详情见附件(注:以下内容为附件图片识别,个别文字可能不准确,请以附件为准)更正公告
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号:BMCC-*/清采招第 * 号
原公告的采购项目名称:清华大学晶圆混合键合机购置项目
首次公告日期:2024 年 9 月 5 日
二、更正信息
更正事项:采购文件
更正内容:
1.招标文件第六章 合同协议书及合同条款-合同资料表-验收内容及验收标
准中序号 7“对位精度测试”的验收标准更正为:
使用 300 mm 带图形的玻璃和硅片进行对准测试。
All alignment results(W2W) are within ≤50nm 3 Sigma
所有对准结果(W2W)均在≤50nm 3Sigma 范围内
2.招标文件第六章 合同协议书及合同条款-合同资料表-验收内容及验收标
准中序号 10“产能”的验收标准更正为:使用 25 对晶圆,采用 CMO 模式进行连
续运行操作,计算产出时间(第一片除外),系统将显示最佳已知配方的 12 个键
合对/小时的吞吐量。
更正日期:2024 年 9 月 11 日
三、其他补充事宜
其他内容不变
四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名
地
称:清华大学
址: (略) 海淀区清华大学,邮编 *
联系方式:010-*
2.采购代理机构信息
名
地
称:北京 (略)
址: (略) (略) 路 30 号科大天工大厦 B 座 1709
联系方式:010-*
3.项目联系方式
项目联系人:王蕾蕾、赵文宇、吕绍山
电
话:010-*
电子邮箱:*@*63.com
详情见附件(注:以下内容为附件图片识别,个别文字可能不准确,请以附件为准)更正公告
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号:BMCC-*/清采招第 * 号
原公告的采购项目名称:清华大学晶圆混合键合机购置项目
首次公告日期:2024 年 9 月 5 日
二、更正信息
更正事项:采购文件
更正内容:
1.招标文件第六章 合同协议书及合同条款-合同资料表-验收内容及验收标
准中序号 7“对位精度测试”的验收标准更正为:
使用 300 mm 带图形的玻璃和硅片进行对准测试。
All alignment results(W2W) are within ≤50nm 3 Sigma
所有对准结果(W2W)均在≤50nm 3Sigma 范围内
2.招标文件第六章 合同协议书及合同条款-合同资料表-验收内容及验收标
准中序号 10“产能”的验收标准更正为:使用 25 对晶圆,采用 CMO 模式进行连
续运行操作,计算产出时间(第一片除外),系统将显示最佳已知配方的 12 个键
合对/小时的吞吐量。
更正日期:2024 年 9 月 11 日
三、其他补充事宜
其他内容不变
四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名
地
称:清华大学
址: (略) 海淀区清华大学,邮编 *
联系方式:010-*
2.采购代理机构信息
名
地
称:北京 (略)
址: (略) (略) 路 30 号科大天工大厦 B 座 1709
联系方式:010-*
3.项目联系方式
项目联系人:王蕾蕾、赵文宇、吕绍山
电
话:010-*
电子邮箱:*@*63.com
60