阵列激光修补机国际招标澄清或变更公告2/07
阵列激光修补机国际招标澄清或变更公告2/07
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 阵列激光修补机 | 2台 | (1)该套设备主要用于5.5代LTPS工厂玻璃基板上的残留、断线、异物等缺陷修复,拥有自动激光修补功能、自动成膜修补功能; (2)光学对位精度≤ 10μm(对位后,走对位mark坐标偏差≤10μm); (3)20X镜头走G5.5大板任意位置mark坐标,Mark图标中心与20X镜头视野中心偏差≤30μm 。 | 0730-#-07 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 阵列激光修补机 | 2台 | (1)该套设备主要用于5.5代LTPS工厂玻璃基板上的残留、断线、异物等缺陷修复,拥有自动激光修补功能、自动成膜修补功能; (2)光学对位精度≤ 10μm(对位后,走对位mark坐标偏差≤10μm); (3)20X镜头走G5.5大板任意位置mark坐标,Mark图标中心与20X镜头视野中心偏差≤30μm 。 | 0730-#-07 |
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