公告概要：

公告信息：
采购项目名称	详见公告正文
品目
采购单位	(略)
行政区域	(略) 省	公告时间	* 日 16:06
首次公告日期		更正日期
联系人及联系方式：
项目联系人	详见公告正文
项目联系电话	详见公告正文
采购单位	(略)
采购单位地址	详见公告正文
采购单位联系方式	详见公告正文
代理机构名称	(略) 有限公司
代理机构地址	详见公告正文
代理机构联系方式	详见公告正文

(略) 有限公司 于 * 日 在 (略) (略) 上提交的 (略) 华南先进 (略) 采购试验仪器一批（ 点击查看>> 点击查看>> 7）（公开招标）采购公告， 因招标文件修改原因， (略) 分内容作如下更正/变更：

一、本项目子包2设备“电阻热蒸镀膜仪” (略) 修改（修改后的技术参数详见附件）。

二、 (略) 文件时间延期至： * 日上午9:00－12:00，下午2:00－5:00（ (略) 时间，节假日除外）。

三、本项目投标时间延期至： * 日上午9:00～9:30（ (略) 时间）。

四、本项目开标时间延期至： * 日上午9:30（ (略) 时间）。

五、本项目投标地点： (略) 有限公司10楼会议室（地址： (略) 市环市中路316号金鹰大厦10楼）。

六、招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改。原招标文件与修改通知有矛盾的地方，以本通知为准。其他内容不变。

附件：

子包2：电阻热蒸镀膜仪1套

1、电阻热蒸镀膜仪基本技术要求（从验收合格之后算起，保修一年）：

（1）沉积室极限真空：极限真空5×10－5Pa.

（2）可以实现自动沉积，而且30nm以下比较均。。

（3）膜厚控制仪厚度分辨率(50个样品平均)：0.002埃/测量，速率分辨率（不平均）：0.0133埃/秒；（膜厚控制仪国际知名品牌）。

（4）沉积室抽速从大气状态开始在30分钟内，真空度小于5.0×10－4Pa。

（5）泵的声音小，分子泵抽速在 点击查看>> L/s之间（分子泵保修2年），涡旋干式泵大于等于8L/s(国内知名品牌)。

（6）样品台可以旋转升降。

（7）电源输出电流稳定，100A是输出电流波动在0.5%以下（电源是国际知名品牌）。

（8）占地面积小于2平方米。

（9）带冷却循环水。

（10）对膜的质量要求很高，验收时，需要对不同厚度贵金属膜和有机 (略) 测量（验收厚度为：10纳米，100纳米，1微米，5微米，10微米），请提供常用贵金属Au、Pt和Ag丝各20g（纯度99.99%），常用有机物半导体(并五苯20g，纯度＞98%和酞菁铜(II) 20g 纯度＞98%)，其中常用有机物半导体为国际知名品牌。

