研发能力建设设备 招标变更
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研发能力建设设备 招标变更
29包高精度直线精度测试台（1米）设备附件1详细评分标准中“同类型指：设备双向重复定位精度≤1arcsec的设备”修改为“同类型指：设备重复定位精度≤±0.6um的设备”。
29包高精度直线精度测试台（1米）设备附件1详细评分标准中“同类型指：设备双向重复定位精度≤1arcsec的设备”修改为“同类型指：设备重复定位精度≤±0.6um的设备”。
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