华南师范大学华南先进光电子研究院采购试验仪器一批项目的修改通知
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华南师范大学华南先进光电子研究院采购试验仪器一批项目的修改通知
(略) 有限公司 于 * 日 在 (略) (略) 上提交的 (略) 华南先进 (略) 采购试验仪器一批（ 点击查看>> 点击查看>> 7）（公开招标）采购公告， 因招标文件修改原因， (略) 分内容作如下更正/变更：
一、本项目子包2设备“电阻热蒸镀膜仪” (略) 修改（修改后的技术参数详见附件）。
二、 (略) 文件时间延期至： * 日上午9:00－12:00，下午2:00－5:00（ (略) 时间，节假日除外）。
三、本项目投标时间延期至： * 日上午9:00～9:30（ (略) 时间）。
四、本项目开标时间延期至： * 日上午9:30（ (略) 时间）。
五、本项目投标地点： (略) 有限公司10楼会议室（地址： (略) 市环市中路316号金鹰大厦10楼）。
六、招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改。原招标文件与修改通知有矛盾的地方，以本通知为准。其他内容不变。
附件：
子包2：电阻热蒸镀膜仪1套
1、电阻热蒸镀膜仪基本技术要求（从验收合格之后算起，保修一年）：
（1）沉积室极限真空：极限真空5×10－5Pa.
（2）可以实现自动沉积，而且30nm以下比较均。。
（3）膜厚控制仪厚度分辨率(50个样品平均)：0.002埃/测量，速率分辨率（不平均）：0.0133埃/秒；（膜厚控制仪国际知名品牌）。
（4）沉积室抽速从大气状态开始在30分钟内，真空度小于5.0×10－4Pa。
（5）泵的声音小，分子泵抽速在 点击查看>> L/s之间（分子泵保修2年），涡旋干式泵大于等于8L/s(国内知名品牌)。
（6）样品台可以旋转升降。
（7）电源输出电流稳定，100A是输出电流波动在0.5%以下（电源是国际知名品牌）。
（8）占地面积小于2平方米。
（9）带冷却循环水。
（10）对膜的质量要求很高，验收时，需要对不同厚度贵金属膜和有机 (略) 测量（验收厚度为：10纳米，100纳米，1微米，5微米，10微米），请提供常用贵金属Au、Pt和Ag丝各20g（纯度99.99%），常用有机物半导体(并五苯20g，纯度＞98%和酞菁铜(II) 20g 纯度＞98%)，其中常用有机物半导体为国际知名品牌。
（11）一般不需安装气路。如确实需要安装气路，供应商须免费赠送150m的不锈钢管（具体情况，由采购人决定）。
（12）膜厚仪要求：
1）厚度分辨率（不平均）：0.0133埃/测量；
2）速率分辨率（不平均）：0.0133埃/秒；
3）厚度分辨率(50个样品平均)：0.002埃/测量；
4）速率分辨率（50个样品平均）：0.02埃/秒；
5）膜厚控制仪的振荡器容易坏，最好配1个备用，最好也配晶振片2盒。
（13） (略) 培训学生5-6人，2-3天。
2、配置清单及要求：
序号 | 名称 | 技术参数 | 数量 |
1 | 高真空不锈钢腔室 | 约Φ350mm×480mm | 1套 |
2 | 观察窗及法兰 | 含铅玻璃，不锈钢法兰 | 1套 |
3 | 腔室照明 | LED灯5W | 5只 |
4 | 旋转基片工装 | 30×30mm或者100＊100mm | 1套 |
5 | 旋转速电机及电源 | 工作电压稳定 | 1套 |
6 | 基片台加热系统 | 室温至300℃可调可控 | 1套 |
7 | 等离子清洗系统 | 对腔体清洗干净，确保无污染（验收时会拉曼检测样品有无污染物） | 1套 |
