涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气设备采购及安装专业分包工程答疑补遗文件-答疑补遗
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涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气设备采购及安装专业分包工程答疑补遗文件-答疑补遗
涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程（6寸IGBT晶圆
生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装专业分包工程
答疑补遗（一）
各潜在投标人 ：
涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程（6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装专业分包工程答疑补遗如下：
一、答疑部分
提问1：
1、“招标公告”中描述：包括供应系统(含附属设备)所有的设备的供货、安装调试、验收，全部工艺流程涉及到的各工艺生产线系统设备、特气输送管道、VMB与设备进口端的连接；
本项目是否为特气主系统及二次配？
答复：是特气主系统及二次配。
2、“附件九-车间设备布置图*V01(1)”与“附件一、工艺需求表”机台数量不一致；如：图纸中硅蚀刻只有4台，UIM表中有8台；
UIM表中去胶机台在P146区域，但图纸中P146区域无机台，部分去胶机台在P141区域等，请核实各区域机台数量
答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
3、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”机台数量有差异；
如：（1）、“附件一、工艺需求表“中刻蚀区Ar需求只有10个点，特气分区汇总2中刻蚀Ar需求有25个点；（2）、“附件一、工艺需求表“中薄膜区SIH4需求有10个点，特气分区汇总2中薄膜区SIH4需求只有6个点，等差异项，请核实各区域机台数量
答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
4、“附件一、工艺需求表”中：去胶机台有4%H2/N2需求，
请明确4%H2/N2供应形式：1、贵司购买成品气瓶；2、配置混气装备；
答复：已移除此类气体需求，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
5、“附件一、工艺需求表”与“气体区域汇总表”中有差异项：
（1）、UIM表中，需求Cl2的机台是21台，气体区域汇总表需求机台是13台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（2）、UIM表中，需求N2O的机台是5台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（3）、UIM表中，需求SF6的机台是25台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（4）、UIM表中，需求Ar的机台是44台，气体区域汇总表需求机台是55台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（5）、气体区域汇总表中有C4F8需求，UIM表中无此系统细项
答复：UM表中为CH2F2，已替换为C4F8，详见补遗附件一“工艺需求表”。
（6）、UIM表中，需求C2F6的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（7）、UIM表中，需求1%PH3/HE的机台是4台，气体区域汇总表需求机台是5台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（8）、UIM表中，需求NH3的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是9台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（9）、气体区域汇总表中描述：管路设计以此汇总表为准，2024.7.25增加HCL、NF3气体，UIM表中无此系统细项
答复：HCL VMB 暂放P144房间（后期工艺预留），NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。
以上差异信息烦请明确；
如果有C4F8、HCl及NF3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计
答复：C4F8由UM表中CH2F2变更详见附件工艺需求表，HCL为后期工艺预留VMB暂放P144房间，NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。
6、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”差异项：
（1）、特气分区汇总2中，刻蚀区有C4F8和NF3需求，UIM表刻蚀区分项中没有此系统需求；
答复：以特气分区汇总表气体种类为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（2）、UIM表刻蚀区分项中有N2O和CH2F2、4%H2/N2需求，特气分区汇总2中没有此系统需求；
答复：以特气分区汇总表气体种类为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（3）、特气分区汇总2中，薄膜区有NH3需求，UIM表薄膜区分项中没有此系统需求；
答复：机台型号CONCEPT ONE 3台。
（4）、特气分区汇总2中，扩散区有NH3、HCl需求，UIM表扩散区分项中没有此系统需求；
以上差异信息烦请明确；
如果有NH3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计
答复：扩散NH3 VMB放P145房间，HCL VMB 暂放P144房间，以特气分区汇总2机台点位为准。
7、“附件一、工艺需求表”中：N2O、Ar、C2F6、5%PH3/N2、SIH4 系统
换瓶时间均低于1 天 此项烦请确认；
