货物/通用设备/仪器仪表/分析仪器/其他分析仪器

序号

细则内容

满分值

1

投标产品的制造标准、安装标准、技术规范等相关标准的配套性、完整性及符合情况（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

2

投标产品的技术指标、技术性能综合评价。（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

3

根据投标产品是否满足采购需求中的要求，（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

4

根据投 (略) 占有率、市 (略) 评价。（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

5

根据投标产品的技 (略) 评价。（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

序号

评审内容及评分细则

满分

分值

1-1

根据投标产品配置、技术参数和使用功能的符合性、 (略) 评价。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-2

根据产品整体性能、功能的优越性、质量的稳定性和可靠 (略) 评价。优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-3

根据产品制造标准、安装标准、技术规范等相关标准的完整性及 (略) 综合评价。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-4

根据投标产品品牌、质量水平 (略) 综合评审。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-5

(略) 要求存在 (略) 评价。优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-6

招标文件中技术参数带“▲”为关键性条款，根据投标人 (略) 综合评价。优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-7

根据投标 (略) 件的配置情况、质量水平、 (略) 评价。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-3分）。

10

1-8

投标产品的经济性、环保、安全性等因素。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-9

根据投标产品使用成本、维护成本情况以及备品备件的标准化、系列化、 (略) 评价。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-10

投标产品的品牌、市 (略) 占有率。

优（5分），良（4-3分），一般（2-0分）。

5

1-11

投标人方案针对本项目的服务措施、人员配备情况，服务保障措施、应急计划。优（5分），良（4-3分），一般（2-0分）。

5

排序序号

项目名称

主要技术参数

数量

1

场发射扫描电镜

（1）主机配置：①电子枪：场发射电子枪；②镜筒内二次电子探测器（主要观测高分辨成像，样品极表面的形貌和细节结构）。③样品室二次电子探测器④ 高性能背散射电子探测器；⑤冷却系统：主机原装的冷却系统；⑥空压系统：主机原装的空压系统，220V, 50/60 Hz；⑦UPS不间断电源。
（2）主机主要性能指标：
1. 分辨率： 二次电子像: 不低于0.8 nm / 15kV；
2. 分辨率不低于1.6 nm / 1kV，非减速模式，在低电压观察模式下样品台可以倾斜
3. 放大倍率：10-1,000, 000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换；
4. 加速电压：0.02kV ～ 30 kV，步进≤10V，连续可调, 无需模式更换；
5. 电子枪： (略) 发射电子枪；
6. 电子束流：最大束流不低于20nA
7. 束流稳定性: 优于0.2%；
8. 可对铁磁性或者易 (略) 高分辨成像
9. 镜筒具有减震系统和自动水平系统；
10. 样品观察点导航功能
11. 样品室及样品台
11.1 样品室： (略) 直径不小于358mm, 高度不小于270mm ；
11.2 五轴全自动马达驱动样品台：
移动最大范围指标：
130mm≤X，130mm≤Y，
50mm≤Z，
T=-4°～ +70°（倾斜），
360°（旋转）；样品台移动精度90nm；
11.3 双轴摇杆操作系统,带旋钮操作控制面板；
12. 探测器：
12.1样品室内二次电子探测器；
12.2镜筒正光轴上In-lens二次电子 ；
12.3 样品室IR-CCD相机；
12.4高灵敏度取向背散射探测器；
13. 真空系统
13.1 全无油真空系统；
13.2 无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵；
13.3 前级无油型PVP干泵；
13.4 样品室真空度：高真空模式优于2×10-4 Pa, 电子枪真空度：10-9Pa ；