8 | 温度测量、控制系统 | 温度控制器，PID控温、可调可控 | 1套 |
9 | 陶封电极 | CF35四芯 | 1套 |
10 | 机械泵 | 大于等于8L／S 机械泵和腔体连接的阀门容易坏，最好配个挡板阀配用 | 1台 |
11 | 电动截止阀 | DF40 | 1支 |
12 | 电磁充气阀 | DF40 | 1支 |
13 | 截至阀 | 手动 | 1台 |
14 | 截至阀 | 手动 | 1台 |
15 | 真空抽气管道 | 不锈钢三通及波纹管 | 2台 |
16 | 真空计 | 10的-6次方Pa到10的6次方Pa | 1个 |
17 | 热阻蒸发电极 | 熔点极高 | 5只 |
18 | 蒸发舟 | 钨舟 | 50只 |
19 | 蒸发舟的挡板 | 手动/自动 | 4只 |
20 | 加热电源 | 380V/220V | 2台 |
21 | 控温电源系统 | 温度过高及时报警 | 1套 |
22 | 总控制电源 分子泵、机械泵、电磁阀、水压报警、照明烘烤，基片旋转、基体加热、连锁控制系统等。 | (略) 件都需要性能高度稳定 | 1套 |
23 | 气管、变通、接头气体管道 | 金属管 | 1套 |
24 | 安装机架 表面喷塑、配脚轮、配门 | 表面要吹塑平整，避免凹凸不平 | 1套 |
25 | 循环水冷却器 | 6kw | 1台 |
26 | 密封圈 | 高真空密封圈，材质是Ag | 10个 |
27 | 小工具 | 万用表，扳手 | 各2个 |
28 | 备用波纹管 | 3米一根 | 4根 |
29 | 超细无尘布 | 22CM×22CM（100片） | 20包 |
30 | 氮气瓶 | 每个氮气瓶带1个高精度减压阀 | 6个 |
31 | 角阀 | 根据供应商提供仪器的口经，最好配用2个角阀 | 2个 |
32 | 空气开关箱 | 380V/220V | 1个 |
33 | 电机（带动样品台旋转） | 电机（备用一个，不硬性要求，有更好） | 不硬性要求，有更好 |
34 | 超高真空插板阀 | 超高真空插板阀（备用一个，不硬性要求，有更好） | 不硬性要求，有更好 |
35 | 插线板 | 10米插线板和5米插线板 | 2个 |
36 | 实验室椅子 | 可升降 旋转 | 4个 |
37 | 除湿机 | 除湿机（除湿面积：80-160㎡） 电 源：220V/50HZ 除湿量：80升/天）不硬性要求，有更好。 | 不硬性要求，有更好 |
38 | 清洗样品工具 | 不锈钢镊子（8套，一套6把），氮气枪一把。 | 1批 |
39 | 氮手推车 | 不硬性要求，有更好 | 不硬性要求，有更好 |
40 | 超声波清洗仪一台 | 超声波清洗仪（大于等于10L，数控，可以加热），不硬性要求，有更好 | 不硬性要求，有更好 |
41 | 防护工具 | 手套2盒，口罩2盒，实验服2套，护目镜2个 | 1批 |
其他内容不变。
二、投标（响应）截止时间： * 日09时30分
三、联系事项
| （一）采购人： (略) | 地址： (略) 市 (略) 区 (略) 大道西55号 |
| 联系人： (略) | 联系电话： 点击查看>> |
| 传真： 点击查看>> | 邮编： 点击查看>> |
| （二）采购代理机构 ： (略) 有限公司 | 地址： (略) 省 (略) 市环市中路316号金鹰大厦10-11楼 |
| 联系人：赵尚春 | 联系电话： 点击查看>> |
| 传真： 点击查看>> | 邮编： 点击查看>> |
| （三）采购项目联系人（采购人）：杨老师 | 联系电话： 点击查看>> |
| 采购项目联系人（代理机构）：邵工 | 联系电话： 点击查看>> |