答复：按“附件五气体设备功能配置表”的要求配置。
8、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”列明有99.5%He/O2需求
请明确是否有99.5%He/O2系统需求，如果有请提供详细机台需求以便系统设计；
答复：已移除HE/O2系统需求，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
9、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”项目范围描述为：各系统含第一阶段二次配部分；
VMB/VMP中是否需考虑预留二阶段机台点位？
答复：以气体功能配置表数量为准,具体详见附件一中的气体区域汇总表。
10、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”和“附件五- 气体设备功能配置表”设备配置有冲突
烦请确认，设备配置以哪份文件为准？
答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。
11、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：监控系统需包含大宗气站的监控画面同步、大宗气体纯化器、CQC状态监控所属的输入输出信号配接和实现 GMS 监测的全部工作。
烦请提供需接GMS监控系统的设备数量及信号方式；
答复：已移除此项需求。详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”。
12、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：*方负责、VMB到*方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分&“涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB (略) 由*方负责）”
烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置
关于其中提问1：特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：*方负责、VMB到*方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分
答复1：*方负责VMB至*方H2主管预留点、VMB到机台的二次配管道。
关于其中提问2：涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB (略) 由*方负责）”
答复2：VDB已移除，*方负责从*方H2主管预留阀接入VMB，见一 (略) 平面布置 (略) 。
关于其中提问3：烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置
答复3：已移除VDB安装，*方从H2主管预留点位直接接入VMB，见一 (略) 平面布置图 (略) 。
提问2：
1、“招标公告”中描述：包括供应系统(含附属设备)所有的设备的供货、安装调试、验收，全部工艺流程涉及到的各工艺生产线系统设备、特气输送管道、VMB与设备进口端的连接；
本项目是否为特气主系统及二次配？
答复：是特气主系统及二次配。
2、“附件九-车间设备布置图*V01(1)”与“附件一、工艺需求表”机台数量不一致；如：图纸中硅蚀刻只有4台，UIM表中有8台；
UIM表中去胶机台在P146区域，但图纸中P146区域无机台，部分去胶机台在P141区域等，请核实各区域机台数量
答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
3、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”机台数量有差异；
如：（1）、“附件一、工艺需求表“中刻蚀区Ar需求只有10个点，特气分区汇总2中刻蚀Ar需求有25个点；（2）、“附件一、工艺需求表“中薄膜区SIH4需求有10个点，特气分区汇总2中薄膜区SIH4需求只有6个点，等差异项，请核实各区域机台数量
答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
4、“附件一、工艺需求表”中：去胶机台有4%H2/N2需求，
请明确4%H2/N2供应形式：1、贵司购买成品气瓶；2、配置混气装备；
答复：已移除此类气体需求，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
5、“附件一、工艺需求表”与“气体区域汇总表”中有差异项：
（1）、UIM表中，需求Cl2的机台是21台，气体区域汇总表需求机台是13台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（10）、UIM表中，需求N2O的机台是5台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（11）、UIM表中，需求SF6的机台是25台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（12）、UIM表中，需求Ar的机台是44台，气体区域汇总表需求机台是55台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（13）、气体区域汇总表中有C4F8需求，UIM表中无此系统细项
答复：UM表中为CH2F2，已替换为C4F8，详见补遗附件一“工艺需求表”。
（14）、UIM表中，需求C2F6的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（15）、UIM表中，需求1%PH3/HE的机台是4台，气体区域汇总表需求机台是5台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（16）、UIM表中，需求NH3的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是9台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（17）、气体区域汇总表中描述：管路设计以此汇总表为准，2024.7.25增加HCL、NF3气体，UIM表中无此系统细项
