序号

名称

主要规格型号/描述

数量

1

主机和

标准附件

超声波扫描显微镜 型号：SAM 301

1套

1)主机系统及标准附件

1套

2)专业工控机

1台

3)ADC卡, 采样频率1.25G/s，4G 内存，带散热风扇

1张

4)DPR 500 高频超声波发射和接收单元

1套

5)德国PVA- Winsam 8超声扫描操作与计算软件

1套

6)德国 PVA-SAMnalysis I (略) 理与分析软件

1套

7)DTS 高分辨率动态透射扫描单元

包含：安装固定装置、DTS动态调整装置；

40 MHz f=16mm （透射接收探头）

1套

8)100MHz f= 8 mm

9)25Mhz f=20mm

10)30Mhz f=12.7mm

（8、9、10）项为反射探头 各1个，合计3个

3个

11）德国PVA指定中国工厂配套支架、防尘罩，防静电操作台

UPS稳压电源；

1套

2

随机配件及

专用工具

1）探头摆放架

1个

2）探头保护盒

1个

2）去水泡工具

1个

3）排水管

1根

4）安装与维修专用工具包

1 套

5）线性马达锁定块

1套

6）轨道保护润滑油及注射枪，

1套

3

随机附件

(1)安装维修专用工具

(2)去水泡工具

1套

序号

名称

主要规格型号/描述

数量

1

主机和

标准附件

超声波扫描显微镜

1套

11)主机系统及标准附件

1套

12)专业工控机

1台

13)ADC卡, 采样频率1.25G/s，4G 内存，带散热风扇

1张

14)DPR 500 高频超声波发射和接收单元

1套

15)超声扫描操作与计算软件

1套

16)I (略) 理与分析软件

1套

17)DTS 高分辨率动态透射扫描单元

包含：安装固定装置、DTS动态调整装置；

40 MHz f=16mm （透射接收探头）

1套

18)100MHz f= 8 mm

19)25Mhz f=20mm

20)30Mhz f=12.7mm

（8、9、10）项为反射探头 各1个，合计3个

3个

13）配套支架、防尘罩，防静电操作台

UPS稳压电源；

1套

2

随机配件及

专用工具

1）探头摆放架

1个

2）探头保护盒

1个

2）去水泡工具

1个

3）排水管

1根

4）安装与维修专用工具包

1 套

5）线性马达锁定块

1套

6）轨道保护润滑油及注射枪，

1套

3

随机附件

(3)安装维修专用工具

(4)去水泡工具

1套

1

工作条件：

l适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃和相对湿度为90％的环境条件下运输和贮存。

操作室温度在 15 ～ 35℃；相对湿度：不大于90% RH

l配置符合中国有关标准要求的插头或提供适当的转换插座。

2

工作原理及设备用途：

超声波扫描显微镜利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异的特点，从而实现对材料内部缺陷的定性分析，在半导体封装及材料等行业中得到广泛应用。可分辨出材料、元器件内部的裂纹、空洞、气泡、分层缺陷、杂质等；广泛用于测试各种元器件、SMT焊接器件、IGBT器件、MEMS器件、晶圆键合等内部缺陷的无损检测，是提供高分辨率且无损检测的重要手段，和X-Ray, 电镜等为互补检测手段。

3

适用对象：

塑封器件、BGA、电容、LED、陶瓷基板等，根据不同产品，选择适合的探头频率与焦距；

4

（1）PVA -Winsam 8 超声波操作软件：

扫描模式：A-SCAN（点扫描）、B-SCAN（ 纵向扫描）、C-SCAN（单层水平扫描）、Z-Staple层层聚焦纵向定量扫描模式；还具有：X-Scan （多层断层C扫描）、多重门限扫描、High Quality-高清晰扫描、插值扫描模式、表面跟踪扫描、托盘矩阵扫描、顺序扫描（序列扫描）、预扫描、自动扫描、Z-Scan实体扫描模式（虚拟再生扫描功能）、FIR分频扫描、Over Scan 扫描等更多扫描模式可用；

透射扫描-配置透射扫描固定单元及透射接收探头来实现。

(5)PVA-SAMnalysis IA 图像 (略) 理软件：

(略) 理，包括图像增强、滤波、平滑、锐利等常规 (略) 理功能；渡越时间分析；推拉窗口分析；厚度估计；声速计算；波形比较分析；三维图像显示和分析；

5

扫描范围：

?最小：200 x 200 μm 最大≥ 320 x 320 mm ；

?可自定 (略) 域，可任意输入或框选扫描面积（正方形，长方形，客户自绘形状）；同时

还能自定义序列扫描，跳过没有样品的空白位置；

?可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸，自动设定扫描范围。

6

·X轴、Y轴均为线性马达驱动；并具有磁力悬浮机构、扫描速度快、噪音轻、使用及维护成本低；XY 轴配合±0.1um 精度光栅尺精确定位；

·扫描机构下具有8厘 (略) ，在高速扫描过程中可隔绝振动和快速扫描对图片质量的影响。

7

最新一代 M4i -ADC 卡,采样频率 1.25G/秒, 4G 内存，带散热风扇；

8

重复精度 +-0.1um( 德国 PVATePla原厂提供测试报告)。

9

X轴最大扫描速度 1,500mm/s, X 轴平均可用扫描速度 1,000mm/s；

10

能够对检测界面的缺陷、焊接质量情况进行统计和分析，图像可同步显示检测界面缺陷率分布状况及缺陷的大小并计算最大缺陷面积占比和所有缺陷面积占比；

可根据样品的实际轮廓（ 圆形，矩形，不规则形）对检测界面、焊接界面质量进行缺陷面积百分比统计分析，样品扫描后可采用鼠标选择扫描范围后提供缺陷尺寸列表并输出报告（可显示所有孔洞尺寸、面积等信息， (略) 域的孔洞率、最大孔洞尺寸、面积等），点击列表中任一行可显示该缺陷在扫描图像上的 X/Y 区域，便于进一步分析和定位缺陷；

11

具有表面稳定功能，可消除或减弱样品表面刻字，激光打标等样品对样品内部超声波信号所带来的影响；

12

提供以下3种反射发射探头和1种头透射探头：

(1)40MHz f= 16mm（透射接收探头）

(2)25Mhzf=20mm（透射接收探头）

(3)30Mhzf=12.7mm（透射接收探头）

(4)100MHz f= 8mm（反射发射探头）

13

Z轴具有表面自动对焦功能，同时对样品内部任意界面自动对焦；

?自动对焦；专利号：DE#A1；

?不仅具有表面自动对焦功能，同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 这一功能最 (略) 是：在用户需要重复检测同一种类样品时，即使样品摆放有一定的高度误差，设备可以自动对焦到所设定的界面，操作人员不需要每次扫描前将对焦位置重新校准，只需要直接扫描即可；节省时间，提高效率；

?逐层自动对焦可设定步距，Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描；

14

射频增益调节窗口：-22dB-50dB，最大≥ 150dB， 步进增益0.1dB

15

单探头扫描架构结构，后续可以在不改变扫描机构主体的情况下，升级为前后双探头同步扫描架构，达到单探头扫描的2倍的效率 ；

16

DPR500高频超声波接收/发射器频率带宽：500MHz

17

专业工业控制计算机系统最低配置：

Inte (略) 理器，CPU 3.5GHz，32GB 内存，1T 硬盘，DVD-RW刻录光驱， 高速图像卡， Windows 10-64位操作系统， (略) 络接口，2台27" LCD液晶显示器

18

A波形特点：

?可以生成多个A波形显示窗口，并且没有数量限制;

