江苏省低应力高致密薄膜沉积设备ICPCVD重新招标澄清或变更公告2/02包

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江苏省低应力高致密薄膜沉积设备ICPCVD重新招标澄清或变更公告2/02包

招标项目编号:0664-2440SUMECK10/02
项目名称:低应力高致密薄膜沉积设备(ICPCVD)
项目名称(英文):Low Stress High Density Film Deposition Equipment (ICPCVD)
招标人:苏州第三代半导体技术国创中心
招标机构:苏美达 (略)
招标机构代码:0664
招标方式:公开招标
投标报价方式:线下投标
招标结果:重新招标

,江苏

招标项目编号:0664-2440SUMECK10/02
项目名称:低应力高致密薄膜沉积设备(ICPCVD)
项目名称(英文):Low Stress High Density Film Deposition Equipment (ICPCVD)
招标人:苏州第三代半导体技术国创中心
招标机构:苏美达 (略)
招标机构代码:0664
招标方式:公开招标
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