答复：HCL VMB 暂放P144房间（后期工艺预留），NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。
以上差异信息烦请明确；
如果有C4F8、HCl及NF3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计
答复：C4F8由UM表中CH2F2变更详见附件工艺需求表，HCL为后期工艺预留VMB暂放P144房间，NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。
6、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”差异项：
（1）、特气分区汇总2中，刻蚀区有C4F8和NF3需求，UIM表刻蚀区分项中没有此系统需求；
答复：以特气分区汇总表气体种类为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（4）、UIM表刻蚀区分项中有N2O和CH2F2、4%H2/N2需求，特气分区汇总2中没有此系统需求；
答复：以特气分区汇总表气体种类为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（5）、特气分区汇总2中，薄膜区有NH3需求，UIM表薄膜区分项中没有此系统需求；
答复：机台型号CONCEPT ONE 3台。
（4）、特气分区汇总2中，扩散区有NH3、HCl需求，UIM表扩散区分项中没有此系统需求；
以上差异信息烦请明确；
如果有NH3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计
答复：扩散NH3 VMB放P145房间，HCL VMB 暂放P144房间，以特气分区汇总2机台点位为准。
7、“附件一、工艺需求表”中：N2O、Ar、C2F6、5%PH3/N2、SIH4 系统
换瓶时间均低于1 天 此项烦请确认；
答复：按“附件五气体设备功能配置表”的要求配置。
8、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”列明有99.5%He/O2需求
请明确是否有99.5%He/O2系统需求，如果有请提供详细机台需求以便系统设计；
答复：已移除HE/O2系统需求，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
9、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”项目范围描述为：各系统含第一阶段二次配部分；
VMB/VMP中是否需考虑预留二阶段机台点位？
答复：以气体功能配置表数量为准,具体详见附件一中的气体区域汇总表。
10、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”和“附件五- 气体设备功能配置表”设备配置有冲突
烦请确认，设备配置以哪份文件为准？
答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。
11、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：监控系统需包含大宗气站的监控画面同步、大宗气体纯化器、CQC状态监控所属的输入输出信号配接和实现 GMS 监测的全部工作。
烦请提供需接GMS监控系统的设备数量及信号方式；
答复：已移除此项需求。详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”。
12、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：*方负责、VMB到*方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分&“涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB (略) 由*方负责）”
烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置
关于其中提问1：特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：*方负责、VMB到*方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分
答复1：*方负责VMB至*方H2主管预留点、VMB到机台的二次配管道。
关于其中提问2：涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB (略) 由*方负责）”
答复2：VDB已移除，*方负责从*方H2主管预留阀接入VMB，见一 (略) 平面布置 (略) 。
关于其中提问3：烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置
答复3：已移除VDB安装，*方从H2主管预留点位直接接入VMB，见一 (略) 平面布置图 (略) 。
提问3：
1、《附件-十二新凌微特气二次配》要求双套管配管尺寸为1/4”*3/8”,常规双套管1/4”内管需配置1/2”外管，请明确是否可改为1/2”外管；
答复：改为1/2外套管，具体详见补遗附件十二。
2、烦请提供厂区总平面布置图、明确氢气站在厂区中位置，确定H2室外管道走向和长度；
答复：见U-5室外管道平面布置图。
3、《特气发包技术规范》工程界面：*方负责H2主管预留安装阀门，*方负责接入VMB，请明确H2主管预留安装阀门形式及位置；
答复：位置见一层 (略) 平面布置 (略) ，DN25 316L EP隔膜阀。
4、请明确环评对氟化物惰性气体排放要求，是否可直接排放；
答复：接入厂务排气系统。
5、《特气发包技术规范》工程范围中材质要求：SIH2*L V+V,常规强酸性腐蚀的和强氧化性腐蚀的气体使用V+V管道，SIH2Cl2为易燃性气体，无腐蚀性，管道是否可采用SS316L EP;
答复：可以采用316L (略) 。
6、请明确《特气发包技术规范》与《附件五- 气体设备功能配置表》的优先级，以哪个为准，特气设备的配置在这个文件中有不同要求，并且部分设备的配置是是有错误的，比如NF3 GC配置称重等，请确认是否可以自行优化设备配置；
