原子层沉积系统废标公告
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原子层沉积系统废标公告
| 比选废止理由： | 用户补充采购需求内容 | ||
|---|---|---|---|
| 采购项目名称 | 原子层沉积系统 | 采购项目编号 | 清采比选*号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2024-11-08 14:36:58 | 公告废止时间 | 2024-11-08 14:36:58 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | 1 | 台 |
| 单价 | ￥ * |
|---|---|
| 技术参数及配置要求 | 反应腔可以涂覆面积不小于6英寸，厚度不小于6mm的样品。 采用DualO氮气保护的双 O-Ring 高温密封系统，隔绝其他气体渗漏。 基底加热温度室温到400℃可控，控制精度±1℃; 腔体烘烤温度室温到200℃可控，控制精度±1℃。 沉积模式包括以下2种工作模式：高速沉积的连续模式、沉积超高宽深比结构的停流模式。 前驱体源 (略) ：1路为常温源，1路为加热源。加热源加热温度室温到200℃可控，控制精度±1℃，并配备高温手动阀。前驱体源应至 (略) 接口。 标准前驱体源瓶体积不小于50cc， (略) 气源， (略) 为常温源可接水/臭氧/氧气/氨气/H2S源等，用于制备氧化物、氮化物和硫化物。 (略) 加热源可接相关前驱体源。 (略) 全部采用316L不锈钢 (略) ， (略) 加热温度室温到150℃可控。 原子层沉 (略) 前驱体配置一个专用高速高温原子层沉积阀；原子层沉积阀加热温度室温到150℃可控。 范围真空规测量范围应该覆盖2x10-4到10+3torr。 (略) 加热温度室温到150℃可控；配置截止阀一个，加热温度室温到150℃可控。 设备需要高浓度臭氧发生器， (略) ，裂解器附件，最高产量大于15g/h，功率0~300W可调。 控制硬件应采用PLC控制系统。 控制软件应采用专用软件全自动控制加热、流量等全部沉积过程，并可以实时监控温度、压强等。 应采用真空机械泵连 (略) 。 |
| 质保期 | 36个月 |
清华大学
2024-11-08 14:36:58
| 比选废止理由： | 用户补充采购需求内容 | ||
|---|---|---|---|
| 采购项目名称 | 原子层沉积系统 | 采购项目编号 | 清采比选*号 |
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| 公告开始时间 | 2024-11-08 14:36:58 | 公告废止时间 | 2024-11-08 14:36:58 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | 1 | 台 |
| 单价 | ￥ * |
|---|---|
| 技术参数及配置要求 | 反应腔可以涂覆面积不小于6英寸，厚度不小于6mm的样品。 采用DualO氮气保护的双 O-Ring 高温密封系统，隔绝其他气体渗漏。 基底加热温度室温到400℃可控，控制精度±1℃; 腔体烘烤温度室温到200℃可控，控制精度±1℃。 沉积模式包括以下2种工作模式：高速沉积的连续模式、沉积超高宽深比结构的停流模式。 前驱体源 (略) ：1路为常温源，1路为加热源。加热源加热温度室温到200℃可控，控制精度±1℃，并配备高温手动阀。前驱体源应至 (略) 接口。 标准前驱体源瓶体积不小于50cc， (略) 气源， (略) 为常温源可接水/臭氧/氧气/氨气/H2S源等，用于制备氧化物、氮化物和硫化物。 (略) 加热源可接相关前驱体源。 (略) 全部采用316L不锈钢 (略) ， (略) 加热温度室温到150℃可控。 原子层沉 (略) 前驱体配置一个专用高速高温原子层沉积阀；原子层沉积阀加热温度室温到150℃可控。 范围真空规测量范围应该覆盖2x10-4到10+3torr。 (略) 加热温度室温到150℃可控；配置截止阀一个，加热温度室温到150℃可控。 设备需要高浓度臭氧发生器， (略) ，裂解器附件，最高产量大于15g/h，功率0~300W可调。 控制硬件应采用PLC控制系统。 控制软件应采用专用软件全自动控制加热、流量等全部沉积过程，并可以实时监控温度、压强等。 应采用真空机械泵连 (略) 。 |
| 质保期 | 36个月 |
清华大学
2024-11-08 14:36:58
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