京东方第8.6代AMOLED生产线项目国际招标澄清或变更公告2/101
京东方第8.6代AMOLED生产线项目国际招标澄清或变更公告2/101
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244BOECDDT01/101 | 干法刻蚀机-腔体( (略) 理单元) | 1套 | 设备用途及基本要求 本系统主要用于G8玻璃面板的柔性/刚性AMOLED干法刻蚀去除氯气工艺, (略) 理单元的主要系统应包括工艺腔室、真空系统、压力计、气体质量流量控制器、加热系统、冷却系统、电极、搬送系统和软件系统等。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244BOECDDT01/101 | 干法刻蚀机-腔体( (略) 理单元) | 1套 | 设备用途及基本要求 本系统主要用于G8玻璃面板的柔性/刚性AMOLED干法刻蚀去除氯气工艺, (略) 理单元的主要系统应包括工艺腔室、真空系统、压力计、气体质量流量控制器、加热系统、冷却系统、电极、搬送系统和软件系统等。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
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