（11）一般不需安装气路。如确实需要安装气路，供应商须免费赠送150m的不锈钢管（具体情况，由采购人决定）。

（12）膜厚仪要求：

1）厚度分辨率（不平均）：0.0133埃/测量；

2）速率分辨率（不平均）：0.0133埃/秒；

3）厚度分辨率(50个样品平均)：0.002埃/测量；

4）速率分辨率（50个样品平均）：0.02埃/秒；

5）膜厚控制仪的振荡器容易坏，最好配1个备用，最好也配晶振片2盒。

（13） (略) 培训学生5-6人，2-3天。

2、配置清单及要求：

序号	名称	技术参数	数量
1	高真空不锈钢腔室	约Φ350mm×480mm	1套
2	观察窗及法兰	含铅玻璃，不锈钢法兰	1套
3	腔室照明	LED灯5W	5只
4	旋转基片工装	30×30mm或者100＊100mm	1套
5	旋转速电机及电源	工作电压稳定	1套
6	基片台加热系统	室温至300℃可调可控	1套
7	等离子清洗系统	对腔体清洗干净，确保无污染（验收时会拉曼检测样品有无污染物）	1套
8	温度测量、控制系统	温度控制器，PID控温、可调可控	1套
9	陶封电极	CF35四芯	1套
10	机械泵	大于等于8L／S 机械泵和腔体连接的阀门容易坏，最好配个挡板阀配用	1台
11	电动截止阀	DF40	1支
12	电磁充气阀	DF40	1支
13	截至阀	手动	1台
14	截至阀	手动	1台
15	真空抽气管道	不锈钢三通及波纹管	2台
16	真空计	10的-6次方Pa到10的6次方Pa	1个
17	热阻蒸发电极	熔点极高	5只
18	蒸发舟	钨舟	50只
19	蒸发舟的挡板	手动/自动	4只
20	加热电源	380V/220V	2台
21	控温电源系统	温度过高及时报警	1套
22	总控制电源　分子泵、机械泵、电磁阀、水压报警、照明烘烤，基片旋转、基体加热、连锁控制系统等。	(略) 件都需要性能高度稳定	1套
23	气管、变通、接头气体管道	金属管	1套
24	安装机架　表面喷塑、配脚轮、配门	表面要吹塑平整，避免凹凸不平	1套
25	循环水冷却器	6kw	1台
26	密封圈	高真空密封圈，材质是Ag	10个
27	小工具	万用表，扳手	各2个
28	备用波纹管	3米一根	4根
29	超细无尘布	22CM×22CM（100片）	20包
30	氮气瓶	每个氮气瓶带1个高精度减压阀	6个
31	角阀	根据供应商提供仪器的口经，最好配用2个角阀	2个
32	空气开关箱	380V/220V	1个
33	电机（带动样品台旋转）	电机（备用一个，不硬性要求，有更好）	不硬性要求，有更好
34	超高真空插板阀	超高真空插板阀（备用一个，不硬性要求，有更好）	不硬性要求，有更好
35	插线板	10米插线板和5米插线板	2个
36	实验室椅子	可升降 旋转	4个
37	除湿机	除湿机（除湿面积：80-160㎡） 电 源：220V/50HZ 除湿量：80升/天）不硬性要求，有更好。	不硬性要求，有更好
38	清洗样品工具	不锈钢镊子（8套，一套6把），氮气枪一把。	1批
39	氮手推车	不硬性要求，有更好	不硬性要求，有更好
40	超声波清洗仪一台	超声波清洗仪（大于等于10L，数控，可以加热），不硬性要求，有更好	不硬性要求，有更好
41	防护工具	手套2盒，口罩2盒，实验服2套，护目镜2个	1批

其他内容不变。

二、投标（响应）截止时间： * 日09时30分

三、联系事项

（一）采购人： (略)

地址： (略) 市 (略) 区 (略) 大道西55号

联系人： (略)

联系电话： 点击查看>>

传真： 点击查看>>

邮编： 点击查看>>

（二）采购代理机构 ： (略) 有限公司

地址： (略) 省 (略) 市环市中路316号金鹰大厦10-11楼

联系人：赵尚春

联系电话： 点击查看>>

传真： 点击查看>>

邮编： 点击查看>>

（三）采购项目联系人（采购人）：杨老师

联系电话： 点击查看>>

采购项目联系人（代理机构）：邵工

联系电话： 点击查看>>

特此公告。

发布人： (略) 有限公司

发布时间： * 日


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采购项目名称	详见公告正文
品目
采购单位	(略)
行政区域	(略) 省	公告时间	* 日 16:06
首次公告日期		更正日期
联系人及联系方式：
项目联系人	详见公告正文
项目联系电话	详见公告正文
采购单位	(略)
采购单位地址	详见公告正文
采购单位联系方式	详见公告正文
代理机构名称	(略) 有限公司
代理机构地址	详见公告正文
代理机构联系方式	详见公告正文

(略) 有限公司 于 * 日 在 (略) (略) 上提交的 (略) 华南先进 (略) 采购试验仪器一批（ 点击查看>> 点击查看>> 7）（公开招标）采购公告， 因招标文件修改原因， (略) 分内容作如下更正/变更：

一、本项目子包2设备“电阻热蒸镀膜仪” (略) 修改（修改后的技术参数详见附件）。

二、 (略) 文件时间延期至： * 日上午9:00－12:00，下午2:00－5:00（ (略) 时间，节假日除外）。

三、本项目投标时间延期至： * 日上午9:00～9:30（ (略) 时间）。

四、本项目开标时间延期至： * 日上午9:30（ (略) 时间）。

五、本项目投标地点： (略) 有限公司10楼会议室（地址： (略) 市环市中路316号金鹰大厦10楼）。

六、招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改。原招标文件与修改通知有矛盾的地方，以本通知为准。其他内容不变。

附件：

子包2：电阻热蒸镀膜仪1套

1、电阻热蒸镀膜仪基本技术要求（从验收合格之后算起，保修一年）：

（1）沉积室极限真空：极限真空5×10－5Pa.