特此公告。
发布人： (略) 有限公司
发布时间： * 日
(略) 有限公司 于 * 日 在 (略) (略) 上提交的 (略) 华南先进 (略) 采购试验仪器一批（ 点击查看>> 点击查看>> 7）（公开招标）采购公告， 因招标文件修改原因， (略) 分内容作如下更正/变更：
一、本项目子包2设备“电阻热蒸镀膜仪” (略) 修改（修改后的技术参数详见附件）。
二、 (略) 文件时间延期至： * 日上午9:00－12:00，下午2:00－5:00（ (略) 时间，节假日除外）。
三、本项目投标时间延期至： * 日上午9:00～9:30（ (略) 时间）。
四、本项目开标时间延期至： * 日上午9:30（ (略) 时间）。
五、本项目投标地点： (略) 有限公司10楼会议室（地址： (略) 市环市中路316号金鹰大厦10楼）。
六、招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改。原招标文件与修改通知有矛盾的地方，以本通知为准。其他内容不变。
附件：
子包2：电阻热蒸镀膜仪1套
1、电阻热蒸镀膜仪基本技术要求（从验收合格之后算起，保修一年）：
（1）沉积室极限真空：极限真空5×10－5Pa.
（2）可以实现自动沉积，而且30nm以下比较均。。
（3）膜厚控制仪厚度分辨率(50个样品平均)：0.002埃/测量，速率分辨率（不平均）：0.0133埃/秒；（膜厚控制仪国际知名品牌）。
（4）沉积室抽速从大气状态开始在30分钟内，真空度小于5.0×10－4Pa。
（5）泵的声音小，分子泵抽速在 点击查看>> L/s之间（分子泵保修2年），涡旋干式泵大于等于8L/s(国内知名品牌)。
（6）样品台可以旋转升降。
（7）电源输出电流稳定，100A是输出电流波动在0.5%以下（电源是国际知名品牌）。
（8）占地面积小于2平方米。
（9）带冷却循环水。
（10）对膜的质量要求很高，验收时，需要对不同厚度贵金属膜和有机 (略) 测量（验收厚度为：10纳米，100纳米，1微米，5微米，10微米），请提供常用贵金属Au、Pt和Ag丝各20g（纯度99.99%），常用有机物半导体(并五苯20g，纯度＞98%和酞菁铜(II) 20g 纯度＞98%)，其中常用有机物半导体为国际知名品牌。
（11）一般不需安装气路。如确实需要安装气路，供应商须免费赠送150m的不锈钢管（具体情况，由采购人决定）。
（12）膜厚仪要求：
1）厚度分辨率（不平均）：0.0133埃/测量；
2）速率分辨率（不平均）：0.0133埃/秒；
3）厚度分辨率(50个样品平均)：0.002埃/测量；
4）速率分辨率（50个样品平均）：0.02埃/秒；
5）膜厚控制仪的振荡器容易坏，最好配1个备用，最好也配晶振片2盒。
（13） (略) 培训学生5-6人，2-3天。
2、配置清单及要求：
序号 | 名称 | 技术参数 | 数量 |
1 | 高真空不锈钢腔室 | 约Φ350mm×480mm | 1套 |
2 | 观察窗及法兰 | 含铅玻璃，不锈钢法兰 | 1套 |
3 | 腔室照明 | LED灯5W | 5只 |
4 | 旋转基片工装 | 30×30mm或者100＊100mm | 1套 |
5 | 旋转速电机及电源 | 工作电压稳定 | 1套 |
6 | 基片台加热系统 | 室温至300℃可调可控 | 1套 |
7 | 等离子清洗系统 | 对腔体清洗干净，确保无污染（验收时会拉曼检测样品有无污染物） | 1套 |
8 | 温度测量、控制系统 | 温度控制器，PID控温、可调可控 | 1套 |
9 | 陶封电极 | CF35四芯 | 1套 |