答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。
7、《附件一工艺需求表》与《附件九车间设备布置图*V01》比对，需求表上工艺设备数量和位置与平面图无法对应：(1)如设备布置图中P150-151区域的烘箱实际数量为0需求表上数量为4，P148区锥形面刻蚀实际数量为0需求表上数量为4。(2)设备区域是否错误，如溅射台需求表上再P136，设备布置图中在P153区域;
答复：以特气分区汇总表及设备布置图为准，具体详见气体区域汇总表。
8、本项目需要易燃、毒腐、氯气、惰性四个房间，图纸中只有3个特气间，是否能更改房间规划；
答复：增加1个气体房。
9、《特气发包技术规范》要求*方负责主配电柜电源接点，承揽商负责接入主配电柜，请明确主配电柜接点在平面图中位置；
答复：见CDS间电气图纸
答复：已移除此项需求，详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”
11、《特气发包技术规范》中设备的防火要求：任何来自主系统、子系统或组件的潜在风险火灾事故均应指出，必须装防止火灾事故的安全联锁装置，包括侦测器、报警系统和灭火系统。请明确气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接是否在本包范围内；
答复：气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接在本包范围内。
12、《特气发包技术规范》要求配置一套监控电脑，放置在中控室。请明确Intouch版本采用开发版还是运行版；
答复：Intouch版本采用开发版。
13、《附件四-侦测器配置清单》中Scrubber未配置气体侦测器，请明确Scrubber的侦测器是否在本包范围内；
答复：Scrubber的侦测器不在本包范围内。
14、投标人须知第1.1.4中本次允许投标人以投标货物的身份参加，请明确本次是货物采购，采用一般计税法，税率为13%；还是工程采购，税率为9%。
答复：采用一般计税法。
提问4：
1、《附件-十二新凌微特气二次配》要求双套管配管尺寸为1/4”*3/8”,常规双套管1/4”内管需配置1/2”外管，请明确是否可改为1/2”外管；
答复：改为1/2外套管，具体详见补遗附件十二。
2、烦请提供厂区总平面布置图、明确氢气站在厂区中位置，确定H2室外管道走向和长度；
答复：见U-5室外管道平面布置图。
3、《特气发包技术规范》工程界面：*方负责H2主管预留安装阀门，*方负责接入VMB，请明确H2主管预留安装阀门形式及位置；
答复：位置见一层 (略) 平面布置 (略) ，DN25 316L EP隔膜阀。
4、请明确环评对氟化物惰性气体排放要求，是否可直接排放；
答复：接入厂务排气系统。
5、《特气发包技术规范》工程范围中材质要求：SIH2*L V+V,常规强酸性腐蚀的和强氧化性腐蚀的气体使用V+V管道，SIH2Cl2为易燃性气体，无腐蚀性，管道是否可采用SS316L EP;
答复：可以采用316L (略) 。
6、请明确《特气发包技术规范》与《附件五- 气体设备功能配置表》的优先级，以哪个为准，特气设备的配置在这个文件中有不同要求，并且部分设备的配置是是有错误的，比如NF3 GC配置称重等，请确认是否可以自行优化设备配置；
答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。
7、《附件一工艺需求表》与《附件九车间设备布置图*V01》比对，需求表上工艺设备数量和位置与平面图无法对应：(1)如设备布置图中P150-151区域的烘箱实际数量为0需求表上数量为4，P148区锥形面刻蚀实际数量为0需求表上数量为4。(2)设备区域是否错误，如溅射台需求表上再P136，设备布置图中在P153区域;
答复：以特气分区汇总表及设备布置图为准，具体详见气体区域汇总表。
8、本项目需要易燃、毒腐、氯气、惰性四个房间，图纸中只有3个特气间，是否能更改房间规划；
答复：增加1个气体房。
9、《特气发包技术规范》要求*方负责主配电柜电源接点，承揽商负责接入主配电柜，请明确主配电柜接点在平面图中位置；
答复：见CDS间电气图纸
答复：已移除此项需求，详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”
11、《特气发包技术规范》中设备的防火要求：任何来自主系统、子系统或组件的潜在风险火灾事故均应指出，必须装防止火灾事故的安全联锁装置，包括侦测器、报警系统和灭火系统。请明确气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接是否在本包范围内；
答复：气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接在本包范围内。
12、《特气发包技术规范》要求配置一套监控电脑，放置在中控室。请明确Intouch版本采用开发版还是运行版；
答复：Intouch版本采用开发版。
13、《附件四-侦测器配置清单》中Scrubber未配置气体侦测器，请明确Scrubber的侦测器是否在本包范围内；
答复：Scrubber的侦测器不在本包范围内。
14、投标人须知第1.1.4中本次允许投标人以投标货物的身份参加，请明确本次是货物采购，采用一般计税法，税率为13%；还是工程采购，税率为9%。
答复：采用一般计税法。
提问5：
关于纸质投标保函：招标文件要求投标保函的开立人“应当是具有相应资格的银行、保险机构、 (略) ，其信用资质、履约能力、担保能力、赔付流程、安全保密等应符合工程保函业务条件”。请问如果出 (略) < (略) >在2022年度和最新202 (略) (略) 监督评级及分类监管办法中均评为E级是否符合上述要求？
法律依据：
(略) 地方金融监督管理局关于印发《 (略) 监管评级及分类监管办法》的通知 渝金发[2024]116号第十二条评级等级的对应含义：评级结果为E级，公司治理结构和内部控制存在严重问题，可能存在重大风险隐患，长期未开展新的融资担保业务，或已无法正常经营，需要监管高度关注，亟待采取严厉的监管措施
答复5：纸质投标保函应合法合规，符合招投标行政监督部门、行业主管部门和金融监管部门的相关规定，并满足招标文件要求。投标人对所提交的工程保函的真实性、合法性、有效性负责，严格响应招标文件提出的保函开立要求，具体详见招标文件第二章投标人须知前附表3.4投标保证金。
二、补遗部分
1、原图纸中规划的特气间3个，现变更为：特气间4个。
2、附件：
补遗1：特气发包技术规范-新陵微-2024-9-3.
