光学软刻蚀装置招标变更
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光学软刻蚀装置招标变更
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设备名称 |
数量 |
技术参数 |
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光学软刻蚀装置（进口）（CG 点击查看>> ） |
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1、曝光面积：200×200mm； 2、分辨力：≤3um； 3、对准精度：±2um； 4、掩模尺寸：3英寸、5英寸、7英寸、9英寸； 5、样片尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸； 6、wafer chuck表面：防止光反射涂层； 7、掩模样片整体运动范围：X：10mm，Y：10mm； 8、掩模相对 (略) 程：X：±5mm，Y：±5mm，q：±6°； 9、汞灯功率：1000W直流； 10、曝光能量密度：≥15mW/cm2； 11、光源能量控制：光源恒功率（每日测量光强，微调recipe)； 12、曝光峰值波长：365nm； 13、曝光方式：定时（倒计时方式0.1s~9999.9s）； 14、光刻版夹具兼容性； 15、具有盲曝粗对准功能。 16、配置： 16.1、曝光头系统：冷光椭球镜，1000W直流高压汞灯，XYZ汞灯调节台，光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜），冷却风扇； 16.2、对准工件台系统：掩模样片相对运动台，XY转动台，样片调平机构，样片调焦机构，承片台3个（对应样片），掩模夹3个（对应掩模）； 16.3、CCD对准显微镜系统：4倍显微镜2只，照 (略) 源2套，CCD相机2只，22英寸液显； 16.4、电控系统：汞灯触发电源(1000W)，单片机控制系统，控制柜桌； 16.5、气动系统系统：包括气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等； 16.6、其他附件：真空泵1台，空压机1台，配套气管10~15m。 |
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项目编号： | CG 点击查看>> | |||
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采购目录： | 货物类 |
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截止日期： | 点击查看>> |
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一．采购人名称： (略) 二．采购项目名称： 三．采购项目编号： CG 点击查看>> 四．原采购公告发布日期： * 日 五．更正理由： 采购人要求 六．更正事项： 技术参数更正，更正后的技术参数如下：
七．其他事项： 八．联系方式 采购代理机构名称： 地点： (略) 市丰潭 (略) (略) B座11楼1101 联系人：王盼 联系电话： 点击查看>> 传真： |
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设备名称 |
数量 |
技术参数 |
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光学软刻蚀装置（进口）（CG 点击查看>> ） |
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1、曝光面积：200×200mm； 2、分辨力：≤3um； 3、对准精度：±2um； 4、掩模尺寸：3英寸、5英寸、7英寸、9英寸； 5、样片尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸； 6、wafer chuck表面：防止光反射涂层； 7、掩模样片整体运动范围：X：10mm，Y：10mm； 8、掩模相对 (略) 程：X：±5mm，Y：±5mm，q：±6°； 9、汞灯功率：1000W直流； 10、曝光能量密度：≥15mW/cm2； 11、光源能量控制：光源恒功率（每日测量光强，微调recipe)； 12、曝光峰值波长：365nm； 13、曝光方式：定时（倒计时方式0.1s~9999.9s）； 14、光刻版夹具兼容性； 15、具有盲曝粗对准功能。 16、配置： 16.1、曝光头系统：冷光椭球镜，1000W直流高压汞灯，XYZ汞灯调节台，光学系统（冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜），冷却风扇； 16.2、对准工件台系统：掩模样片相对运动台，XY转动台，样片调平机构，样片调焦机构，承片台3个（对应样片），掩模夹3个（对应掩模）； 16.3、CCD对准显微镜系统：4倍显微镜2只，照 (略) 源2套，CCD相机2只，22英寸液显； 16.4、电控系统：汞灯触发电源(1000W)，单片机控制系统，控制柜桌； 16.5、气动系统系统：包括气缸、电磁阀、减压阀、气动开关，电磁阀驱动，气动仪表等； 16.6、其他附件：真空泵1台，空压机1台，配套气管10~15m。 |
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采购目录： | 货物类 |
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截止日期： | 点击查看>> |
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一．采购人名称： (略) 二．采购项目名称： 三．采购项目编号： CG 点击查看>> 四．原采购公告发布日期： * 日 五．更正理由： 采购人要求 六．更正事项： 技术参数更正，更正后的技术参数如下：
七．其他事项： 八．联系方式 采购代理机构名称： 地点： (略) 市丰潭 (略) (略) B座11楼1101 联系人：王盼 联系电话： 点击查看>> 传真： |
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