13.5 自动抽真空： 完全气动阀自动控制；真空表：潘宁规´ 1, 皮拉尼规´ 2；
14. 数字图像记录系统
14.1 单张图像存储：32k像素*24K像素；
14.2 图像显示：1920×1200像素，24” LCD显示器；
14.3测量和标注输入：可在图像上实现尺寸测量和标注输入；
14.4 图像记录：TIFF, BMP，JPEG。
15. 操作系统
15.1 操作方式：旋钮控制面板、双轴摇杆台及鼠标；
可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；
15.2 应具有样品台图像导航功能；
15.3 断水、断电和真空状态不良下的自动保护。

1

2

能谱仪

主要指标：
2.1 能谱仪主机， (略) 理器；
2.2 探测器
2.2.1 电制冷探头，活区面积不小20mm2；
2.2.2 分辨率优于127eV；
2.2.3 谱峰漂移小于1eV；
2.2.4 分析元素范围：Be4-Pu94
2.2.5 场效应管。
2.3 软件
2.3.1 定性定量分析导航器；
2.3.3 元素面分布分析导航器；
2.3.3 电子束任意定位分析导航器；
2.3.4 上述三个导航器涵盖点、线、面分析；
2.3.5从Be- (略) 有元素的完整的能谱数据库；
2.3.6点、线和面的多元素同步分析，即可以在某一点（或线，或面）上同时检测和分析多个不同的元素；
2.3.7定性分析：可检测到质量分数在0.1%以上的Be~Pu之间的元素；
定量分析：准确度在±0.5%~±1.0%之间（元素含量在5%以上）
准确度在±1%~±5%之间（元素含量在5%以下，1%以上）；

准确度在±5%~±15%之间（元素含量在1%以下）
2.4 (略) 理系统
2.4.1 Intel 2.6 GHz Quad Core Processor；4GB DDR3内存；500GB SATA 硬盘；2.4.2 独立显卡；DVD刻录机；24”LCD显示器；
2.4.3 Window 7 操作系统；

1

排序序号

项目名称

主要技术参数

数量

1

场发射扫描电镜

（1）主机配置：①电子枪：场发射电子枪；②镜筒内二次电子探测器（主要观测高分辨成像，样品极表面的形貌和细节结构）。③样品室二次电子探测器④ 高性能背散射电子探测器；⑤冷却系统：主机原装的冷却系统；⑥空压系统：主机原装的空压系统，220V, 50/60 Hz；⑦UPS不间断电源。
（2）主机主要性能指标：
▲1. 分辨率： 二次电子像: 不低于0.8 nm / 15kV；
2. 分辨率不低于1.6 nm / 1kV，非减速模式，在低电压观察模式下样品台可以倾斜
3. 放大倍率：10-1,000, 000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换；
4. 加速电压：0.02kV ～ 30 kV，步进≤10V，连续可调, 无需模式更换；
5. 电子枪： (略) 发射电子枪；
▲6. 电子束流：最大束流不低于20nA
7. 束流稳定性: 优于0.2%；
8. 可对铁磁性或者易 (略) 高分辨成像
9. 镜筒具有减震系统和自动水平系统；
10. 样品观察点导航功能
11. 样品室及样品台
11.1 样品室： (略) 直径不小于358mm, 高度不小于270mm ；

11.2 五轴全自动马达驱动样品台：
移动最大范围指标：
130mm≤X，130mm≤Y，
50mm≤Z，

T=-4°～ +70°（倾斜），
360°（旋转）；样品台移动精度90nm；
▲ 11.3 双轴摇杆操作系统,带旋钮操作控制面板；
12. 探测器：
12.1样品室内二次电子探测器；
▲12.2镜筒正光轴上In-lens二次电子 ；
12.3 样品室IR-CCD相机；
12.4高灵敏度取向背散射探测器；
13. 真空系统
13.1 全无油真空系统；
13.2 无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵；
13.3 前级无油型PVP干泵；
13.4 样品室真空度：高真空模式优于2×10-4 Pa, 电子枪真空度：10-9Pa 13.5 自动抽真空： 完全气动阀自动控制；真空表：潘宁规´ 1, 皮拉尼规´ 2；
14. 数字图像记录系统
▲14.1 单张图像存储：32k像素*24K像素；
14.2 图像显示：1920×1200像素，24” LCD显示器；
14.3测量和标注输入：可在图像上实现尺寸测量和标注输入；
14.4 图像记录：TIFF, BMP，JPEG。
15. 操作系统
15.1 操作方式：旋钮控制面板、双轴摇杆台及鼠标；
可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；
15.2 应具有样品台图像导航功能；
15.3 断水、断电和真空状态不良下的自动保护

