址： (略) 天河 (略) 103号维多利广场A塔20楼
联系人：罗慧、高冰、段群丽、赵文杰（项目负贵人）
电话：*、*
2024年8月12日
延期开标：2024-08-2714：30：00
二、监督部门
本招标项目的监督部门为广东新型储 (略) 监督审计部。
三、联系方式
招标人：广东新型储 (略)
地址： (略) 越秀 (略) 水均岗8号
联系人：裴工
电话：*
电子邮件：/
招标代理机构： (略)
地址： (略) 天河 (略) 103号维多利广场A塔20楼
联系人：罗慧、高冰、段群丽（项目负责人：赵文杰）
电话：*
电子邮件：*@*63.com
招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：么以立正（签名）
股份
招标人或其招标代理机构：
日(19)
招标专用章
用章105