?A波形显示窗口能够在一个窗口中同时显示出二个不同位置的波形情况，便于比较有缺陷位置和正常位置波形的差异；

?A 波形输出格式： png 图片格式、 txt 数据格式；

?可根据需要，随时改变A扫描的窗口大小；

?能实现A-Scan Overlay及多点A-Scan记录；

?波形显示窗口提供傅里叶变换FFT的结果图像，便于对波形进行分析

19

B 扫描特点：

B扫描能够显示出样品纵向切面的实际图像，而不是虚拟图像，能够显示出器件内部剖面实际翘曲情况或缺陷的深度分布；

20

多层C扫描: 扫描层数≥200层, 最小时间窗口1ns，并可独立设置不同层面的厚度；

21

多重门限扫描:可以单独对每一层设置，可以得到多张不同层面的C扫描图片；

22

表面跟踪特点：

?表面跟踪线可以根据需要随意上下，左右移动，可任意改变跟踪范围，并且可以改变表面跟踪线所跟踪的A-扫描正负波形，不仅能解决由于样品不平造成的图像不准确，而且可以通过改变跟踪A-扫描正负波的形式解决相位检测中的着色不准确问题；

?可根据样品表面的翘曲程度和表面粗糙度来调整表面跟踪线的起始位置和宽度，上下振幅，以减少样品表面问题对检测结果带来的影响

?除跟踪样品表面之外，同时可跟踪样品内部多个不同界面；可同时提供3个以上表面跟踪线，从而消除样品多重翘曲而造成部分扫描不到的影响，一次性扫描芯片焊接层的图像；

22.1

DTS 高分辨动态透射扫描单元

·包含40MHzf=16mm透射接收探头及固定及透射接收探头上下调整装置

?改变了传统的穿透式透射接收探头安装固定后就无法聚焦的状况，通过后置运动单元，使用者可以像C-扫描反射探头一样对该透射接收探头进行聚焦，使得发射探头和透射接 (略) 于同一聚焦面，保证透射接收探头最佳信号接收状态甚至可以和C-扫描的分辨率相媲美；

?加了DTS系统的透射接收探头的接收靶面明显要小于普通无聚焦的透射接收探头，

从而达到高分辨率的效果；

·透射和C-扫描同时一次性进行（S-扫描模式），无需改变接线模式，即可进行透射扫描与反射扫描的 任意切换，节省时间，提高工作效率

·透射模式也可以转换成反射模式，可以和上面的反射发射探头同时C扫描产品的上下面

23

·图像分辨率最小: 50 x 50像素 最大≥ 32,000 x 32,000 像素；

·精度最小 0.5um/pixel;

·在输入扫描面积和每个像素的分辨尺寸后，软件自动计算图像分辨率;

24

图片保存格式：tiff, bmp, jpeg,或者png; tiff格式能一键存储保存所有的扫描参数；

25

报告生成功能：

扫描后自动生成扫描分析报告，报告中包含：最终扫描图片、各种扫描参数设置、样品的A扫描波形图；

26

缺陷着色：

?自动相位成像；根据相位翻转原理对缺陷自动着色（0-255 可选）；根据灰度等级手动着色；根据渡越时间手动着色，根据厚度变化手动着色（已知材料的阻抗值）；

?可对扫描图 (略) 理，可定义数个 (略) 域进行定量分析； (略) 域的颜色可以由用户自由设定，便于进行分层缺陷分析

27

参数调用方式：

用户可自主选择以何种方式调用之前扫描保存的图片来获得扫描参数，如可以调用之前扫描保存的所有参数，包括脉冲，扫描位置，Z轴高度等；或只调用之前保存的脉冲参数，门限设置等；或仅调用之前扫描时探头的X-Y-Z位置；或仅用来调用之前扫描时的X-Y位置，但不包括Z等

28

软件操作界面名称可根据用户使用方米的空间安放机器并供工程师安装调试设备；

l设备重量约500 KG，要求摆放设备的地面平整（非架空地板）, 承重需要在500KG/平方米以上；

l电源采用220V±10%、50Hz，交流输出电压变动范围控制在±2%以内, 系统耗电功率为1kVA；

l如果设备使用场所会有断电发生或者电流不清洁，建议配置 1500W以上 UPS；

l操作室温度15 ～35℃；湿度：小于90%；

l设备使用空间要求无烟无尘，避免金属抛光研磨等粉尘严重的工作环境；

l设备安装设备附近无强烈电磁信号干扰；

l避免摆放在冲压机床等设备的附近，以免其震动干扰到超声波信号；

l请勿摆放在扫描电子显微镜附近，因超声扫描设备本身就是一个震动源，对防震有特别要求的电镜使用会有所影响；

l超声扫描设备的超声波对人体没有伤害，无需额外防护措施；

l耦合介质：纯净去离子水，无害排放；去离子水需视洁净程度定期更换；

l选择安装地点时需考虑上水和下水排放；

l请勿使用管道自来水。

1

工作条件：

l适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃和相对湿度为90％的环境条件下运输和贮存。

操作室温度在 15 ～ 35℃；相对湿度：不大于90% RH

l配置符合中国有关标准要求的插头或提供适当的转换插座。

2

工作原理及设备用途：

超声波扫描显微镜利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异的特点，从而实现对材料内部缺陷的定性分析，在半导体封装及材料等行业中得到广泛应用。可分辨出材料、元器件内部的裂纹、空洞、气泡、分层缺陷、杂质等；广泛用于测试各种元器件、SMT焊接器件、IGBT器件、MEMS器件、晶圆键合等内部缺陷的无损检测，是提供高分辨率且无损检测的重要手段，和X-Ray, 电镜等为互补检测手段。

3

适用对象：

塑封器件、BGA、电容、LED、陶瓷基板等，根据不同产品，选择适合的探头频率与焦距；

4

（1）超声波操作软件：

扫描模式：A-SCAN（点扫描）、B-SCAN（ 纵向扫描）、C-SCAN（单层水平扫描）、Z-Staple层层聚焦纵向定量扫描模式；还具有：X-Scan （多层断层C扫描）、多重门限扫描、High Quality-高清晰扫描、插值扫描模式、表面跟踪扫描、托盘矩阵扫描、顺序扫描（序列扫描）、预扫描、自动扫描、Z-Scan实体扫描模式（虚拟再生扫描功能）、FIR分频扫描、Over Scan 扫描等更多扫描模式可用；

透射扫描-配置透射扫描固定单元及透射接收探头来实现。

（2）图像 (略) 理软件：

(略) 理，包括图像增强、滤波、平滑、锐利等常规 (略) 理功能；渡越时间分析；推拉窗口分析；厚度估计；声速计算；波形比较分析；三维图像显示和分析；

5

扫描范围：

?最小：200 x 200 μm 最大≥ 320 x 320 mm ；

?可自定 (略) 域，可任意输入或框选扫描面积（正方形，长方形，客户自绘形状）；同时

还能自定义序列扫描，跳过没有样品的空白位置；

?可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸，自动设定扫描范围。

6

·X轴、Y轴均为线性马达驱动；并具有磁力悬浮机构、扫描速度快、噪音轻、使用及维护成本低；XY 轴配合±0.1um 精度光栅尺精确定位；

·扫描机构下具有8厘 (略) ，在高速扫描过程中可隔绝振动和快速扫描对图片质量的影响。

7

最新一代 M4i -ADC 卡,采样频率 1.25G/秒, 4G 内存，带散热风扇；

8

重复精度 +-0.1um( 提供测试报告)。

9

X轴最大扫描速度 1,500mm/s, X 轴平均可用扫描速度 1,000mm/s；

10

能够对检测界面的缺陷、焊接质量情况进行统计和分析，图像可同步显示检测界面缺陷率分布状况及缺陷的大小并计算最大缺陷面积占比和所有缺陷面积占比；

可根据样品的实际轮廓（ 圆形，矩形，不规则形）对检测界面、焊接界面质量进行缺陷面积百分比统计分析，样品扫描后可采用鼠标选择扫描范围后提供缺陷尺寸列表并输出报告（可显示所有孔洞尺寸、面积等信息， (略) 域的孔洞率、最大孔洞尺寸、面积等），点击列表中任一行可显示该缺陷在扫描图像上的 X/Y 区域，便于进一步分析和定位缺陷；

