电子束物理气相沉积设备国际招标澄清或变更公告(7)
电子束物理气相沉积设备国际招标澄清或变更公告(7)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电子束物理气相沉积设备 | 1 | 1.装载室尺寸:不小于0.18m3;2.工件旋转主轴承载重量:不小于3.2Kg;3.加热室工作真空度:1Pa;4.电子枪加速电压:不小于40kV5.电子枪最大输出电流:3.2A6.涂层沉积室工作温度:950℃~1100℃7.涂层沉积室极限真空度:5×10-3Pa |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电子束物理气相沉积设备 | 1 | 1.装载室尺寸:不小于0.18m3;2.工件旋转主轴承载重量:不小于3.2Kg;3.加热室工作真空度:1Pa;4.电子枪加速电压:不小于40kV5.电子枪最大输出电流:3.2A6.涂层沉积室工作温度:950℃~1100℃7.涂层沉积室极限真空度:5×10-3Pa |
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