项目名称：深硅刻蚀机
招标人： (略)

招标编号：0779-(略)A005

本项目第五章招标公告1.3设备技术要求7)“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm”

变更为：“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。

本项目第八章货物需求一览表及技术规格二、主要技术参数：*7) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm”

变更为：*7) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。

特此公告

中科信工程咨询（北京） (略)

2024年11月25日

项目名称：深硅刻蚀机
招标人： (略)

招标编号：0779-(略)A005

本项目第五章招标公告1.3设备技术要求7)“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm”

变更为：“硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。

本项目第八章货物需求一览表及技术规格二、主要技术参数：*7) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氨气压力10Torr时，氨气流量≤5sccm”

变更为：*7) “硅-玻璃键合片静电吸附良好，氦气压力10Torr时，氦气流量≤5sccm”。

特此公告

中科信工程咨询（北京） (略)

2024年11月25日