补遗2：附件二 一层工艺气体管道布置平面图。
补遗3：附件一、工艺需要表。
补遗4：设备布置图
补遗5：室外管道布置平面图。
补遗6：附件十二 新凌微特气二次配。
注：本答疑补遗为招标文件的组成部分，如与招标文件不一致的地方均以本答疑补遗为准。请各潜 (略) 上自行下载本项目答疑补遗文件，招标人不再另行通知。无论投标人是否下载、查阅，均视为已知晓招标人所澄清的相关内容。
招标人： (略) 涪陵 (略)
招标代理机构： (略) (略)
2024年9月3日
涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程（6寸IGBT晶圆
生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装专业分包工程
答疑补遗（一）
各潜在投标人 ：
涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程（6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建）特气设备采购及安装专业分包工程答疑补遗如下：
一、答疑部分
提问1：
1、“招标公告”中描述：包括供应系统(含附属设备)所有的设备的供货、安装调试、验收，全部工艺流程涉及到的各工艺生产线系统设备、特气输送管道、VMB与设备进口端的连接；
本项目是否为特气主系统及二次配？
答复：是特气主系统及二次配。
2、“附件九-车间设备布置图*V01(1)”与“附件一、工艺需求表”机台数量不一致；如：图纸中硅蚀刻只有4台，UIM表中有8台；
UIM表中去胶机台在P146区域，但图纸中P146区域无机台，部分去胶机台在P141区域等，请核实各区域机台数量
答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
3、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”机台数量有差异；
如：（1）、“附件一、工艺需求表“中刻蚀区Ar需求只有10个点，特气分区汇总2中刻蚀Ar需求有25个点；（2）、“附件一、工艺需求表“中薄膜区SIH4需求有10个点，特气分区汇总2中薄膜区SIH4需求只有6个点，等差异项，请核实各区域机台数量
答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
4、“附件一、工艺需求表”中：去胶机台有4%H2/N2需求，
请明确4%H2/N2供应形式：1、贵司购买成品气瓶；2、配置混气装备；
答复：已移除此类气体需求，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
5、“附件一、工艺需求表”与“气体区域汇总表”中有差异项：
（1）、UIM表中，需求Cl2的机台是21台，气体区域汇总表需求机台是13台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（2）、UIM表中，需求N2O的机台是5台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（3）、UIM表中，需求SF6的机台是25台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（4）、UIM表中，需求Ar的机台是44台，气体区域汇总表需求机台是55台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（5）、气体区域汇总表中有C4F8需求，UIM表中无此系统细项
答复：UM表中为CH2F2，已替换为C4F8，详见补遗附件一“工艺需求表”。
（6）、UIM表中，需求C2F6的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（7）、UIM表中，需求1%PH3/HE的机台是4台，气体区域汇总表需求机台是5台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（8）、UIM表中，需求NH3的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是9台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（9）、气体区域汇总表中描述：管路设计以此汇总表为准，2024.7.25增加HCL、NF3气体，UIM表中无此系统细项
答复：HCL VMB 暂放P144房间（后期工艺预留），NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。
以上差异信息烦请明确；
如果有C4F8、HCl及NF3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计
答复：C4F8由UM表中CH2F2变更详见附件工艺需求表，HCL为后期工艺预留VMB暂放P144房间，NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。
6、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”差异项：
（1）、特气分区汇总2中，刻蚀区有C4F8和NF3需求，UIM表刻蚀区分项中没有此系统需求；
答复：以特气分区汇总表气体种类为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（2）、UIM表刻蚀区分项中有N2O和CH2F2、4%H2/N2需求，特气分区汇总2中没有此系统需求；
答复：以特气分区汇总表气体种类为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（3）、特气分区汇总2中，薄膜区有NH3需求，UIM表薄膜区分项中没有此系统需求；
答复：机台型号CONCEPT ONE 3台。
（4）、特气分区汇总2中，扩散区有NH3、HCl需求，UIM表扩散区分项中没有此系统需求；
以上差异信息烦请明确；
如果有NH3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计
答复：扩散NH3 VMB放P145房间，HCL VMB 暂放P144房间，以特气分区汇总2机台点位为准。
7、“附件一、工艺需求表”中：N2O、Ar、C2F6、5%PH3/N2、SIH4 系统
换瓶时间均低于1 天 此项烦请确认；
