序号

物品名称

技术指标及有关要求

数量

备注

1

电镜

1 基本参数

1.1发射源：预对中钨灯丝，要求操作软件能实时显示灯丝累计使用时间。

▲1.2分辨率：

SE：3.0nm (30kV)，8.0nm(3kV)

           BSE：3.5nm(30kV)。

1.3加速电压范围：200V到30kV，连续可调。

▲1.4放大倍数范围：1倍到1,000,000倍，连续可调。

1.5探针电流范围：1 pA 到2 μA。

▲1.6低真空范围：3 Pa到500 Pa。

▲1.7扫描速度范围： 20 ns/像素到10 ms/像素。

1.8显示模式：具备分辨率模式、大景深模式、大视野模式、倾斜电子束模式，可以拍摄和实时观察样品的三维立体图象。

▲1.9物镜光阑20级可变，直接由软件切换，无需任

何手动调整和对中。

2 真空系统

2.1抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，整机不需要冷却水。

2.2更换样品后，抽真空时间：< 3.5分钟。

3 样品室及样品台

3.1样品室：内部尺寸不小于340mm，门高不小于320mm；

             接口数量不小于12个。

▲3.2样品台类型：5轴马达驱动样品台，

移动范围：

X方向≥130mm，

Y方向≥130mm，

Z方向≥100mm，

T：－30°～＋90°（倾斜），

R：360°（旋转）。

3.3最大样品直径：不小于280mm。

3.4最大样品高度：不低于145mm。

3.5最大样品重量：不小于8Kg。

3.6样品台具有接触报警与自停功能。

▲4 配备探测器：

4.1二次电子探测器（要求采用不老化的YAG 晶体闪烁体）

4.2可伸缩式背散射电子探测器（要求采用不老化的YAG 晶体闪烁体）

4.3观察样品室的红外CCD探测器

4.4探针电流测量装置

5 工作条件            

5.1 电源：220V±10%，50Hz。

5.2 运行环境温度：18~28℃，相对湿度<80%。

6 (略) 理系统

6.1 (略) 理系统不低于以下配置：

Intel® Pentium® IV Processor 3.2 GHz, 1024MB，667 MHz DDR内存, HDD 160 GB硬盘, DVD-R,CD-RW光驱, 10/ (略) 卡, 显卡ATI Radeon X1300 256MB DDR VIVO, Logitech BJ-58光学鼠标, 22寸液晶显示，

6.2最大存储图像像素： 不低于 * 像素

6.3存储图像格式：BMP, TIFF, JPEG, JPEG2000, GIF, PNG或PGM, PPM

7 软件控制系统

7.1操作系统：Windows7。

▲7.2核心汉化电镜操作软件，并可选择多种操作语言。

7.3自动功能：真空控制、灯丝加热、电子枪合轴、分辨率模式的对中、加速电压的补偿、最优化束斑大小、最优化放大倍率、最优化扫描速度、最优化对比度和亮度、最优化聚焦和消象散。

8附件能谱仪

8.1电制冷方式，无需液氮；

8.2.晶体有效面积不小于10mm2

8.3分辨率：优于129eV（MnKα）；

8.4元素分析范围：Be4-Cf98；

8.5谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV；

8.6软件多任务设计，采集Mapping的同时可以调用其他数据

处理报告 ；

8.7全谱智能面扫描功能， (略) 元素信息一次性收集，

任意区域谱图可以重构，任意方向线扫描结果可以重构，且

软件可以自动将倾斜的线扫描转至水平方向；

8.8 配置包含：能谱仪探测器， (略) 理器， (略) 理平台，专用系统桌；

8.9后期和波谱、EBSD等 (略) 一体化分析。 

9备品备件及消耗品：

超 (略) 命钨灯丝5支，备用光阑1套，样品台20个，样品夹具1套，碳导电胶带2卷 ，机械泵油1升，专用工具1套。

1台

进口设备

序号

物品名称

技术指标及有关要求

数量

备注

1

电镜

技术指标及有关要求

1 基本参数

1.1发射源：预对中钨灯丝，要求操作软件能实时显示灯丝累计使用时间。

▲1.2分辨率：

SE：3.0nm (30kV)，8.0nm(3kV)