11

具有表面稳定功能，可消除或减弱样品表面刻字，激光打标等样品对样品内部超声波信号所带来的影响；

12

提供以下3种反射发射探头和1种头透射探头：

(1)40MHz f= 16mm（透射接收探头）

(2)25Mhzf=20mm（透射接收探头）

(3)30Mhzf=12.7mm（透射接收探头）

(4)100MHz f= 8mm（反射发射探头）

13

Z轴具有表面自动对焦功能，同时对样品内部任意界面自动对焦；

?自动对焦；

?不仅具有表面自动对焦功能，同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 这一功能最 (略) 是：在用户需要重复检测同一种类样品时，即使样品摆放有一定的高度误差，设备可以自动对焦到所设定的界面，操作人员不需要每次扫描前将对焦位置重新校准，只需要直接扫描即可；节省时间，提高效率；

?逐层自动对焦可设定步距，Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描；

14

射频增益调节窗口：-22dB-50dB，最大≥ 150dB， 步进增益0.1dB

15

单探头扫描架构结构，后续可以在不改变扫描机构主体的情况下，升级为前后双探头同步扫描架构，达到单探头扫描的2倍的效率 ；

16

DPR500高频超声波接收/发射器频率带宽：500MHz

17

专业工业控制计算机系统最低配置：

Inte (略) 理器，CPU 3.5GHz，32GB 内存，1T 硬盘，DVD-RW刻录光驱， 高速图像卡， Windows 10-64位操作系统， (略) 络接口，2台27" LCD液晶显示器

18

A波形特点：

?可以生成多个A波形显示窗口，并且没有数量限制;

?A波形显示窗口能够在一个窗口中同时显示出二个不同位置的波形情况，便于比较有缺陷位置和正常位置波形的差异；

?A 波形输出格式： png 图片格式、 txt 数据格式；

?可根据需要，随时改变A扫描的窗口大小；

?能实现A-Scan Overlay及多点A-Scan记录；

?波形显示窗口提供傅里叶变换FFT的结果图像，便于对波形进行分析

19

B 扫描特点：

B扫描能够显示出样品纵向切面的实际图像，而不是虚拟图像，能够显示出器件内部剖面实际翘曲情况或缺陷的深度分布；

20

多层C扫描: 扫描层数≥200层, 最小时间窗口1ns，并可独立设置不同层面的厚度；

21

多重门限扫描:可以单独对每一层设置，可以得到多张不同层面的C扫描图片；

22

表面跟踪特点：

?表面跟踪线可以根据需要随意上下，左右移动，可任意改变跟踪范围，并且可以改变表面跟踪线所跟踪的A-扫描正负波形，不仅能解决由于样品不平造成的图像不准确，而且可以通过改变跟踪A-扫描正负波的形式解决相位检测中的着色不准确问题；

?可根据样品表面的翘曲程度和表面粗糙度来调整表面跟踪线的起始位置和宽度，上下振幅，以减少样品表面问题对检测结果带来的影响

?除跟踪样品表面之外，同时可跟踪样品内部多个不同界面；可同时提供3个以上表面跟踪线，从而消除样品多重翘曲而造成部分扫描不到的影响，一次性扫描芯片焊接层的图像；

22.1

DTS 高分辨动态透射扫描单元

·包含40MHzf=16mm透射接收探头及固定及透射接收探头上下调整装置

?改变了传统的穿透式透射接收探头安装固定后就无法聚焦的状况，通过后置运动单元，使用者可以像C-扫描反射探头一样对该透射接收探头进行聚焦，使得发射探头和透射接 (略) 于同一聚焦面，保证透射接收探头最佳信号接收状态甚至可以和C-扫描的分辨率相媲美；

?加了DTS系统的透射接收探头的接收靶面明显要小于普通无聚焦的透射接收探头，

从而达到高分辨率的效果；

·透射和C-扫描同时一次性进行（S-扫描模式），无需改变接线模式，即可进行透射扫描与反射扫描的 任意切换，节省时间，提高工作效率

·透射模式也可以转换成反射模式，可以和上面的反射发射探头同时C扫描产品的上下面

23

·图像分辨率最小: 50 x 50像素 最大≥ 32,000 x 32,000 像素；

·精度最小 0.5um/pixel;

·在输入扫描面积和每个像素的分辨尺寸后，软件自动计算图像分辨率;

24

图片保存格式：tiff, bmp, jpeg,或者png; tiff格式能一键存储保存所有的扫描参数；

25

报告生成功能：

扫描后自动生成扫描分析报告，报告中包含：最终扫描图片、各种扫描参数设置、样品的A扫描波形图；

26

缺陷着色：

?自动相位成像；根据相位翻转原理对缺陷自动着色（0-255 可选）；根据灰度等级手动着色；根据渡越时间手动着色，根据厚度变化手动着色（已知材料的阻抗值）；

?可对扫描图 (略) 理，可定义数个 (略) 域进行定量分析； (略) 域的颜色可以由用户自由设定，便于进行分层缺陷分析

27

参数调用方式：

用户可自主选择以何种方式调用之前扫描保存的图片来获得扫描参数，如可以调用之前扫描保存的所有参数，包括脉冲，扫描位置，Z轴高度等；或只调用之前保存的脉冲参数，门限设置等；或仅调用之前扫描时探头的X-Y-Z位置；或仅用来调用之前扫描时的X-Y位置，但不包括Z等

28

软件操作界面名称可根据用户使用方米的空间安放机器并供工程师安装调试设备；

l设备重量约500 KG，要求摆放设备的地面平整（非架空地板）, 承重需要在500KG/平方米以上；

l电源采用220V±10%、50Hz，交流输出电压变动范围控制在±2%以内, 系统耗电功率为1kVA；

l如果设备使用场所会有断电发生或者电流不清洁，建议配置 1500W以上 UPS；

l操作室温度15 ～35℃；湿度：小于90%；

l设备使用空间要求无烟无尘，避免金属抛光研磨等粉尘严重的工作环境；

l设备安装设备附近无强烈电磁信号干扰；

l避免摆放在冲压机床等设备的附近，以免其震动干扰到超声波信号；

l请勿摆放在扫描电子显微镜附近，因超声扫描设备本身就是一个震动源，对防震有特别要求的电镜使用会有所影响；

l超声扫描设备的超声波对人体没有伤害，无需额外防护措施；

l耦合介质：纯净去离子水，无害排放；去离子水需视洁净程度定期更换；

l选择安装地点时需考虑上水和下水排放；

l请勿使用管道自来水。

1

质保期：

l整机质保1年；质量保证期自设备安装调试完毕，最终用户验收之日起计算（如非因设备本身质量原因，验收工作需于设备安装调试完成后1个月内完成）；

l质量保证期内出现故障仪器停用的时间，从质量保证期中扣除，在质量保证期外的维修只收取配件成本费，免收人工服务费，招标人人为损坏除外；

2

备件和易损件：

l超声波扫描显微镜通常采用水（洁净水，如去离子水等）或其它有机溶剂做为样品和换能器之间的耦合介质，所以并不需要其它耗材；只是根据检测样品的不同，更换相应换能器即可；

