我 (略) 学院的紫外接近接触式光刻机等设备采购（采购项目编号：ZJZB-2024-*），于2024年11月07日在广东省 (略) 上提交招标公告，现将原公告部分内容作如下变更：

一、更正信息：

更正事项：采购文件

更正原因：参数调整

更正内容：

1、招标文件“第二章 采购需求”中“附表一：紫外接近接触式光刻机”的以下内容：

“5.★分辨率：≤0.8mm（i线，光刻胶厚度1mm，真空接触，等间距图形）；分辨率：≤3.0mm（i线，光刻胶厚度1mm，20um曝光间隙，等间距图形）。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

更正为：

“5.★分辨率：≤0.8μm（i线，光刻胶厚度1μm，真空接触，等间距图形）；分辨率：≤3.0μm（i线，光刻胶厚度1μm，20um曝光间隙，等间距图形）。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

2、招标文件“第二章 采购需求”中“附表一：紫外接近接触式光刻机”的以下内容：

“13.★套刻精度：正面套刻精度±0.5mm；背面套刻精度：±1mm。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

更正为：

“13.★套刻精度：正面套刻精度±0.5μm；背面套刻精度：±1μm。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

3、招标文件“第二章 采购需求”中“附表二：磁控溅射镀膜系统”的以下内容：

“5.5主腔室和进样室之间配有气动隔断阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar l s-1，第一次维护前开启次数可达*次。

5.6进样室与分子泵之间配有气动隔离阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar l s-1，第一次维护前开启次数可达*次。”

更正为：

“5.5主腔室和进样室之间配有气动隔断阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar 1 s-1，第一次维护前开启次数可达*次。

5.6进样室与分子泵之间配有气动隔离阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar 1 s-1，第一次维护前开启次数可达*次。”

其他内容不变

二、其他事项见：广东省 (略) 公告

我 (略) 学院的紫外接近接触式光刻机等设备采购（采购项目编号：ZJZB-2024-*），于2024年11月07日在广东省 (略) 上提交招标公告，现将原公告部分内容作如下变更：

一、更正信息：

更正事项：采购文件

更正原因：参数调整

更正内容：

1、招标文件“第二章 采购需求”中“附表一：紫外接近接触式光刻机”的以下内容：

“5.★分辨率：≤0.8mm（i线，光刻胶厚度1mm，真空接触，等间距图形）；分辨率：≤3.0mm（i线，光刻胶厚度1mm，20um曝光间隙，等间距图形）。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

更正为：

“5.★分辨率：≤0.8μm（i线，光刻胶厚度1μm，真空接触，等间距图形）；分辨率：≤3.0μm（i线，光刻胶厚度1μm，20um曝光间隙，等间距图形）。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

2、招标文件“第二章 采购需求”中“附表一：紫外接近接触式光刻机”的以下内容：

“13.★套刻精度：正面套刻精度±0.5mm；背面套刻精度：±1mm。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

更正为：

“13.★套刻精度：正面套刻精度±0.5μm；背面套刻精度：±1μm。（提供承诺函并加盖公章，格式自拟）”

3、招标文件“第二章 采购需求”中“附表二：磁控溅射镀膜系统”的以下内容：

“5.5主腔室和进样室之间配有气动隔断阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar l s-1，第一次维护前开启次数可达*次。

5.6进样室与分子泵之间配有气动隔离阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar l s-1，第一次维护前开启次数可达*次。”

更正为：

“5.5主腔室和进样室之间配有气动隔断阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar 1 s-1，第一次维护前开启次数可达*次。

5.6进样室与分子泵之间配有气动隔离阀。阀门漏率< 1X10-9 mbar 1 s-1，第一次维护前开启次数可达*次。”

其他内容不变

二、其他事项见：广东省 (略) 公告