           BSE：3.5nm(30kV)。

1.3加速电压范围：200V到30kV，连续可调。

▲1.4放大倍数范围：2倍到1,000,000倍，连续可调。

1.5探针电流范围：1 pA 到2 μA。

1.6低真空范围：3 Pa到500 Pa。

▲1.7扫描速度范围： 20 ns/像素到10 ms/像素。

1.8显示模式：具备分辨率模式、大景深模式、大视野模式、倾斜电子束模式，可以拍摄和实时观察样品的三维立体图象。

▲1.9物镜光阑20级可变，直接由软件切换，无需任何手动调整和对中。

2 真空系统

2.1抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，整机不需要冷却水。

2.2更换样品后，抽真空时间：< 3.5分钟。

3 样品室及样品台

3.1样品室：内部尺寸不小于340mm，门高不小于320mm；

             接口数量不小于12个。

3.2样品台类型：5轴马达驱动样品台，

移动范围： 

X方向≥130mm，

Y方向≥130mm，

Z方向≥100mm，

T：－30°～＋90°（倾斜），

R：360°（旋转）。

3.3最大样品直径：不小于280mm。

3.4最大样品高度：不低于145mm。

3.5最大样品重量：不小于8Kg。

3.6样品台具有接触报警与自停功能。

▲4 配备探测器：

4.1二次电子探测器（要求采用不老化的YAG 晶体闪烁体）

4.2可伸缩式背散射电子探测器（要求采用不老化的YAG 晶体闪烁体）

4.3观察样品室的红外CCD探测器

4.4探针电流测量装置

5 工作条件            

5.1 电源：220V±10%，50Hz。

5.2 运行环境温度：18~28℃，相对湿度<80%。

6 (略) 理系统

6.1  (略) 理系统不低于以下配置：

Intel® Pentium® IV Processor 3.2 GHz, 1024MB，667 MHz DDR内存, HDD 160 GB硬盘, DVD-R,CD-RW光驱, 10/ (略) 卡, 显卡ATI Radeon X1300 256MB DDR VIVO, Logitech BJ-58光学鼠标, 22寸液晶显示，

6.2最大存储图像像素： 不低于 * 像素

6.3存储图像格式：BMP, TIFF, JPEG, JPEG2000, GIF, PNG或PGM, PPM

7 软件控制系统

7.1操作系统：Windows7。

  7.2核心汉化电镜操作软件，并可选择多种操作语言。

7.3自动功能：真空控制、灯丝加热、电子枪合轴、分辨率模式的对中、加速电压的补偿、最优化束斑大小、最优化放大倍率、最优化扫描速度、最优化对比度和亮度、最优化聚焦和消象散。

8附件能谱仪

8.1电制冷方式，无需液氮；

8.2.晶体有效面积不小于10mm2

8.3分辨率：优于129eV（MnKα）；

8.4元素分析范围：Be4-Cf98；

8.5谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV；

8.6软件多任务设计，采集Mapping的同时可以调用其他数据

处理报告 ；

8.7全谱智能面扫描功能， (略) 元素信息一次性收集，

任意区域谱图可以重构，任意方向线扫描结果可以重构，且

软件可以自动将倾斜的线扫描转至水平方向；

8.8 配置包含：能谱仪探测器， (略) 理器， (略) 理平台，专用系统桌；

8.9后期和波谱、EBSD等 (略) 一体化分析。

9备品备件及消耗品：

超 (略) 命钨灯丝5支，备用光阑1套，样品台20个，样品夹具1套，碳导电胶带2卷 ，机械泵油1升，专用工具1套。

1台

进口设备

序号

物品名称

技术指标及有关要求

数量

备注

1

电镜

1 基本参数

1.1发射源：预对中钨灯丝，要求操作软件能实时显示灯丝累计使用时间。

▲1.2分辨率：

SE：3.0nm (30kV)，8.0nm(3kV)