l该系统采用的是高精度超高速线性马达和线性光栅尺精确定位，光栅尺需要定期擦拭灰尘；

l系统提供有备用工业润滑油一罐，在长时间不使用仪器的情况下，可以涂抹在扫描机构的滑动轨道上。

3

技术培训：

l免费提供2次以上针对最终用户的上门培训；

l初级培训

设备现场安装调试完成后，中标人对最终用户技术人员和设备使用人员进行专业技术培训，培训内容包含以下内容：仪器工作原理、功能介绍、设备操作使用、维修和保养及注意事项，最终用户样品测试方法、缺陷分析、空洞率计算等

l培训时间：培训至少3个工作日，培训人员不少于2人。

l提高测试技巧、分析判别能力的高级培训；

l在最终用户操作人员使用设备1-2个月，3-6个月后，积累了一定实际操作经验和需要探讨的问题后，中标人将再次上门提供各1天的免费高级分析能力培训，培训内容：高级分析和应用技巧等并且现场指导最终用户操作人员如何进行疑难样品测试，缺陷判断和分析等。

l无论保修期内外，中标人均向招标人提供在上海实验室进行的循环技术培训，培训免费，最终用户参加培训的人员差旅费自理；

l最终用户后续碰到任何疑难样品，中标人均提供免费测试指导及参数设置；

l中标人将不定期回访最终用户并进行技术交流与培训；最终用户在设备使用中的问题，中标人提供积极技术支持；

4

设备安装、调试与验收：

l设备交货前3天，向用户提供设备安装的相关技术要求，如水、电、气等动力条件、外观尺寸、安装尺寸和重量等

l按用户指定时间，工程师到场与用户共同开箱清点后进行安装和调试，使设备达到原厂标准并满足此技术规范中的所有工艺和设备要求。如有短缺或破损，中标人应予以补足或更换；

l安装调试期限：3天内完成，机台稳定并正常测试；安装工程师的差旅费用自行承担；

l设备正常工作后，初级培训完成，双方按照依据技术参数和功能要求，选取试验品开展验收试验，由中标人负责功能演示，无法演示的提供德国 PVA制造商证明资料； 或达到技术协议要求，双方签订验收报告，设备进入质保期；

5

售后服务响应时间：

l#方在上海、北京、成都、深圳、武汉均设有专业维修站，配备专业维修工程师，如设备遇质量问题，接到客户报修电话、邮件，2小时内响应；紧急情况 24小时内赶到用户现场进行维修。一般问题应在3天内、重大问题应在1周内解决或提出明确方案；

6

中标人增值服务承诺：

l无论保修期内外，均提供免费样品测试服务及远程测试参数设置指导服务;

l招标人后续碰到疑难样品或者新产品测试，无论保修期内外，均可将样品快递到中标人上海实验室，由中标人技术工程师协助测试，然后将Tiff 测试文件发回，供招标人SAM 操作员参考和对照操作；

l不论保修期内外，招标人SAM 操作员均可报名参加中标人在上海实验室举办的循环技术培训（培训免费，招标人差旅费自理）;

l配有资深机械工程师，可配合招标人的要求，定制各种样品吸盘，防水密封夹具，半自动设备等;

l将新销售的或之前从 (略) 所购买的原有的德国 PVA超声扫描设备升级为前后双工位系统（工作水槽内可包含让样品台移动的导轨等工业化设计；

l定期举办最新超声波扫描应用技术交流会和对老客户上门回访；

l不涉及到增配硬件的情况下，软件免费升级。

7

其他：

未尽事宜双方共同协商解决。

1

质保期：

l整机质保1年；质量保证期自设备安装调试完毕，最终用户验收之日起计算（如非因设备本身质量原因，验收工作需于设备安装调试完成后1个月内完成）；

l质量保证期内出现故障仪器停用的时间，从质量保证期中扣除，在质量保证期外的维修只收取配件成本费，免收人工服务费，招标人人为损坏除外；

2

备件和易损件：

l超声波扫描显微镜通常采用水（洁净水，如去离子水等）或其它有机溶剂做为样品和换能器之间的耦合介质，所以并不需要其它耗材；只是根据检测样品的不同，更换相应换能器即可；

l该系统采用的是高精度超高速线性马达和线性光栅尺精确定位，光栅尺需要定期擦拭灰尘；

l系统提供有备用工业润滑油一罐，在长时间不使用仪器的情况下，可以涂抹在扫描机构的滑动轨道上。

3

技术培训：

l免费提供2次以上针对最终用户的上门培训；

l初级培训

设备现场安装调试完成后，中标人对最终用户技术人员和设备使用人员进行专业技术培训，培训内容包含以下内容：仪器工作原理、功能介绍、设备操作使用、维修和保养及注意事项，最终用户样品测试方法、缺陷分析、空洞率计算等

l培训时间：培训至少3个工作日，培训人员不少于2人。

l提高测试技巧、分析判别能力的高级培训；

l在最终用户操作人员使用设备1-2个月，3-6个月后，积累了一定实际操作经验和需要探讨的问题后，中标人将再次上门提供各1天的免费高级分析能力培训，培训内容：高级分析和应用技巧等并且现场指导最终用户操作人员如何进行疑难样品测试，缺陷判断和分析等。

l无论保修期内外，中标人均向招标人提供在上海实验室进行的循环技术培训，培训免费，最终用户参加培训的人员差旅费自理；

l最终用户后续碰到任何疑难样品，中标人均提供免费测试指导及参数设置；

l中标人将不定期回访最终用户并进行技术交流与培训；最终用户在设备使用中的问题，中标人提供积极技术支持；

4

设备安装、调试与验收：

l设备交货前3天，向用户提供设备安装的相关技术要求，如水、电、气等动力条件、外观尺寸、安装尺寸和重量等

l按用户指定时间，工程师到场与用户共同开箱清点后进行安装和调试，使设备达到原厂标准并满足此技术规范中的所有工艺和设备要求。如有短缺或破损，中标人应予以补足或更换；

l安装调试期限：3天内完成，机台稳定并正常测试；安装工程师的差旅费用自行承担；

l设备正常工作后，初级培训完成，双方按照依据技术参数和功能要求，选取试验品开展验收试验，由中标人负责功能演示，无法演示的提供设备制造商证明资料；或达到技术协议要求，双方签订验收报告，设备进入质保期；

5

售后服务响应时间：

l#方在上海、北京、成都、深圳、武汉均设有专业维修站，配备专业维修工程师，如设备遇质量问题，接到客户报修电话、邮件，2小时内响应；紧急情况 24小时内赶到用户现场进行维修。一般问题应在3天内、重大问题应在1周内解决或提出明确方案；