1

2

能谱仪

主要指标：
2.1 能谱仪主机， (略) 理器；
2.2 探测器
▲ 2.2.1 电制冷探头，活区面积不小20mm2；
▲ 2.2.2 分辨率优于127eV；
2.2.3 谱峰漂移小于1eV；
2.2.4 分析元素范围：Be4-Pu94
2.2.5 场效应管。
2.3 软件
2.3.1 定性定量分析导航器；
2.3.3 元素面分布分析导航器；
2.3.3 电子束任意定位分析导航器；
2.3.4 上述三个导航器涵盖点、线、面分析；
2.3.5从Be- (略) 有元素的完整的能谱数据库；
2.3.6点、线和面的多元素同步分析，即可以在某一点（或线，或面）上同时检测和分析多个不同的元素；
2.3.7定性分析：可检测到质量分数在0.1%以上的Be~Pu之间的元素；
定量分析：准确度在±0.5%~±1.0%之间（元素含量在5%以上）
准确度在±1%~±5%之间（元素含量在5%以下，1%以上）；

准确度在±5%~±15%之间（元素含量在1%以下）
2.4 (略) 理系统
2.4.1 Intel 2.6 GHz Quad Core Processor；4GB DDR3内存；500GB SATA 硬盘；2.4.2 独立显卡；DVD刻录机；24”LCD显示器；
2.4.3 Window 7 操作系统；

1

货物/通用设备/仪器仪表/分析仪器/其他分析仪器

序号

细则内容

满分值

1

投标产品的制造标准、安装标准、技术规范等相关标准的配套性、完整性及符合情况（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

2

投标产品的技术指标、技术性能综合评价。（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

3

根据投标产品是否满足采购需求中的要求，（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

4

根据投 (略) 占有率、市 (略) 评价。（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

5

根据投标产品的技 (略) 评价。（优20-19分，良18-17分，一般16-15分。）

20

序号

评审内容及评分细则

满分

分值

1-1

根据投标产品配置、技术参数和使用功能的符合性、 (略) 评价。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-2

根据产品整体性能、功能的优越性、质量的稳定性和可靠 (略) 评价。优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-3

根据产品制造标准、安装标准、技术规范等相关标准的完整性及 (略) 综合评价。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-4

根据投标产品品牌、质量水平 (略) 综合评审。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-5

(略) 要求存在 (略) 评价。优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-6

招标文件中技术参数带“▲”为关键性条款，根据投标人 (略) 综合评价。优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-7

根据投标 (略) 件的配置情况、质量水平、 (略) 评价。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-3分）。