           BSE：3.5nm(30kV)。

1.3加速电压范围：200V到30kV，连续可调。

▲1.4放大倍数范围：1倍到1,000,000倍，连续可调。

1.5探针电流范围：1 pA 到2 μA。

▲1.6低真空范围：3 Pa到500 Pa。

▲1.7扫描速度范围： 20 ns/像素到10 ms/像素。

1.8显示模式：具备分辨率模式、大景深模式、大视野模式、倾斜电子束模式，可以拍摄和实时观察样品的三维立体图象。

▲1.9物镜光阑20级可变，直接由软件切换，无需任

何手动调整和对中。

2 真空系统

2.1抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，整机不需要冷却水。

2.2更换样品后，抽真空时间：< 3.5分钟。

3 样品室及样品台

3.1样品室：内部尺寸不小于340mm，门高不小于320mm；

             接口数量不小于12个。

▲3.2样品台类型：5轴马达驱动样品台，

移动范围：

X方向≥130mm，

Y方向≥130mm，

Z方向≥100mm，

T：－30°～＋90°（倾斜），

R：360°（旋转）。

3.3最大样品直径：不小于280mm。

3.4最大样品高度：不低于145mm。

3.5最大样品重量：不小于8Kg。

3.6样品台具有接触报警与自停功能。

▲4 配备探测器：

4.1二次电子探测器（要求采用不老化的YAG 晶体闪烁体）

4.2可伸缩式背散射电子探测器（要求采用不老化的YAG 晶体闪烁体）

4.3观察样品室的红外CCD探测器

4.4探针电流测量装置

5 工作条件            

5.1 电源：220V±10%，50Hz。

5.2 运行环境温度：18~28℃，相对湿度<80%。

6 (略) 理系统

6.1 (略) 理系统不低于以下配置：

Intel® Pentium® IV Processor 3.2 GHz, 1024MB，667 MHz DDR内存, HDD 160 GB硬盘, DVD-R,CD-RW光驱, 10/ (略) 卡, 显卡ATI Radeon X1300 256MB DDR VIVO, Logitech BJ-58光学鼠标, 22寸液晶显示，

6.2最大存储图像像素： 不低于 * 像素

6.3存储图像格式：BMP, TIFF, JPEG, JPEG2000, GIF, PNG或PGM, PPM

7 软件控制系统

7.1操作系统：Windows7。

▲7.2核心汉化电镜操作软件，并可选择多种操作语言。

7.3自动功能：真空控制、灯丝加热、电子枪合轴、分辨率模式的对中、加速电压的补偿、最优化束斑大小、最优化放大倍率、最优化扫描速度、最优化对比度和亮度、最优化聚焦和消象散。

8附件能谱仪

8.1电制冷方式，无需液氮；

8.2.晶体有效面积不小于10mm2

8.3分辨率：优于129eV（MnKα）；

8.4元素分析范围：Be4-Cf98；

8.5谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV；

8.6软件多任务设计，采集Mapping的同时可以调用其他数据

处理报告 ；

8.7全谱智能面扫描功能， (略) 元素信息一次性收集，

任意区域谱图可以重构，任意方向线扫描结果可以重构，且

软件可以自动将倾斜的线扫描转至水平方向；

8.8 配置包含：能谱仪探测器， (略) 理器， (略) 理平台，专用系统桌；

8.9后期和波谱、EBSD等 (略) 一体化分析。 

9备品备件及消耗品：

超 (略) 命钨灯丝5支，备用光阑1套，样品台20个，样品夹具1套，碳导电胶带2卷 ，机械泵油1升，专用工具1套。

1台

进口设备

序号

物品名称

技术指标及有关要求

数量

备注

1

电镜

技术指标及有关要求

1 基本参数

1.1发射源：预对中钨灯丝，要求操作软件能实时显示灯丝累计使用时间。

▲1.2分辨率：

SE：3.0nm (30kV)，8.0nm(3kV)

