长江存储科技有限公司国际设备采购项目国际招标澄清或变更公告(2)
长江存储科技有限公司国际设备采购项目国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | INDY Plus炉管机 | 1 | TELINDYPLUS | |
2 | Alpha-303i合金炉管机 | 1 | TELINDYPLUS | |
3 | 硅片刻蚀机kiyo45+kiyoFXE | 1 | kiyo45+kiyoFXE | |
4 | 硅片刻蚀机 | 1 | LAM Flex DS + Kiyo FX | |
5 | i线步进式光刻机 | 1 | Canon Fine pattern Align FPA-5550iZ. | |
6 | 光刻涂胶显影机 | 1 | MEMORY 28nm | |
7 | 硅片刻蚀机kiyoFX | 1 | kiyoFX | |
8 | 硅片刻蚀机 | 1 | LAM Flex GXE + Kiyo FXE] | |
9 | Sym3 硅刻蚀腔体 | 1 | 3D NAND 45 nm | |
10 | 线上聚焦离子束切片 | 1 | FEI Helios G4 HX] | |
11 | 场发射电子显微镜 | 1 | [Hitachi SU9000] | |
12 | 线上聚焦离子束切片 | 1 | [FEI Helios 1200AT_AFL] | |
13 | 超高压扫描电子显微镜 | 1 | [Hitachi CV5020] | |
14 | 硅片镀膜机 | 1 | LAM Altus LFW | |
15 | 多片式原子层沉积设备 | 1 | ALD OX | |
16 | T5380ES晶圆测试机 | 5 | T5830ES | |
17 | T5380晶圆测试机 | 5 | T5830 | |
18 | UF3000硅片全自动探针台 | 4 | UF3000 | |
19 | UF3000硅片全自动探针台 | 5 | UF3000 | |
20 | Mag 5 EV晶圆测试系统 | 1 | Magnum V EV | |
21 | 20GHz高速示波器 | 1 | MSO72004C |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | INDY Plus炉管机 | 1 | TELINDYPLUS | |
2 | Alpha-303i合金炉管机 | 1 | TELINDYPLUS | |
3 | 硅片刻蚀机kiyo45+kiyoFXE | 1 | kiyo45+kiyoFXE | |
4 | 硅片刻蚀机 | 1 | LAM Flex DS + Kiyo FX | |
5 | i线步进式光刻机 | 1 | Canon Fine pattern Align FPA-5550iZ. | |
6 | 光刻涂胶显影机 | 1 | MEMORY 28nm | |
7 | 硅片刻蚀机kiyoFX | 1 | kiyoFX | |
8 | 硅片刻蚀机 | 1 | LAM Flex GXE + Kiyo FXE] | |
9 | Sym3 硅刻蚀腔体 | 1 | 3D NAND 45 nm | |
10 | 线上聚焦离子束切片 | 1 | FEI Helios G4 HX] | |
11 | 场发射电子显微镜 | 1 | [Hitachi SU9000] | |
12 | 线上聚焦离子束切片 | 1 | [FEI Helios 1200AT_AFL] | |
13 | 超高压扫描电子显微镜 | 1 | [Hitachi CV5020] | |
14 | 硅片镀膜机 | 1 | LAM Altus LFW | |
15 | 多片式原子层沉积设备 | 1 | ALD OX | |
16 | T5380ES晶圆测试机 | 5 | T5830ES | |
17 | T5380晶圆测试机 | 5 | T5830 | |
18 | UF3000硅片全自动探针台 | 4 | UF3000 | |
19 | UF3000硅片全自动探针台 | 5 | UF3000 | |
20 | Mag 5 EV晶圆测试系统 | 1 | Magnum V EV | |
21 | 20GHz高速示波器 | 1 | MSO72004C |
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