答复：按“附件五气体设备功能配置表”的要求配置。
8、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”列明有99.5%He/O2需求
请明确是否有99.5%He/O2系统需求，如果有请提供详细机台需求以便系统设计；
答复：已移除HE/O2系统需求，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
9、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”项目范围描述为：各系统含第一阶段二次配部分；
VMB/VMP中是否需考虑预留二阶段机台点位？
答复：以气体功能配置表数量为准,具体详见附件一中的气体区域汇总表。
10、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”和“附件五- 气体设备功能配置表”设备配置有冲突
烦请确认，设备配置以哪份文件为准？
答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。
11、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：监控系统需包含大宗气站的监控画面同步、大宗气体纯化器、CQC状态监控所属的输入输出信号配接和实现 GMS 监测的全部工作。
烦请提供需接GMS监控系统的设备数量及信号方式；
答复：已移除此项需求。详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”。
12、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：*方负责、VMB到*方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分&“涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB (略) 由*方负责）”
烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置
关于其中提问1：特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：*方负责、VMB到*方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分
答复1：*方负责VMB至*方H2主管预留点、VMB到机台的二次配管道。
关于其中提问2：涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB (略) 由*方负责）”
答复2：VDB已移除，*方负责从*方H2主管预留阀接入VMB，见一 (略) 平面布置 (略) 。
关于其中提问3：烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置
答复3：已移除VDB安装，*方从H2主管预留点位直接接入VMB，见一 (略) 平面布置图 (略) 。
提问2：
1、“招标公告”中描述：包括供应系统(含附属设备)所有的设备的供货、安装调试、验收，全部工艺流程涉及到的各工艺生产线系统设备、特气输送管道、VMB与设备进口端的连接；
本项目是否为特气主系统及二次配？
答复：是特气主系统及二次配。
2、“附件九-车间设备布置图*V01(1)”与“附件一、工艺需求表”机台数量不一致；如：图纸中硅蚀刻只有4台，UIM表中有8台；
UIM表中去胶机台在P146区域，但图纸中P146区域无机台，部分去胶机台在P141区域等，请核实各区域机台数量
答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
3、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”机台数量有差异；
如：（1）、“附件一、工艺需求表“中刻蚀区Ar需求只有10个点，特气分区汇总2中刻蚀Ar需求有25个点；（2）、“附件一、工艺需求表“中薄膜区SIH4需求有10个点，特气分区汇总2中薄膜区SIH4需求只有6个点，等差异项，请核实各区域机台数量
答复：以特气分区汇总表机台点位数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
4、“附件一、工艺需求表”中：去胶机台有4%H2/N2需求，
请明确4%H2/N2供应形式：1、贵司购买成品气瓶；2、配置混气装备；
答复：已移除此类气体需求，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
5、“附件一、工艺需求表”与“气体区域汇总表”中有差异项：
（1）、UIM表中，需求Cl2的机台是21台，气体区域汇总表需求机台是13台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（10）、UIM表中，需求N2O的机台是5台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（11）、UIM表中，需求SF6的机台是25台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（12）、UIM表中，需求Ar的机台是44台，气体区域汇总表需求机台是55台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（13）、气体区域汇总表中有C4F8需求，UIM表中无此系统细项
答复：UM表中为CH2F2，已替换为C4F8，详见补遗附件一“工艺需求表”。
（14）、UIM表中，需求C2F6的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是6台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（15）、UIM表中，需求1%PH3/HE的机台是4台，气体区域汇总表需求机台是5台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（16）、UIM表中，需求NH3的机台是3台，气体区域汇总表需求机台是9台；
答复：以气体区域汇总表机台数量为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（17）、气体区域汇总表中描述：管路设计以此汇总表为准，2024.7.25增加HCL、NF3气体，UIM表中无此系统细项