6

中标人增值服务承诺：

l无论保修期内外，均提供免费样品测试服务及远程测试参数设置指导服务;

l招标人后续碰到疑难样品或者新产品测试，无论保修期内外，均可将样品快递到中标人上海实验室，由中标人技术工程师协助测试，然后将Tiff 测试文件发回，供招标人SAM 操作员参考和对照操作；

l不论保修期内外，招标人操作员均可报名参加中标人在上海实验室举办的循环技术培训（培训免费，招标人差旅费自理）;

l配有资深机械工程师，可配合招标人的要求，定制各种样品吸盘，防水密封夹具，半自动设备等;

l将新销售的或之前从 (略) 所购买的原有的超声扫描设备升级为前后双工位系统（工作水槽内可包含让样品台移动的导轨等工业化设计；

l定期举办最新超声波扫描应用技术交流会和对老客户上门回访；

l不涉及到增配硬件的情况下，软件免费升级。

7

其他：

未尽事宜双方共同协商解决。

序号

名称

主要规格型号/描述

数量

1

主机和

标准附件

超声波扫描显微镜 型号：SAM 301

1套

1)主机系统及标准附件

1套

2)专业工控机

1台

3)ADC卡, 采样频率1.25G/s，4G 内存，带散热风扇

1张

4)DPR 500 高频超声波发射和接收单元

1套

5)德国PVA- Winsam 8超声扫描操作与计算软件

1套

6)德国 PVA-SAMnalysis I (略) 理与分析软件

1套

7)DTS 高分辨率动态透射扫描单元

包含：安装固定装置、DTS动态调整装置；

40 MHz f=16mm （透射接收探头）

1套

8)100MHz f= 8 mm

9)25Mhz f=20mm

10)30Mhz f=12.7mm

（8、9、10）项为反射探头 各1个，合计3个

3个

11）德国PVA指定中国工厂配套支架、防尘罩，防静电操作台

UPS稳压电源；

1套

2

随机配件及

专用工具

1）探头摆放架

1个

2）探头保护盒

1个

2）去水泡工具

1个

3）排水管

1根

4）安装与维修专用工具包

1 套

5）线性马达锁定块

1套

6）轨道保护润滑油及注射枪，

1套

3

随机附件

(1)安装维修专用工具

(2)去水泡工具

1套

序号

名称

主要规格型号/描述

数量

1

主机和

标准附件

超声波扫描显微镜

1套

11)主机系统及标准附件

1套

12)专业工控机

1台

13)ADC卡, 采样频率1.25G/s，4G 内存，带散热风扇

1张

14)DPR 500 高频超声波发射和接收单元

1套

15)超声扫描操作与计算软件

1套

16)I (略) 理与分析软件

1套

17)DTS 高分辨率动态透射扫描单元

包含：安装固定装置、DTS动态调整装置；

40 MHz f=16mm （透射接收探头）

1套

18)100MHz f= 8 mm

19)25Mhz f=20mm

20)30Mhz f=12.7mm

（8、9、10）项为反射探头 各1个，合计3个

3个

13）配套支架、防尘罩，防静电操作台

UPS稳压电源；

1套

2

随机配件及

专用工具

1）探头摆放架

1个

2）探头保护盒

1个

2）去水泡工具

1个

3）排水管

1根

4）安装与维修专用工具包

1 套

5）线性马达锁定块

1套

6）轨道保护润滑油及注射枪，

1套

3

随机附件

(3)安装维修专用工具

(4)去水泡工具

1套

1

工作条件：

l适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃和相对湿度为90％的环境条件下运输和贮存。

操作室温度在 15 ～ 35℃；相对湿度：不大于90% RH

l配置符合中国有关标准要求的插头或提供适当的转换插座。

2

工作原理及设备用途：

超声波扫描显微镜利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异的特点，从而实现对材料内部缺陷的定性分析，在半导体封装及材料等行业中得到广泛应用。可分辨出材料、元器件内部的裂纹、空洞、气泡、分层缺陷、杂质等；广泛用于测试各种元器件、SMT焊接器件、IGBT器件、MEMS器件、晶圆键合等内部缺陷的无损检测，是提供高分辨率且无损检测的重要手段，和X-Ray, 电镜等为互补检测手段。

3

适用对象：

塑封器件、BGA、电容、LED、陶瓷基板等，根据不同产品，选择适合的探头频率与焦距；

4

（1）PVA -Winsam 8 超声波操作软件：

扫描模式：A-SCAN（点扫描）、B-SCAN（ 纵向扫描）、C-SCAN（单层水平扫描）、Z-Staple层层聚焦纵向定量扫描模式；还具有：X-Scan （多层断层C扫描）、多重门限扫描、High Quality-高清晰扫描、插值扫描模式、表面跟踪扫描、托盘矩阵扫描、顺序扫描（序列扫描）、预扫描、自动扫描、Z-Scan实体扫描模式（虚拟再生扫描功能）、FIR分频扫描、Over Scan 扫描等更多扫描模式可用；

透射扫描-配置透射扫描固定单元及透射接收探头来实现。

(5)PVA-SAMnalysis IA 图像 (略) 理软件：

(略) 理，包括图像增强、滤波、平滑、锐利等常规 (略) 理功能；渡越时间分析；推拉窗口分析；厚度估计；声速计算；波形比较分析；三维图像显示和分析；

5

扫描范围：

?最小：200 x 200 μm 最大≥ 320 x 320 mm ；

?可自定 (略) 域，可任意输入或框选扫描面积（正方形，长方形，客户自绘形状）；同时

还能自定义序列扫描，跳过没有样品的空白位置；

?可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸，自动设定扫描范围。

6

·X轴、Y轴均为线性马达驱动；并具有磁力悬浮机构、扫描速度快、噪音轻、使用及维护成本低；XY 轴配合±0.1um 精度光栅尺精确定位；

·扫描机构下具有8厘 (略) ，在高速扫描过程中可隔绝振动和快速扫描对图片质量的影响。

7

最新一代 M4i -ADC 卡,采样频率 1.25G/秒, 4G 内存，带散热风扇；

8

重复精度 +-0.1um( 德国 PVATePla原厂提供测试报告)。

9

X轴最大扫描速度 1,500mm/s, X 轴平均可用扫描速度 1,000mm/s；

10

能够对检测界面的缺陷、焊接质量情况进行统计和分析，图像可同步显示检测界面缺陷率分布状况及缺陷的大小并计算最大缺陷面积占比和所有缺陷面积占比；

可根据样品的实际轮廓（ 圆形，矩形，不规则形）对检测界面、焊接界面质量进行缺陷面积百分比统计分析，样品扫描后可采用鼠标选择扫描范围后提供缺陷尺寸列表并输出报告（可显示所有孔洞尺寸、面积等信息， (略) 域的孔洞率、最大孔洞尺寸、面积等），点击列表中任一行可显示该缺陷在扫描图像上的 X/Y 区域，便于进一步分析和定位缺陷；

11

具有表面稳定功能，可消除或减弱样品表面刻字，激光打标等样品对样品内部超声波信号所带来的影响；

12

提供以下3种反射发射探头和1种头透射探头：

(1)40MHz f= 16mm（透射接收探头）

(2)25Mhzf=20mm（透射接收探头）

(3)30Mhzf=12.7mm（透射接收探头）

(4)100MHz f= 8mm（反射发射探头）

13

Z轴具有表面自动对焦功能，同时对样品内部任意界面自动对焦；

?自动对焦；专利号：DE#A1；

?不仅具有表面自动对焦功能，同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 这一功能最 (略) 是：在用户需要重复检测同一种类样品时，即使样品摆放有一定的高度误差，设备可以自动对焦到所设定的界面，操作人员不需要每次扫描前将对焦位置重新校准，只需要直接扫描即可；节省时间，提高效率；

?逐层自动对焦可设定步距，Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描；

14

射频增益调节窗口：-22dB-50dB，最大≥ 150dB， 步进增益0.1dB

15

单探头扫描架构结构，后续可以在不改变扫描机构主体的情况下，升级为前后双探头同步扫描架构，达到单探头扫描的2倍的效率 ；

16

DPR500高频超声波接收/发射器频率带宽：500MHz

17

专业工业控制计算机系统最低配置：

Inte (略) 理器，CPU 3.5GHz，32GB 内存，1T 硬盘，DVD-RW刻录光驱， 高速图像卡， Windows 10-64位操作系统， (略) 络接口，2台27" LCD液晶显示器

18

A波形特点：

?可以生成多个A波形显示窗口，并且没有数量限制;

