1

(略)

4套

1、总体要求

1.1 (略) 必须包括以下模块：（1）恒电位仪；（2）恒电流仪；（3）频率响应分析仪（FRA）；（4）零电阻电流计（ZRA）。应用于腐蚀、材料测试、传感器/生物电化学、电池/燃料电池、超级电容器/太阳能电池等。 (略) 多种直流电化学测试和交流阻抗测量。多台单机可以组合为多通道 (略) ，用同一台计算机控制。

1.2安全功能：提供数据安全、实验安全、硬件安全等功能。即便PC计算机崩溃， (略) 也有内存数 (略) 实验

2、主要技术参数

2.1.控制电压范围：-10V~+10V；

2.2. 槽压：±12V；

▲2.3. 电流范围：1nA~1A，自动和手动量程设置；

2.4. 电压精度：±1mV±0.05%设置；

2.5. 电流精度：±10pA±0.1%量程；

2.6. 电压分辨率：16位，最高3μV；

2.7. 电流分辨率：16位，最高30fA；

2.8. 输入阻抗：≥2×1013Ω||4.5pF；

2.9. 静电计带宽：＞22MHz；

2.10. 扫描速率：0~200V/sec常规模式，0~5000V/sec快速模式；

2.11. 转换速率：10V/μsec；

2.12. EIS频率范围：10μHz~1MHz；

2.13. 频率精度：＜0.01%；

2.14. 频率分辨率：5000/十刻度；

2.15. 交流信号幅度：0.1mV~5V rms （恒电位模式）；0.1~70%（恒电流模式）；

2.16. 提供多种EIS测量模式：- 静态EIS：恒电位，恒电流，伪恒电流，开路电位；- 动态EIS：动态电位，动态电流；-  固定频率阻抗：恒电位，恒电流，动态电位，动态电流；- 多正弦波EIS：恒电位，恒电流；- 间歇PEIS/GEIS.  ；

▲2.17. 零电阻电流计ZRA：100nA~1A；

2.18. 数据采集：2×16bit ADCs(500kHz)用于电压/电流，1×16bit ADCs(250kHz)用于辅助读数；

2.19. 数据内存：350k组数据点；

3、软件

3.1. 软件功能包括电化学阻抗谱、电化学分析、电池测试、腐蚀测试等测试技术。并提供用户自定义的测试技术；

3.2. 免费提供软件的升级；

3.3. 每个实验最多步骤：1000；

3.4 最大采样速率：20kHz(50μsec)，500kHz(2μsec)；

3.5. 最大采样时间：无限制；

▲3.6. 免费提供数据分析软件，数据分析软件均无需授权即可使用：分析直流测试数据，分析电池测试数据，分析电化学阻抗谱EIS数据，包括等效电路模型库；

4、其它配件

4.1. 模拟电解池： (略) 模拟电解池。

5、配套PC计算机，PC计算机配置要求如下：

操作系统Windows10，office  2016；CPU型号：i5-7400 或以上；独立显卡；内存 8G；硬盘 1TB及以上。

2

电池测试系统

1套

1、总体要求

电池测试系统至少配备8个真正独立的通道（非分时巡检式的多通道），可以对最多8个 (略) 独立的测试。硬件包括恒电位仪/恒电流仪电路， (略) 电池寿命周期测试、普通电化学测试。配套软件易于使用，不仅能够提供预设的测试技术，还提供用户自定义的测试技术。硬件和软件均具备安全功能， (略) 、数据、仪器硬件和被测样品的安全。