10

1-8

投标产品的经济性、环保、安全性等因素。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-9

根据投标产品使用成本、维护成本情况以及备品备件的标准化、系列化、 (略) 评价。

优（10-9分），良（8-6分），一般（5-4分）。

10

1-10

投标产品的品牌、市 (略) 占有率。

优（5分），良（4-3分），一般（2-0分）。

5

1-11

投标人方案针对本项目的服务措施、人员配备情况，服务保障措施、应急计划。优（5分），良（4-3分），一般（2-0分）。

5

排序序号

项目名称

主要技术参数

数量

1

场发射扫描电镜

（1）主机配置：①电子枪：场发射电子枪；②镜筒内二次电子探测器（主要观测高分辨成像，样品极表面的形貌和细节结构）。③样品室二次电子探测器④ 高性能背散射电子探测器；⑤冷却系统：主机原装的冷却系统；⑥空压系统：主机原装的空压系统，220V, 50/60 Hz；⑦UPS不间断电源。
（2）主机主要性能指标：
1. 分辨率： 二次电子像: 不低于0.8 nm / 15kV；
2. 分辨率不低于1.6 nm / 1kV，非减速模式，在低电压观察模式下样品台可以倾斜
3. 放大倍率：10-1,000, 000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换；
4. 加速电压：0.02kV ～ 30 kV，步进≤10V，连续可调, 无需模式更换；
5. 电子枪： (略) 发射电子枪；
6. 电子束流：最大束流不低于20nA
7. 束流稳定性: 优于0.2%；
8. 可对铁磁性或者易 (略) 高分辨成像
9. 镜筒具有减震系统和自动水平系统；
10. 样品观察点导航功能
11. 样品室及样品台
11.1 样品室： (略) 直径不小于358mm, 高度不小于270mm ；
11.2 五轴全自动马达驱动样品台：
移动最大范围指标：
130mm≤X，130mm≤Y，
50mm≤Z，
T=-4°～ +70°（倾斜），
360°（旋转）；样品台移动精度90nm；
11.3 双轴摇杆操作系统,带旋钮操作控制面板；
12. 探测器：
12.1样品室内二次电子探测器；
12.2镜筒正光轴上In-lens二次电子 ；
12.3 样品室IR-CCD相机；
12.4高灵敏度取向背散射探测器；
13. 真空系统
13.1 全无油真空系统；
13.2 无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵；
13.3 前级无油型PVP干泵；
13.4 样品室真空度：高真空模式优于2×10-4 Pa, 电子枪真空度：10-9Pa ；

13.5 自动抽真空： 完全气动阀自动控制；真空表：潘宁规´ 1, 皮拉尼规´ 2；
14. 数字图像记录系统
14.1 单张图像存储：32k像素*24K像素；
14.2 图像显示：1920×1200像素，24” LCD显示器；
14.3测量和标注输入：可在图像上实现尺寸测量和标注输入；
14.4 图像记录：TIFF, BMP，JPEG。
15. 操作系统
15.1 操作方式：旋钮控制面板、双轴摇杆台及鼠标；
可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；
15.2 应具有样品台图像导航功能；
15.3 断水、断电和真空状态不良下的自动保护。

1

2

能谱仪

主要指标：
2.1 能谱仪主机， (略) 理器；
2.2 探测器
2.2.1 电制冷探头，活区面积不小20mm2；
2.2.2 分辨率优于127eV；
2.2.3 谱峰漂移小于1eV；
2.2.4 分析元素范围：Be4-Pu94
2.2.5 场效应管。
2.3 软件
2.3.1 定性定量分析导航器；
2.3.3 元素面分布分析导航器；
2.3.3 电子束任意定位分析导航器；
2.3.4 上述三个导航器涵盖点、线、面分析；
2.3.5从Be- (略) 有元素的完整的能谱数据库；
2.3.6点、线和面的多元素同步分析，即可以在某一点（或线，或面）上同时检测和分析多个不同的元素；
2.3.7定性分析：可检测到质量分数在0.1%以上的Be~Pu之间的元素；
定量分析：准确度在±0.5%~±1.0%之间（元素含量在5%以上）
准确度在±1%~±5%之间（元素含量在5%以下，1%以上）；

准确度在±5%~±15%之间（元素含量在1%以下）
2.4 (略) 理系统
2.4.1 Intel 2.6 GHz Quad Core Processor；4GB DDR3内存；500GB SATA 硬盘；2.4.2 独立显卡；DVD刻录机；24”LCD显示器；
2.4.3 Window 7 操作系统；