?A波形显示窗口能够在一个窗口中同时显示出二个不同位置的波形情况，便于比较有缺陷位置和正常位置波形的差异；

?A 波形输出格式： png 图片格式、 txt 数据格式；

?可根据需要，随时改变A扫描的窗口大小；

?能实现A-Scan Overlay及多点A-Scan记录；

?波形显示窗口提供傅里叶变换FFT的结果图像，便于对波形进行分析

19

B 扫描特点：

B扫描能够显示出样品纵向切面的实际图像，而不是虚拟图像，能够显示出器件内部剖面实际翘曲情况或缺陷的深度分布；

20

多层C扫描: 扫描层数≥200层, 最小时间窗口1ns，并可独立设置不同层面的厚度；

21

多重门限扫描:可以单独对每一层设置，可以得到多张不同层面的C扫描图片；

22

表面跟踪特点：

?表面跟踪线可以根据需要随意上下，左右移动，可任意改变跟踪范围，并且可以改变表面跟踪线所跟踪的A-扫描正负波形，不仅能解决由于样品不平造成的图像不准确，而且可以通过改变跟踪A-扫描正负波的形式解决相位检测中的着色不准确问题；

?可根据样品表面的翘曲程度和表面粗糙度来调整表面跟踪线的起始位置和宽度，上下振幅，以减少样品表面问题对检测结果带来的影响

?除跟踪样品表面之外，同时可跟踪样品内部多个不同界面；可同时提供3个以上表面跟踪线，从而消除样品多重翘曲而造成部分扫描不到的影响，一次性扫描芯片焊接层的图像；

22.1

DTS 高分辨动态透射扫描单元

·包含40MHzf=16mm透射接收探头及固定及透射接收探头上下调整装置

?改变了传统的穿透式透射接收探头安装固定后就无法聚焦的状况，通过后置运动单元，使用者可以像C-扫描反射探头一样对该透射接收探头进行聚焦，使得发射探头和透射接 (略) 于同一聚焦面，保证透射接收探头最佳信号接收状态甚至可以和C-扫描的分辨率相媲美；

?加了DTS系统的透射接收探头的接收靶面明显要小于普通无聚焦的透射接收探头，

从而达到高分辨率的效果；

·透射和C-扫描同时一次性进行（S-扫描模式），无需改变接线模式，即可进行透射扫描与反射扫描的 任意切换，节省时间，提高工作效率

·透射模式也可以转换成反射模式，可以和上面的反射发射探头同时C扫描产品的上下面

23

·图像分辨率最小: 50 x 50像素 最大≥ 32,000 x 32,000 像素；

·精度最小 0.5um/pixel;

·在输入扫描面积和每个像素的分辨尺寸后，软件自动计算图像分辨率;

24

图片保存格式：tiff, bmp, jpeg,或者png; tiff格式能一键存储保存所有的扫描参数；

25

报告生成功能：

扫描后自动生成扫描分析报告，报告中包含：最终扫描图片、各种扫描参数设置、样品的A扫描波形图；

26

缺陷着色：

?自动相位成像；根据相位翻转原理对缺陷自动着色（0-255 可选）；根据灰度等级手动着色；根据渡越时间手动着色，根据厚度变化手动着色（已知材料的阻抗值）；

?可对扫描图 (略) 理，可定义数个 (略) 域进行定量分析； (略) 域的颜色可以由用户自由设定，便于进行分层缺陷分析

27

参数调用方式：

用户可自主选择以何种方式调用之前扫描保存的图片来获得扫描参数，如可以调用之前扫描保存的所有参数，包括脉冲，扫描位置，Z轴高度等；或只调用之前保存的脉冲参数，门限设置等；或仅调用之前扫描时探头的X-Y-Z位置；或仅用来调用之前扫描时的X-Y位置，但不包括Z等

28

软件操作界面名称可根据用户使用方米的空间安放机器并供工程师安装调试设备；

l设备重量约500 KG，要求摆放设备的地面平整（非架空地板）, 承重需要在500KG/平方米以上；

l电源采用220V±10%、50Hz，交流输出电压变动范围控制在±2%以内, 系统耗电功率为1kVA；

l如果设备使用场所会有断电发生或者电流不清洁，建议配置 1500W以上 UPS；

l操作室温度15 ～35℃；湿度：小于90%；

l设备使用空间要求无烟无尘，避免金属抛光研磨等粉尘严重的工作环境；

l设备安装设备附近无强烈电磁信号干扰；

l避免摆放在冲压机床等设备的附近，以免其震动干扰到超声波信号；

l请勿摆放在扫描电子显微镜附近，因超声扫描设备本身就是一个震动源，对防震有特别要求的电镜使用会有所影响；

l超声扫描设备的超声波对人体没有伤害，无需额外防护措施；

l耦合介质：纯净去离子水，无害排放；去离子水需视洁净程度定期更换；

l选择安装地点时需考虑上水和下水排放；

l请勿使用管道自来水。

1

工作条件：

l适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃和相对湿度为90％的环境条件下运输和贮存。

操作室温度在 15 ～ 35℃；相对湿度：不大于90% RH

l配置符合中国有关标准要求的插头或提供适当的转换插座。

2

工作原理及设备用途：

超声波扫描显微镜利用材料内部组织因密度不同而对超声波声阻抗、超声波吸收与反射程度产生差异的特点，从而实现对材料内部缺陷的定性分析，在半导体封装及材料等行业中得到广泛应用。可分辨出材料、元器件内部的裂纹、空洞、气泡、分层缺陷、杂质等；广泛用于测试各种元器件、SMT焊接器件、IGBT器件、MEMS器件、晶圆键合等内部缺陷的无损检测，是提供高分辨率且无损检测的重要手段，和X-Ray, 电镜等为互补检测手段。

3

适用对象：

塑封器件、BGA、电容、LED、陶瓷基板等，根据不同产品，选择适合的探头频率与焦距；

4

（1）超声波操作软件：

扫描模式：A-SCAN（点扫描）、B-SCAN（ 纵向扫描）、C-SCAN（单层水平扫描）、Z-Staple层层聚焦纵向定量扫描模式；还具有：X-Scan （多层断层C扫描）、多重门限扫描、High Quality-高清晰扫描、插值扫描模式、表面跟踪扫描、托盘矩阵扫描、顺序扫描（序列扫描）、预扫描、自动扫描、Z-Scan实体扫描模式（虚拟再生扫描功能）、FIR分频扫描、Over Scan 扫描等更多扫描模式可用；

透射扫描-配置透射扫描固定单元及透射接收探头来实现。

（2）图像 (略) 理软件：

(略) 理，包括图像增强、滤波、平滑、锐利等常规 (略) 理功能；渡越时间分析；推拉窗口分析；厚度估计；声速计算；波形比较分析；三维图像显示和分析；

5

扫描范围：

?最小：200 x 200 μm 最大≥ 320 x 320 mm ；

?可自定 (略) 域，可任意输入或框选扫描面积（正方形，长方形，客户自绘形状）；同时

还能自定义序列扫描，跳过没有样品的空白位置；

?可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸，自动设定扫描范围。

6

·X轴、Y轴均为线性马达驱动；并具有磁力悬浮机构、扫描速度快、噪音轻、使用及维护成本低；XY 轴配合±0.1um 精度光栅尺精确定位；

·扫描机构下具有8厘 (略) ，在高速扫描过程中可隔绝振动和快速扫描对图片质量的影响。

7

最新一代 M4i -ADC 卡,采样频率 1.25G/秒, 4G 内存，带散热风扇；

8

重复精度 +-0.1um( 提供测试报告)。

9

X轴最大扫描速度 1,500mm/s, X 轴平均可用扫描速度 1,000mm/s；

10

能够对检测界面的缺陷、焊接质量情况进行统计和分析，图像可同步显示检测界面缺陷率分布状况及缺陷的大小并计算最大缺陷面积占比和所有缺陷面积占比；

可根据样品的实际轮廓（ 圆形，矩形，不规则形）对检测界面、焊接界面质量进行缺陷面积百分比统计分析，样品扫描后可采用鼠标选择扫描范围后提供缺陷尺寸列表并输出报告（可显示所有孔洞尺寸、面积等信息， (略) 域的孔洞率、最大孔洞尺寸、面积等），点击列表中任一行可显示该缺陷在扫描图像上的 X/Y 区域，便于进一步分析和定位缺陷；