答复：HCL VMB 暂放P144房间（后期工艺预留），NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。
以上差异信息烦请明确；
如果有C4F8、HCl及NF3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计
答复：C4F8由UM表中CH2F2变更详见附件工艺需求表，HCL为后期工艺预留VMB暂放P144房间，NF3放置在P148房间，机台型号：P5000 5200 9400。
6、“附件一、工艺需求表”与“特气分区汇总2”差异项：
（1）、特气分区汇总2中，刻蚀区有C4F8和NF3需求，UIM表刻蚀区分项中没有此系统需求；
答复：以特气分区汇总表气体种类为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（4）、UIM表刻蚀区分项中有N2O和CH2F2、4%H2/N2需求，特气分区汇总2中没有此系统需求；
答复：以特气分区汇总表气体种类为准，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
（5）、特气分区汇总2中，薄膜区有NH3需求，UIM表薄膜区分项中没有此系统需求；
答复：机台型号CONCEPT ONE 3台。
（4）、特气分区汇总2中，扩散区有NH3、HCl需求，UIM表扩散区分项中没有此系统需求；
以上差异信息烦请明确；
如果有NH3系统需求，请提供详细机台需求以便系统设计
答复：扩散NH3 VMB放P145房间，HCL VMB 暂放P144房间，以特气分区汇总2机台点位为准。
7、“附件一、工艺需求表”中：N2O、Ar、C2F6、5%PH3/N2、SIH4 系统
换瓶时间均低于1 天 此项烦请确认；
答复：按“附件五气体设备功能配置表”的要求配置。
8、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”列明有99.5%He/O2需求
请明确是否有99.5%He/O2系统需求，如果有请提供详细机台需求以便系统设计；
答复：已移除HE/O2系统需求，具体详见附件一中的气体区域汇总表。
9、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”项目范围描述为：各系统含第一阶段二次配部分；
VMB/VMP中是否需考虑预留二阶段机台点位？
答复：以气体功能配置表数量为准,具体详见附件一中的气体区域汇总表。
10、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”和“附件五- 气体设备功能配置表”设备配置有冲突
烦请确认，设备配置以哪份文件为准？
答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。
11、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：监控系统需包含大宗气站的监控画面同步、大宗气体纯化器、CQC状态监控所属的输入输出信号配接和实现 GMS 监测的全部工作。
烦请提供需接GMS监控系统的设备数量及信号方式；
答复：已移除此项需求。详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”。
12、“特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：*方负责、VMB到*方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分&“涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB (略) 由*方负责）”
烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置
关于其中提问1：特气发包技术规范-新陵微 - 2024-8.26”：H2系统：*方负责、VMB到*方主管预留点，VMB到机台的管道，含第一阶段二次配部分
答复1：*方负责VMB至*方H2主管预留点、VMB到机台的二次配管道。
关于其中提问2：涪陵新能源汽车产业园A区配套基础设施工程(6寸IGBT晶圆生产线标准化厂房改扩建特气工程)限 限价”H2站至VDB (略) 由*方负责）”
答复2：VDB已移除，*方负责从*方H2主管预留阀接入VMB，见一 (略) 平面布置 (略) 。
关于其中提问3：烦请明确H2预留点及VDB位置，现有图纸中未体现H2站及VDB位置
答复3：已移除VDB安装，*方从H2主管预留点位直接接入VMB，见一 (略) 平面布置图 (略) 。
提问3：
1、《附件-十二新凌微特气二次配》要求双套管配管尺寸为1/4”*3/8”,常规双套管1/4”内管需配置1/2”外管，请明确是否可改为1/2”外管；
答复：改为1/2外套管，具体详见补遗附件十二。
2、烦请提供厂区总平面布置图、明确氢气站在厂区中位置，确定H2室外管道走向和长度；
答复：见U-5室外管道平面布置图。
3、《特气发包技术规范》工程界面：*方负责H2主管预留安装阀门，*方负责接入VMB，请明确H2主管预留安装阀门形式及位置；
答复：位置见一层 (略) 平面布置 (略) ，DN25 316L EP隔膜阀。
4、请明确环评对氟化物惰性气体排放要求，是否可直接排放；
答复：接入厂务排气系统。
5、《特气发包技术规范》工程范围中材质要求：SIH2*L V+V,常规强酸性腐蚀的和强氧化性腐蚀的气体使用V+V管道，SIH2Cl2为易燃性气体，无腐蚀性，管道是否可采用SS316L EP;
答复：可以采用316L (略) 。
6、请明确《特气发包技术规范》与《附件五- 气体设备功能配置表》的优先级，以哪个为准，特气设备的配置在这个文件中有不同要求，并且部分设备的配置是是有错误的，比如NF3 GC配置称重等，请确认是否可以自行优化设备配置；
答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。
7、《附件一工艺需求表》与《附件九车间设备布置图*V01》比对，需求表上工艺设备数量和位置与平面图无法对应：(1)如设备布置图中P150-151区域的烘箱实际数量为0需求表上数量为4，P148区锥形面刻蚀实际数量为0需求表上数量为4。(2)设备区域是否错误，如溅射台需求表上再P136，设备布置图中在P153区域;
