株洲瑞 (略)

第三代半导体用碳化硅涂层及碳化硅陶瓷制备关键技术装备开发及产业化项目备案证明

株洲瑞 (略) 第三代半导体用碳化硅涂层及碳化硅陶瓷制备关键技术装备开发及产业化项目已于2024年10月21日通过湖南省投资 (略) (略) 申请备案,项目编码为2410-*-04-02-*，主要内容如下：

1.企业名称: 株洲瑞 (略) 。

2.项目名称: 第三代半导体用碳化硅涂层及碳化硅陶瓷制备关键技术装备开发及产业化项目。

3.建设地点： (略) (略) (略) 755号。

4.建设规模及主要内容：本项目通过研究第三代半导体外延片用MOCVD设备核心零部件SiC涂层石墨基座化学气相沉积工艺以及SiC陶瓷烧结工艺，自主开发SiC化学气相沉积装备及半导体用SiC陶瓷烧结装备并且实现产业化应用，运用新一代信息技术、 (略) 等技术手段对现有技术进行改造升级，提升装备智能化水平，建成第三代半导体用SiC涂层及SiC陶瓷烧结工艺中试线及相关技术装备制造产线，解决国内石墨基座高性能SiC涂层制备技术、SiC陶瓷烧结技术及装备卡脖子问题，提升半导体相关产业链稳定性，实现自主可控。

5.项目总投资额：项目总投资*元。

6.涉及相关资质资格及相应开发建设规模的，应严格按照相关规定执行。

7.项目建设必 (略) 国土空间总体 (略) 城市总体规划及有关规划的相关管控要求，并在已获得土地权属上按照使用用途和经审定的规划方案总平面图具体实施。

8.项目建设中有关节能、消防、安全、环境保护、人防、抗震、 (略) 、社会稳定风险评估、区属国有企业投资监督管理等事项应严格按 (略) 有关规定和标准执行，并依法依规到有关单位办理相关手续后方可施工建设，同时，主动接受有关行政监管部门的监管。

9.本备案文件仅表明项目已履行告知承诺程序，不构成备案机关对备案信息的实质性判断或保证。本备案证明有效期为24个月，自发布之日起计算，在备案证明有效期内未开工建设项目的，应在备案证明有效期届满1个 (略) 申请延期。项目在备案证明有效期内未开工建设也未申请延

期的，或虽提出延期申请但未获批准的，本备案证明自动失效。

企业承诺:

1.我公司所填报的企业基本信息和项目基本信息均真实、合法、有效。

2.此次申报的备案项目符合国家产业发展政策，不属于生态保护红线、 (略) 群生态 (略) 范围内或者其他生态环 (略) 域内建设的项目、不属于企业投资核准项目、不含国家禁止的建设内容。

3.该备案项目信息不涉及任何国家保密和商业秘密内容，同意将备案信息向社会公开。

4.我公司在备案之后将认真履行有关节能利用、环境保护、安全生产等行业监管要求，并主动接受相关部门事中事后监管。

5.我公司将按照《企业投资事中事后监管办法》的要求，项目开工前每季度，开工后每月，竣工验收后30天内分别报送项目进度， (略) 及时报送变更信息。

如有填报信息不实，违反或未履行声明与承诺事项的情形，由我公司承担相应的法律责任及由此产生的一切后果。

2024年10月21日

株洲瑞 (略)

第三代半导体用碳化硅涂层及碳化硅陶瓷制备关键技术装备开发及产业化项目备案证明

株洲瑞 (略) 第三代半导体用碳化硅涂层及碳化硅陶瓷制备关键技术装备开发及产业化项目已于2024年10月21日通过湖南省投资 (略) (略) 申请备案,项目编码为2410-*-04-02-*，主要内容如下：

1.企业名称: 株洲瑞 (略) 。

2.项目名称: 第三代半导体用碳化硅涂层及碳化硅陶瓷制备关键技术装备开发及产业化项目。

3.建设地点： (略) (略) (略) 755号。

4.建设规模及主要内容：本项目通过研究第三代半导体外延片用MOCVD设备核心零部件SiC涂层石墨基座化学气相沉积工艺以及SiC陶瓷烧结工艺，自主开发SiC化学气相沉积装备及半导体用SiC陶瓷烧结装备并且实现产业化应用，运用新一代信息技术、 (略) 等技术手段对现有技术进行改造升级，提升装备智能化水平，建成第三代半导体用SiC涂层及SiC陶瓷烧结工艺中试线及相关技术装备制造产线，解决国内石墨基座高性能SiC涂层制备技术、SiC陶瓷烧结技术及装备卡脖子问题，提升半导体相关产业链稳定性，实现自主可控。

5.项目总投资额：项目总投资*元。

6.涉及相关资质资格及相应开发建设规模的，应严格按照相关规定执行。

7.项目建设必 (略) 国土空间总体 (略) 城市总体规划及有关规划的相关管控要求，并在已获得土地权属上按照使用用途和经审定的规划方案总平面图具体实施。

8.项目建设中有关节能、消防、安全、环境保护、人防、抗震、 (略) 、社会稳定风险评估、区属国有企业投资监督管理等事项应严格按 (略) 有关规定和标准执行，并依法依规到有关单位办理相关手续后方可施工建设，同时，主动接受有关行政监管部门的监管。

9.本备案文件仅表明项目已履行告知承诺程序，不构成备案机关对备案信息的实质性判断或保证。本备案证明有效期为24个月，自发布之日起计算，在备案证明有效期内未开工建设项目的，应在备案证明有效期届满1个 (略) 申请延期。项目在备案证明有效期内未开工建设也未申请延

期的，或虽提出延期申请但未获批准的，本备案证明自动失效。

企业承诺:

1.我公司所填报的企业基本信息和项目基本信息均真实、合法、有效。

2.此次申报的备案项目符合国家产业发展政策，不属于生态保护红线、 (略) 群生态 (略) 范围内或者其他生态环 (略) 域内建设的项目、不属于企业投资核准项目、不含国家禁止的建设内容。

3.该备案项目信息不涉及任何国家保密和商业秘密内容，同意将备案信息向社会公开。

4.我公司在备案之后将认真履行有关节能利用、环境保护、安全生产等行业监管要求，并主动接受相关部门事中事后监管。

5.我公司将按照《企业投资事中事后监管办法》的要求，项目开工前每季度，开工后每月，竣工验收后30天内分别报送项目进度， (略) 及时报送变更信息。

如有填报信息不实，违反或未履行声明与承诺事项的情形，由我公司承担相应的法律责任及由此产生的一切后果。

2024年10月21日