11

具有表面稳定功能，可消除或减弱样品表面刻字，激光打标等样品对样品内部超声波信号所带来的影响；

12

提供以下3种反射发射探头和1种头透射探头：

(1)40MHz f= 16mm（透射接收探头）

(2)25Mhzf=20mm（透射接收探头）

(3)30Mhzf=12.7mm（透射接收探头）

(4)100MHz f= 8mm（反射发射探头）

13

Z轴具有表面自动对焦功能，同时对样品内部任意界面自动对焦；

?自动对焦；

?不仅具有表面自动对焦功能，同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 这一功能最 (略) 是：在用户需要重复检测同一种类样品时，即使样品摆放有一定的高度误差，设备可以自动对焦到所设定的界面，操作人员不需要每次扫描前将对焦位置重新校准，只需要直接扫描即可；节省时间，提高效率；

?逐层自动对焦可设定步距，Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描；

14

射频增益调节窗口：-22dB-50dB，最大≥ 150dB， 步进增益0.1dB

15

单探头扫描架构结构，后续可以在不改变扫描机构主体的情况下，升级为前后双探头同步扫描架构，达到单探头扫描的2倍的效率 ；

16

DPR500高频超声波接收/发射器频率带宽：500MHz

17

专业工业控制计算机系统最低配置：

Inte (略) 理器，CPU 3.5GHz，32GB 内存，1T 硬盘，DVD-RW刻录光驱， 高速图像卡， Windows 10-64位操作系统， (略) 络接口，2台27" LCD液晶显示器

18

A波形特点：

?可以生成多个A波形显示窗口，并且没有数量限制;

?A波形显示窗口能够在一个窗口中同时显示出二个不同位置的波形情况，便于比较有缺陷位置和正常位置波形的差异；

?A 波形输出格式： png 图片格式、 txt 数据格式；

?可根据需要，随时改变A扫描的窗口大小；

?能实现A-Scan Overlay及多点A-Scan记录；

?波形显示窗口提供傅里叶变换FFT的结果图像，便于对波形进行分析

19

B 扫描特点：

B扫描能够显示出样品纵向切面的实际图像，而不是虚拟图像，能够显示出器件内部剖面实际翘曲情况或缺陷的深度分布；

20

多层C扫描: 扫描层数≥200层, 最小时间窗口1ns，并可独立设置不同层面的厚度；

21

多重门限扫描:可以单独对每一层设置，可以得到多张不同层面的C扫描图片；

22

表面跟踪特点：

?表面跟踪线可以根据需要随意上下，左右移动，可任意改变跟踪范围，并且可以改变表面跟踪线所跟踪的A-扫描正负波形，不仅能解决由于样品不平造成的图像不准确，而且可以通过改变跟踪A-扫描正负波的形式解决相位检测中的着色不准确问题；

?可根据样品表面的翘曲程度和表面粗糙度来调整表面跟踪线的起始位置和宽度，上下振幅，以减少样品表面问题对检测结果带来的影响

?除跟踪样品表面之外，同时可跟踪样品内部多个不同界面；可同时提供3个以上表面跟踪线，从而消除样品多重翘曲而造成部分扫描不到的影响，一次性扫描芯片焊接层的图像；

22.1

DTS 高分辨动态透射扫描单元

·包含40MHzf=16mm透射接收探头及固定及透射接收探头上下调整装置

?改变了传统的穿透式透射接收探头安装固定后就无法聚焦的状况，通过后置运动单元，使用者可以像C-扫描反射探头一样对该透射接收探头进行聚焦，使得发射探头和透射接 (略) 于同一聚焦面，保证透射接收探头最佳信号接收状态甚至可以和C-扫描的分辨率相媲美；

?加了DTS系统的透射接收探头的接收靶面明显要小于普通无聚焦的透射接收探头，

从而达到高分辨率的效果；

·透射和C-扫描同时一次性进行（S-扫描模式），无需改变接线模式，即可进行透射扫描与反射扫描的 任意切换，节省时间，提高工作效率

·透射模式也可以转换成反射模式，可以和上面的反射发射探头同时C扫描产品的上下面

23

·图像分辨率最小: 50 x 50像素 最大≥ 32,000 x 32,000 像素；

·精度最小 0.5um/pixel;

·在输入扫描面积和每个像素的分辨尺寸后，软件自动计算图像分辨率;

24

图片保存格式：tiff, bmp, jpeg,或者png; tiff格式能一键存储保存所有的扫描参数；

25

报告生成功能：

扫描后自动生成扫描分析报告，报告中包含：最终扫描图片、各种扫描参数设置、样品的A扫描波形图；

26

缺陷着色：

?自动相位成像；根据相位翻转原理对缺陷自动着色（0-255 可选）；根据灰度等级手动着色；根据渡越时间手动着色，根据厚度变化手动着色（已知材料的阻抗值）；

?可对扫描图 (略) 理，可定义数个 (略) 域进行定量分析； (略) 域的颜色可以由用户自由设定，便于进行分层缺陷分析

27

参数调用方式：

用户可自主选择以何种方式调用之前扫描保存的图片来获得扫描参数，如可以调用之前扫描保存的所有参数，包括脉冲，扫描位置，Z轴高度等；或只调用之前保存的脉冲参数，门限设置等；或仅调用之前扫描时探头的X-Y-Z位置；或仅用来调用之前扫描时的X-Y位置，但不包括Z等

28

软件操作界面名称可根据用户使用方米的空间安放机器并供工程师安装调试设备；

l设备重量约500 KG，要求摆放设备的地面平整（非架空地板）, 承重需要在500KG/平方米以上；

l电源采用220V±10%、50Hz，交流输出电压变动范围控制在±2%以内, 系统耗电功率为1kVA；

l如果设备使用场所会有断电发生或者电流不清洁，建议配置 1500W以上 UPS；

l操作室温度15 ～35℃；湿度：小于90%；

l设备使用空间要求无烟无尘，避免金属抛光研磨等粉尘严重的工作环境；

l设备安装设备附近无强烈电磁信号干扰；

l避免摆放在冲压机床等设备的附近，以免其震动干扰到超声波信号；

l请勿摆放在扫描电子显微镜附近，因超声扫描设备本身就是一个震动源，对防震有特别要求的电镜使用会有所影响；

l超声扫描设备的超声波对人体没有伤害，无需额外防护措施；

l耦合介质：纯净去离子水，无害排放；去离子水需视洁净程度定期更换；

l选择安装地点时需考虑上水和下水排放；

l请勿使用管道自来水。

1

质保期：

l整机质保1年；质量保证期自设备安装调试完毕，最终用户验收之日起计算（如非因设备本身质量原因，验收工作需于设备安装调试完成后1个月内完成）；

l质量保证期内出现故障仪器停用的时间，从质量保证期中扣除，在质量保证期外的维修只收取配件成本费，免收人工服务费，招标人人为损坏除外；

2

备件和易损件：

l超声波扫描显微镜通常采用水（洁净水，如去离子水等）或其它有机溶剂做为样品和换能器之间的耦合介质，所以并不需要其它耗材；只是根据检测样品的不同，更换相应换能器即可；