1

排序序号

项目名称

主要技术参数

数量

1

场发射扫描电镜

（1）主机配置：①电子枪：场发射电子枪；②镜筒内二次电子探测器（主要观测高分辨成像，样品极表面的形貌和细节结构）。③样品室二次电子探测器④ 高性能背散射电子探测器；⑤冷却系统：主机原装的冷却系统；⑥空压系统：主机原装的空压系统，220V, 50/60 Hz；⑦UPS不间断电源。
（2）主机主要性能指标：
▲1. 分辨率： 二次电子像: 不低于0.8 nm / 15kV；
2. 分辨率不低于1.6 nm / 1kV，非减速模式，在低电压观察模式下样品台可以倾斜
3. 放大倍率：10-1,000, 000倍, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换；
4. 加速电压：0.02kV ～ 30 kV，步进≤10V，连续可调, 无需模式更换；
5. 电子枪： (略) 发射电子枪；
▲6. 电子束流：最大束流不低于20nA
7. 束流稳定性: 优于0.2%；
8. 可对铁磁性或者易 (略) 高分辨成像
9. 镜筒具有减震系统和自动水平系统；
10. 样品观察点导航功能
11. 样品室及样品台
11.1 样品室： (略) 直径不小于358mm, 高度不小于270mm ；

11.2 五轴全自动马达驱动样品台：
移动最大范围指标：
130mm≤X，130mm≤Y，
50mm≤Z，

T=-4°～ +70°（倾斜），
360°（旋转）；样品台移动精度90nm；
▲ 11.3 双轴摇杆操作系统,带旋钮操作控制面板；
12. 探测器：
12.1样品室内二次电子探测器；
▲12.2镜筒正光轴上In-lens二次电子 ；
12.3 样品室IR-CCD相机；
12.4高灵敏度取向背散射探测器；
13. 真空系统
13.1 全无油真空系统；
13.2 无油磁悬浮涡轮分子泵和离子泵；
13.3 前级无油型PVP干泵；
13.4 样品室真空度：高真空模式优于2×10-4 Pa, 电子枪真空度：10-9Pa 13.5 自动抽真空： 完全气动阀自动控制；真空表：潘宁规´ 1, 皮拉尼规´ 2；
14. 数字图像记录系统
▲14.1 单张图像存储：32k像素*24K像素；
14.2 图像显示：1920×1200像素，24” LCD显示器；
14.3测量和标注输入：可在图像上实现尺寸测量和标注输入；
14.4 图像记录：TIFF, BMP，JPEG。
15. 操作系统
15.1 操作方式：旋钮控制面板、双轴摇杆台及鼠标；
可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；
15.2 应具有样品台图像导航功能；
15.3 断水、断电和真空状态不良下的自动保护

1

2

能谱仪

主要指标：
2.1 能谱仪主机， (略) 理器；
2.2 探测器
▲ 2.2.1 电制冷探头，活区面积不小20mm2；
▲ 2.2.2 分辨率优于127eV；
2.2.3 谱峰漂移小于1eV；
2.2.4 分析元素范围：Be4-Pu94
2.2.5 场效应管。
2.3 软件
2.3.1 定性定量分析导航器；
2.3.3 元素面分布分析导航器；
2.3.3 电子束任意定位分析导航器；
2.3.4 上述三个导航器涵盖点、线、面分析；
2.3.5从Be- (略) 有元素的完整的能谱数据库；
2.3.6点、线和面的多元素同步分析，即可以在某一点（或线，或面）上同时检测和分析多个不同的元素；
2.3.7定性分析：可检测到质量分数在0.1%以上的Be~Pu之间的元素；
定量分析：准确度在±0.5%~±1.0%之间（元素含量在5%以上）
准确度在±1%~±5%之间（元素含量在5%以下，1%以上）；

准确度在±5%~±15%之间（元素含量在1%以下）
2.4 (略) 理系统
2.4.1 Intel 2.6 GHz Quad Core Processor；4GB DDR3内存；500GB SATA 硬盘；2.4.2 独立显卡；DVD刻录机；24”LCD显示器；
2.4.3 Window 7 操作系统；

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