高效异质结太阳电池产业化(一期)国际(2)招标变更
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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
点击查看>> SUMEC 点击查看>> 0SUMEC 点击查看>> 0SUMEC 点击查看>> 0SUMEC 点击查看>> 0SUMEC 点击查看>> 0SUMEC172/06 | 自动湿法工作台 连续式化学气相沉积系统ITO (略) 印刷系统 CVD化学气相沉积设备自动化上下料设备 | 2台(套)2台(套)2台(套)2台(套)2台(套)2台(套) | 1包:产能>2800片/小时开机率>90%碎片率<0.1%Pre-Clean槽具有DIO3功能CP-Etch槽具有HFO3功能金字塔大小:4um-7um工艺温度:80°C +/-2K反射率(600nm)<11,6% 制绒后反射率(600nm)<12,6% CP后自动/半自动工艺,可切换2包:产能>2200片/小时开机率>90%碎片率<0.1%氦检漏率<1.0 x 10-9 Pa?m3/sec极限真空(L/H 腔):10-4 Pa level极限真空(P 腔)≤5×10-4 Pa极限真空(UL 腔)≤1.3 Pa最大基底温度 : 300℃每载板温度均匀性:±10℃载板内厚度均匀性: <15% (@50nm 膜厚)载板间厚度均匀性:<5% (@50nm 膜厚)硅片镀膜后,少子寿命:>1000us自动/半自动工艺,可切换3包:产能>2600片/小时开机率>90%碎片率<0.1%靶材寿命: 16 天极限真空(P 腔)≤5×10-4 Pa每载板温度均匀性:±5℃ITO膜载流子浓度≤3.5E20/cm3电子迁移率≥44cm2/Vs电阻率 <500 μohm*cm载板内厚度均匀性≤ ±4 %载板间厚度均匀性≤ ±3 %不含基底的透射率 [ 点击查看>> nm]≥ 90%4包:产能>2800片/小时开机率>95%碎片率<0.2%精度:正面/背面第1次印刷<= +/-100um精度:正面/背面第2次印刷<= +/-10um烘干时间>10min烧结时间>30min5包:产能>2200片/小时开机率>90%碎片率<0.1%具有异质结太阳能电池(规模≥1GW)的CVD自动化的经验6包:产能>3000片/小时开机率>98%碎片率<0.05%具有异质结太阳能电池(规模≥1GW)的PVD自动化的经验 |
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