答复：以特气分区汇总表及设备布置图为准，具体详见气体区域汇总表。
8、本项目需要易燃、毒腐、氯气、惰性四个房间，图纸中只有3个特气间，是否能更改房间规划；
答复：增加1个气体房。
9、《特气发包技术规范》要求*方负责主配电柜电源接点，承揽商负责接入主配电柜，请明确主配电柜接点在平面图中位置；
答复：见CDS间电气图纸
答复：已移除此项需求，详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”
11、《特气发包技术规范》中设备的防火要求：任何来自主系统、子系统或组件的潜在风险火灾事故均应指出，必须装防止火灾事故的安全联锁装置，包括侦测器、报警系统和灭火系统。请明确气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接是否在本包范围内；
答复：气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接在本包范围内。
12、《特气发包技术规范》要求配置一套监控电脑，放置在中控室。请明确Intouch版本采用开发版还是运行版；
答复：Intouch版本采用开发版。
13、《附件四-侦测器配置清单》中Scrubber未配置气体侦测器，请明确Scrubber的侦测器是否在本包范围内；
答复：Scrubber的侦测器不在本包范围内。
14、投标人须知第1.1.4中本次允许投标人以投标货物的身份参加，请明确本次是货物采购，采用一般计税法，税率为13%；还是工程采购，税率为9%。
答复：采用一般计税法。
提问4：
1、《附件-十二新凌微特气二次配》要求双套管配管尺寸为1/4”*3/8”,常规双套管1/4”内管需配置1/2”外管，请明确是否可改为1/2”外管；
答复：改为1/2外套管，具体详见补遗附件十二。
2、烦请提供厂区总平面布置图、明确氢气站在厂区中位置，确定H2室外管道走向和长度；
答复：见U-5室外管道平面布置图。
3、《特气发包技术规范》工程界面：*方负责H2主管预留安装阀门，*方负责接入VMB，请明确H2主管预留安装阀门形式及位置；
答复：位置见一层 (略) 平面布置 (略) ，DN25 316L EP隔膜阀。
4、请明确环评对氟化物惰性气体排放要求，是否可直接排放；
答复：接入厂务排气系统。
5、《特气发包技术规范》工程范围中材质要求：SIH2*L V+V,常规强酸性腐蚀的和强氧化性腐蚀的气体使用V+V管道，SIH2Cl2为易燃性气体，无腐蚀性，管道是否可采用SS316L EP;
答复：可以采用316L (略) 。
6、请明确《特气发包技术规范》与《附件五- 气体设备功能配置表》的优先级，以哪个为准，特气设备的配置在这个文件中有不同要求，并且部分设备的配置是是有错误的，比如NF3 GC配置称重等，请确认是否可以自行优化设备配置；
答复：以特气发包技术规范为准；如气体功能配置表有错误，可自行优化设备配置需交业主审核通过后实施。
7、《附件一工艺需求表》与《附件九车间设备布置图*V01》比对，需求表上工艺设备数量和位置与平面图无法对应：(1)如设备布置图中P150-151区域的烘箱实际数量为0需求表上数量为4，P148区锥形面刻蚀实际数量为0需求表上数量为4。(2)设备区域是否错误，如溅射台需求表上再P136，设备布置图中在P153区域;
答复：以特气分区汇总表及设备布置图为准，具体详见气体区域汇总表。
8、本项目需要易燃、毒腐、氯气、惰性四个房间，图纸中只有3个特气间，是否能更改房间规划；
答复：增加1个气体房。
9、《特气发包技术规范》要求*方负责主配电柜电源接点，承揽商负责接入主配电柜，请明确主配电柜接点在平面图中位置；
答复：见CDS间电气图纸
答复：已移除此项需求，详见补遗“特气发包技术规范 新凌微2024-9-3”
11、《特气发包技术规范》中设备的防火要求：任何来自主系统、子系统或组件的潜在风险火灾事故均应指出，必须装防止火灾事故的安全联锁装置，包括侦测器、报警系统和灭火系统。请明确气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接是否在本包范围内；
答复：气体浓度报警控制器联锁事故风机、控制信号线连接在本包范围内。
12、《特气发包技术规范》要求配置一套监控电脑，放置在中控室。请明确Intouch版本采用开发版还是运行版；
答复：Intouch版本采用开发版。
13、《附件四-侦测器配置清单》中Scrubber未配置气体侦测器，请明确Scrubber的侦测器是否在本包范围内；
答复：Scrubber的侦测器不在本包范围内。
14、投标人须知第1.1.4中本次允许投标人以投标货物的身份参加，请明确本次是货物采购，采用一般计税法，税率为13%；还是工程采购，税率为9%。
答复：采用一般计税法。
提问5：
关于纸质投标保函：招标文件要求投标保函的开立人“应当是具有相应资格的银行、保险机构、 (略) ，其信用资质、履约能力、担保能力、赔付流程、安全保密等应符合工程保函业务条件”。请问如果出 (略) < (略) >在2022年度和最新202 (略) (略) 监督评级及分类监管办法中均评为E级是否符合上述要求？
法律依据：
(略) 地方金融监督管理局关于印发《 (略) 监管评级及分类监管办法》的通知 渝金发[2024]116号第十二条评级等级的对应含义：评级结果为E级，公司治理结构和内部控制存在严重问题，可能存在重大风险隐患，长期未开展新的融资担保业务，或已无法正常经营，需要监管高度关注，亟待采取严厉的监管措施
答复5：纸质投标保函应合法合规，符合招投标行政监督部门、行业主管部门和金融监管部门的相关规定，并满足招标文件要求。投标人对所提交的工程保函的真实性、合法性、有效性负责，严格响应招标文件提出的保函开立要求，具体详见招标文件第二章投标人须知前附表3.4投标保证金。
二、补遗部分
1、原图纸中规划的特气间3个，现变更为：特气间4个。
2、附件：
补遗1：特气发包技术规范-新陵微-2024-9-3.
补遗2：附件二 一层工艺气体管道布置平面图。
补遗3：附件一、工艺需要表。
补遗4：设备布置图
补遗5：室外管道布置平面图。
补遗6：附件十二 新凌微特气二次配。
注：本答疑补遗为招标文件的组成部分，如与招标文件不一致的地方均以本答疑补遗为准。请各潜 (略) 上自行下载本项目答疑补遗文件，招标人不再另行通知。无论投标人是否下载、查阅，均视为已知晓招标人所澄清的相关内容。
招标人： (略) 涪陵 (略)
招标代理机构： (略) (略)
2024年9月3日
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