（2）可以实现自动沉积，而且30nm以下比较均。。

（3）膜厚控制仪厚度分辨率(50个样品平均)：0.002埃/测量，速率分辨率（不平均）：0.0133埃/秒；（膜厚控制仪国际知名品牌）。

（4）沉积室抽速从大气状态开始在30分钟内，真空度小于5.0×10－4Pa。

（5）泵的声音小，分子泵抽速在 点击查看>> L/s之间（分子泵保修2年），涡旋干式泵大于等于8L/s(国内知名品牌)。

（6）样品台可以旋转升降。

（7）电源输出电流稳定，100A是输出电流波动在0.5%以下（电源是国际知名品牌）。

（8）占地面积小于2平方米。

（9）带冷却循环水。

（10）对膜的质量要求很高，验收时，需要对不同厚度贵金属膜和有机 (略) 测量（验收厚度为：10纳米，100纳米，1微米，5微米，10微米），请提供常用贵金属Au、Pt和Ag丝各20g（纯度99.99%），常用有机物半导体(并五苯20g，纯度＞98%和酞菁铜(II) 20g 纯度＞98%)，其中常用有机物半导体为国际知名品牌。

（11）一般不需安装气路。如确实需要安装气路，供应商须免费赠送150m的不锈钢管（具体情况，由采购人决定）。

（12）膜厚仪要求：

1）厚度分辨率（不平均）：0.0133埃/测量；

2）速率分辨率（不平均）：0.0133埃/秒；

3）厚度分辨率(50个样品平均)：0.002埃/测量；

4）速率分辨率（50个样品平均）：0.02埃/秒；

5）膜厚控制仪的振荡器容易坏，最好配1个备用，最好也配晶振片2盒。

（13） (略) 培训学生5-6人，2-3天。

2、配置清单及要求：

序号	名称	技术参数	数量
1	高真空不锈钢腔室	约Φ350mm×480mm	1套
2	观察窗及法兰	含铅玻璃，不锈钢法兰	1套
3	腔室照明	LED灯5W	5只
4	旋转基片工装	30×30mm或者100＊100mm	1套
5	旋转速电机及电源	工作电压稳定	1套
6	基片台加热系统	室温至300℃可调可控	1套
7	等离子清洗系统	对腔体清洗干净，确保无污染（验收时会拉曼检测样品有无污染物）	1套
8	温度测量、控制系统	温度控制器，PID控温、可调可控	1套
9	陶封电极	CF35四芯	1套
10	机械泵	大于等于8L／S 机械泵和腔体连接的阀门容易坏，最好配个挡板阀配用	1台
11	电动截止阀	DF40	1支
12	电磁充气阀	DF40	1支
13	截至阀	手动	1台
14	截至阀	手动	1台
15	真空抽气管道	不锈钢三通及波纹管	2台
16	真空计	10的-6次方Pa到10的6次方Pa	1个
17	热阻蒸发电极	熔点极高	5只
18	蒸发舟	钨舟	50只
19	蒸发舟的挡板	手动/自动	4只
20	加热电源	380V/220V	2台
21	控温电源系统	温度过高及时报警	1套
22	总控制电源　分子泵、机械泵、电磁阀、水压报警、照明烘烤，基片旋转、基体加热、连锁控制系统等。	(略) 件都需要性能高度稳定	1套
23	气管、变通、接头气体管道	金属管	1套
24	安装机架　表面喷塑、配脚轮、配门	表面要吹塑平整，避免凹凸不平	1套
25	循环水冷却器	6kw	1台
26	密封圈	高真空密封圈，材质是Ag	10个
27	小工具	万用表，扳手	各2个
28	备用波纹管	3米一根	4根
29	超细无尘布	22CM×22CM（100片）	20包
30	氮气瓶	每个氮气瓶带1个高精度减压阀	6个
31	角阀	根据供应商提供仪器的口经，最好配用2个角阀	2个
32	空气开关箱	380V/220V	1个
33	电机（带动样品台旋转）	电机（备用一个，不硬性要求，有更好）	不硬性要求，有更好
34	超高真空插板阀	超高真空插板阀（备用一个，不硬性要求，有更好）	不硬性要求，有更好
35	插线板	10米插线板和5米插线板	2个
36	实验室椅子	可升降 旋转	4个
37	除湿机	除湿机（除湿面积：80-160㎡） 电 源：220V/50HZ 除湿量：80升/天）不硬性要求，有更好。	不硬性要求，有更好
38	清洗样品工具	不锈钢镊子（8套，一套6把），氮气枪一把。	1批
39	氮手推车	不硬性要求，有更好	不硬性要求，有更好
40	超声波清洗仪一台	超声波清洗仪（大于等于10L，数控，可以加热），不硬性要求，有更好	不硬性要求，有更好
41	防护工具	手套2盒，口罩2盒，实验服2套，护目镜2个	1批

其他内容不变。

二、投标（响应）截止时间： * 日09时30分

三、联系事项

（一）采购人： (略)

地址： (略) 市 (略) 区 (略) 大道西55号

联系人： (略)

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（二）采购代理机构 ： (略) 有限公司

地址： (略) 省 (略) 市环市中路316号金鹰大厦10-11楼

联系人：赵尚春

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（三）采购项目联系人（采购人）：杨老师

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采购项目联系人（代理机构）：邵工

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特此公告。

发布人： (略) 有限公司

发布时间： * 日

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