2、主要参数

★2.1通道数量：8通道；

2.2控制电压范围：±5V；

▲2.3控制电流范围：±10mA~±1A，3档量程；

2.4输入阻抗：1010ohm；

2.5所有通道的电流和电压精度：±0.02%FSR；

2.6电流分辨率：16bit；

2.7电压分辨率：16bit，0.15mV；

2.8最快采样间隔：10msec；

2.9数据通讯端口： (略) 口。

3. 软件

3.1支持电池测试技术和普通电化学测试技术，包括但不限于：充放电CC/CV测试，CC/CC测试，IV曲线、电化学电压谱、GITT/PITT测试，循环伏安测试等；

3.2支持用户自定义测试技术；

3.3提供通道归类分组功能；

3.4支持数据转换为ASCII文本或Excel表格格式。

4. 配套PC计算机，PC计算机配置要求如下：

操作系统Windows10，office  2016；CPU型号：i5-7400 或以上；独立显卡；内存 8G；硬盘 1TB及以上。

1

高真空多靶磁控溅射镀膜机

1台

★1、溅射室极限真空度：≤6.6×10-6 Pa

2、系统真空检漏漏率：≤5.0×10-7Pa.l/S3. ；

3、系统从大气开始抽气：溅射室20分钟可达到6.6×10-4  Pa；

4、系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；

★5.溅射真空室1套，立式气缸助力上开盖结构，尺寸不小于Ф300mm×300mm，全不锈钢结构，氩弧焊接， (略) 电化学抛光，内含防污内衬，可内烘烤到100～150℃，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封，腔体内有外照明系统；

★6、磁控溅射系统 3套，  溅射室中配3套50mm高性能永磁共焦磁控溅射靶（溅射靶角度可调）（其中一个磁控靶靶材采用磁力固定方式，不采用压盖方式），各靶可独立/顺次/共同工作，磁控靶RF、DC、MF兼容，可以溅射磁性材料，磁控靶与基片距离可调，配备3套旋转气动控制挡板组件；

★7、配1台500w脉冲直流电源（500V/1A具有抑弧功能）和1台国际品牌全自动匹配射频电源（600W）和一台-1000v脉冲偏压电源（具有抑弧功能）；

▲8、系统配有国际品牌膜厚监测仪  1台；

▲9、旋转基片台 1套，样品台可放置直径50mm样品1片，具有连续旋转功能，旋转0—30转/分连续可调,旋转采用磁流体装置。基片加热温度：室温—800°C连续可调，由热电偶闭环反馈控制，加热电源配备控温表，控温方式为PID自动控温及数字显示；

10、观察窗口 (略) 件 1套；

11、工作气路2套，包含：100SCCM、20SCCM质量流量控制器、CF16截止阀、管路、接头等共2路；  DN16充气阀、管路、接头等2路；

★12、抽气机组及阀门、管道 1套，包含1台国际品牌复合分子泵及变频控制电源（抽速不小于680L/s ）；1台机械泵（4L/S），1台DN40气动截止阀，机械泵与真空室之间的旁抽管路1套，CC150气动闸板阀1台（用于复合分子泵与真空室隔离），DN40旁抽气阀1台，压差式充气阀1台；管道采用不锈钢三通及波纹管；

★13、节流阀1台(千分尺可调角度气缸节流阀，有刻度显示位置和手动调节功能)；

14、安装机台架组件 1套，由优质方钢型材焊接成，快卸围 (略) 理，机台表面用不锈钢蒙皮装饰，四只脚轮，可固定，可移动，台架尺寸宽度小于800mm；

▲15、真空测量系统 1套，溅射室采用国际品牌铱灯丝热阴极复 (略) 测量；

16、具备对泵、靶、分子泵等缺水、过流过压、断路等 (略) (略) 相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统；

★17、磁控靶上设有过温保护装置，所有磁铁采 (略) 理涂层；

18、系统采用PLC+触摸屏全自动控制方式， (略) 自动抽气及程序设定、计算机实时显示记录真空度及加热温度、计算机设定显示直流电源、射频电源功率参数、计算机设定显示MFC的设定控制等、计算机设定显示当班状态、样品转速等；

19、配备循环水机一台、静音空压机一台，专用工具（含工具箱）1套，备品备件 1套；

▲20、交货期：合同签订后2个月。