10 | 机械泵 | 大于等于8L／S 机械泵和腔体连接的阀门容易坏，最好配个挡板阀配用 | 1台 |
11 | 电动截止阀 | DF40 | 1支 |
12 | 电磁充气阀 | DF40 | 1支 |
13 | 截至阀 | 手动 | 1台 |
14 | 截至阀 | 手动 | 1台 |
15 | 真空抽气管道 | 不锈钢三通及波纹管 | 2台 |
16 | 真空计 | 10的-6次方Pa到10的6次方Pa | 1个 |
17 | 热阻蒸发电极 | 熔点极高 | 5只 |
18 | 蒸发舟 | 钨舟 | 50只 |
19 | 蒸发舟的挡板 | 手动/自动 | 4只 |
20 | 加热电源 | 380V/220V | 2台 |
21 | 控温电源系统 | 温度过高及时报警 | 1套 |
22 | 总控制电源 分子泵、机械泵、电磁阀、水压报警、照明烘烤，基片旋转、基体加热、连锁控制系统等。 | (略) 件都需要性能高度稳定 | 1套 |
23 | 气管、变通、接头气体管道 | 金属管 | 1套 |
24 | 安装机架 表面喷塑、配脚轮、配门 | 表面要吹塑平整，避免凹凸不平 | 1套 |
25 | 循环水冷却器 | 6kw | 1台 |
26 | 密封圈 | 高真空密封圈，材质是Ag | 10个 |
27 | 小工具 | 万用表，扳手 | 各2个 |
28 | 备用波纹管 | 3米一根 | 4根 |
29 | 超细无尘布 | 22CM×22CM（100片） | 20包 |
30 | 氮气瓶 | 每个氮气瓶带1个高精度减压阀 | 6个 |
31 | 角阀 | 根据供应商提供仪器的口经，最好配用2个角阀 | 2个 |
32 | 空气开关箱 | 380V/220V | 1个 |
33 | 电机（带动样品台旋转） | 电机（备用一个，不硬性要求，有更好） | 不硬性要求，有更好 |
34 | 超高真空插板阀 | 超高真空插板阀（备用一个，不硬性要求，有更好） | 不硬性要求，有更好 |
35 | 插线板 | 10米插线板和5米插线板 | 2个 |
36 | 实验室椅子 | 可升降 旋转 | 4个 |
37 | 除湿机 | 除湿机（除湿面积：80-160㎡） 电 源：220V/50HZ 除湿量：80升/天）不硬性要求，有更好。 | 不硬性要求，有更好 |
38 | 清洗样品工具 | 不锈钢镊子（8套，一套6把），氮气枪一把。 | 1批 |
39 | 氮手推车 | 不硬性要求，有更好 | 不硬性要求，有更好 |
40 | 超声波清洗仪一台 | 超声波清洗仪（大于等于10L，数控，可以加热），不硬性要求，有更好 | 不硬性要求，有更好 |
41 | 防护工具 | 手套2盒，口罩2盒，实验服2套，护目镜2个 | 1批 |
其他内容不变。
二、投标（响应）截止时间： * 日09时30分
三、联系事项
| （一）采购人： (略) | 地址： (略) 市 (略) 区 (略) 大道西55号 |
| 联系人： (略) | 联系电话： 点击查看>> |
| 传真： 点击查看>> | 邮编： 点击查看>> |
| （二）采购代理机构 ： (略) 有限公司 | 地址： (略) 省 (略) 市环市中路316号金鹰大厦10-11楼 |
| 联系人：赵尚春 | 联系电话： 点击查看>> |
| 传真： 点击查看>> | 邮编： 点击查看>> |
| （三）采购项目联系人（采购人）：杨老师 | 联系电话： 点击查看>> |
| 采购项目联系人（代理机构）：邵工 | 联系电话： 点击查看>> |
特此公告。
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