           BSE：3.5nm(30kV)。

1.3加速电压范围：200V到30kV，连续可调。

▲1.4放大倍数范围：2倍到1,000,000倍，连续可调。

1.5探针电流范围：1 pA 到2 μA。

1.6低真空范围：3 Pa到500 Pa。

▲1.7扫描速度范围： 20 ns/像素到10 ms/像素。

1.8显示模式：具备分辨率模式、大景深模式、大视野模式、倾斜电子束模式，可以拍摄和实时观察样品的三维立体图象。

▲1.9物镜光阑20级可变，直接由软件切换，无需任何手动调整和对中。

2 真空系统

2.1抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，整机不需要冷却水。

2.2更换样品后，抽真空时间：< 3.5分钟。

3 样品室及样品台

3.1样品室：内部尺寸不小于340mm，门高不小于320mm；

             接口数量不小于12个。

3.2样品台类型：5轴马达驱动样品台，

移动范围： 

X方向≥130mm，

Y方向≥130mm，

Z方向≥100mm，

T：－30°～＋90°（倾斜），

R：360°（旋转）。

3.3最大样品直径：不小于280mm。

3.4最大样品高度：不低于145mm。

3.5最大样品重量：不小于8Kg。

3.6样品台具有接触报警与自停功能。

▲4 配备探测器：

4.1二次电子探测器（要求采用不老化的YAG 晶体闪烁体）

4.2可伸缩式背散射电子探测器（要求采用不老化的YAG 晶体闪烁体）

4.3观察样品室的红外CCD探测器

4.4探针电流测量装置

5 工作条件            

5.1 电源：220V±10%，50Hz。

5.2 运行环境温度：18~28℃，相对湿度<80%。

6 (略) 理系统

6.1  (略) 理系统不低于以下配置：

Intel® Pentium® IV Processor 3.2 GHz, 1024MB，667 MHz DDR内存, HDD 160 GB硬盘, DVD-R,CD-RW光驱, 10/ (略) 卡, 显卡ATI Radeon X1300 256MB DDR VIVO, Logitech BJ-58光学鼠标, 22寸液晶显示，

6.2最大存储图像像素： 不低于 * 像素

6.3存储图像格式：BMP, TIFF, JPEG, JPEG2000, GIF, PNG或PGM, PPM

7 软件控制系统

7.1操作系统：Windows7。

  7.2核心汉化电镜操作软件，并可选择多种操作语言。

7.3自动功能：真空控制、灯丝加热、电子枪合轴、分辨率模式的对中、加速电压的补偿、最优化束斑大小、最优化放大倍率、最优化扫描速度、最优化对比度和亮度、最优化聚焦和消象散。

8附件能谱仪

8.1电制冷方式，无需液氮；

8.2.晶体有效面积不小于10mm2

8.3分辨率：优于129eV（MnKα）；

8.4元素分析范围：Be4-Cf98；

8.5谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV；

8.6软件多任务设计，采集Mapping的同时可以调用其他数据

处理报告 ；

8.7全谱智能面扫描功能， (略) 元素信息一次性收集，

任意区域谱图可以重构，任意方向线扫描结果可以重构，且

软件可以自动将倾斜的线扫描转至水平方向；

8.8 配置包含：能谱仪探测器， (略) 理器， (略) 理平台，专用系统桌；

8.9后期和波谱、EBSD等 (略) 一体化分析。

9备品备件及消耗品：

超 (略) 命钨灯丝5支，备用光阑1套，样品台20个，样品夹具1套，碳导电胶带2卷 ，机械泵油1升，专用工具1套。

1台

进口设备