l该系统采用的是高精度超高速线性马达和线性光栅尺精确定位，光栅尺需要定期擦拭灰尘；

l系统提供有备用工业润滑油一罐，在长时间不使用仪器的情况下，可以涂抹在扫描机构的滑动轨道上。

3

技术培训：

l免费提供2次以上针对最终用户的上门培训；

l初级培训

设备现场安装调试完成后，中标人对最终用户技术人员和设备使用人员进行专业技术培训，培训内容包含以下内容：仪器工作原理、功能介绍、设备操作使用、维修和保养及注意事项，最终用户样品测试方法、缺陷分析、空洞率计算等

l培训时间：培训至少3个工作日，培训人员不少于2人。

l提高测试技巧、分析判别能力的高级培训；

l在最终用户操作人员使用设备1-2个月，3-6个月后，积累了一定实际操作经验和需要探讨的问题后，中标人将再次上门提供各1天的免费高级分析能力培训，培训内容：高级分析和应用技巧等并且现场指导最终用户操作人员如何进行疑难样品测试，缺陷判断和分析等。

l无论保修期内外，中标人均向招标人提供在上海实验室进行的循环技术培训，培训免费，最终用户参加培训的人员差旅费自理；

l最终用户后续碰到任何疑难样品，中标人均提供免费测试指导及参数设置；

l中标人将不定期回访最终用户并进行技术交流与培训；最终用户在设备使用中的问题，中标人提供积极技术支持；

4

设备安装、调试与验收：

l设备交货前3天，向用户提供设备安装的相关技术要求，如水、电、气等动力条件、外观尺寸、安装尺寸和重量等

l按用户指定时间，工程师到场与用户共同开箱清点后进行安装和调试，使设备达到原厂标准并满足此技术规范中的所有工艺和设备要求。如有短缺或破损，中标人应予以补足或更换；

l安装调试期限：3天内完成，机台稳定并正常测试；安装工程师的差旅费用自行承担；

l设备正常工作后，初级培训完成，双方按照依据技术参数和功能要求，选取试验品开展验收试验，由中标人负责功能演示，无法演示的提供德国 PVA制造商证明资料； 或达到技术协议要求，双方签订验收报告，设备进入质保期；

5

售后服务响应时间：

l#方在上海、北京、成都、深圳、武汉均设有专业维修站，配备专业维修工程师，如设备遇质量问题，接到客户报修电话、邮件，2小时内响应；紧急情况 24小时内赶到用户现场进行维修。一般问题应在3天内、重大问题应在1周内解决或提出明确方案；

6

中标人增值服务承诺：

l无论保修期内外，均提供免费样品测试服务及远程测试参数设置指导服务;

l招标人后续碰到疑难样品或者新产品测试，无论保修期内外，均可将样品快递到中标人上海实验室，由中标人技术工程师协助测试，然后将Tiff 测试文件发回，供招标人SAM 操作员参考和对照操作；

l不论保修期内外，招标人SAM 操作员均可报名参加中标人在上海实验室举办的循环技术培训（培训免费，招标人差旅费自理）;

l配有资深机械工程师，可配合招标人的要求，定制各种样品吸盘，防水密封夹具，半自动设备等;

l将新销售的或之前从 (略) 所购买的原有的德国 PVA超声扫描设备升级为前后双工位系统（工作水槽内可包含让样品台移动的导轨等工业化设计；

l定期举办最新超声波扫描应用技术交流会和对老客户上门回访；

l不涉及到增配硬件的情况下，软件免费升级。

7

其他：

未尽事宜双方共同协商解决。

1

质保期：

l整机质保1年；质量保证期自设备安装调试完毕，最终用户验收之日起计算（如非因设备本身质量原因，验收工作需于设备安装调试完成后1个月内完成）；

l质量保证期内出现故障仪器停用的时间，从质量保证期中扣除，在质量保证期外的维修只收取配件成本费，免收人工服务费，招标人人为损坏除外；

2

备件和易损件：

l超声波扫描显微镜通常采用水（洁净水，如去离子水等）或其它有机溶剂做为样品和换能器之间的耦合介质，所以并不需要其它耗材；只是根据检测样品的不同，更换相应换能器即可；

l该系统采用的是高精度超高速线性马达和线性光栅尺精确定位，光栅尺需要定期擦拭灰尘；

l系统提供有备用工业润滑油一罐，在长时间不使用仪器的情况下，可以涂抹在扫描机构的滑动轨道上。

3

技术培训：

l免费提供2次以上针对最终用户的上门培训；

l初级培训

设备现场安装调试完成后，中标人对最终用户技术人员和设备使用人员进行专业技术培训，培训内容包含以下内容：仪器工作原理、功能介绍、设备操作使用、维修和保养及注意事项，最终用户样品测试方法、缺陷分析、空洞率计算等

l培训时间：培训至少3个工作日，培训人员不少于2人。

l提高测试技巧、分析判别能力的高级培训；

l在最终用户操作人员使用设备1-2个月，3-6个月后，积累了一定实际操作经验和需要探讨的问题后，中标人将再次上门提供各1天的免费高级分析能力培训，培训内容：高级分析和应用技巧等并且现场指导最终用户操作人员如何进行疑难样品测试，缺陷判断和分析等。

l无论保修期内外，中标人均向招标人提供在上海实验室进行的循环技术培训，培训免费，最终用户参加培训的人员差旅费自理；

l最终用户后续碰到任何疑难样品，中标人均提供免费测试指导及参数设置；

l中标人将不定期回访最终用户并进行技术交流与培训；最终用户在设备使用中的问题，中标人提供积极技术支持；

4

设备安装、调试与验收：

l设备交货前3天，向用户提供设备安装的相关技术要求，如水、电、气等动力条件、外观尺寸、安装尺寸和重量等

l按用户指定时间，工程师到场与用户共同开箱清点后进行安装和调试，使设备达到原厂标准并满足此技术规范中的所有工艺和设备要求。如有短缺或破损，中标人应予以补足或更换；

l安装调试期限：3天内完成，机台稳定并正常测试；安装工程师的差旅费用自行承担；

l设备正常工作后，初级培训完成，双方按照依据技术参数和功能要求，选取试验品开展验收试验，由中标人负责功能演示，无法演示的提供设备制造商证明资料；或达到技术协议要求，双方签订验收报告，设备进入质保期；

5

售后服务响应时间：

l#方在上海、北京、成都、深圳、武汉均设有专业维修站，配备专业维修工程师，如设备遇质量问题，接到客户报修电话、邮件，2小时内响应；紧急情况 24小时内赶到用户现场进行维修。一般问题应在3天内、重大问题应在1周内解决或提出明确方案；

6

中标人增值服务承诺：

l无论保修期内外，均提供免费样品测试服务及远程测试参数设置指导服务;

l招标人后续碰到疑难样品或者新产品测试，无论保修期内外，均可将样品快递到中标人上海实验室，由中标人技术工程师协助测试，然后将Tiff 测试文件发回，供招标人SAM 操作员参考和对照操作；

l不论保修期内外，招标人操作员均可报名参加中标人在上海实验室举办的循环技术培训（培训免费，招标人差旅费自理）;

l配有资深机械工程师，可配合招标人的要求，定制各种样品吸盘，防水密封夹具，半自动设备等;

l将新销售的或之前从 (略) 所购买的原有的超声扫描设备升级为前后双工位系统（工作水槽内可包含让样品台移动的导轨等工业化设计；

l定期举办最新超声波扫描应用技术交流会和对老客户上门回访；

l不涉及到增配硬件的情况下，软件免费升级。

7

其他：

未尽事宜双方共同协商解决。