扫描探针显微镜

变更前技术要求

可测量、评定平面、曲面、球面等表面。评定参数：GT/T 点击查看>> 的 6 个二维评定参数、GB/T 点击查看>> 的 43 个二维评定参数、ISO25178 的 14个三维评定参数。 功能模块：扫描隧道显微镜、原子力显微镜（接触/横向力/轻敲/相移模式）、摩擦力显微镜、膜厚/台阶测量功能、纳米定位功能（高精度电控样品移动平台）、增加功能模块

变更后技术要求

<!--[if !supportLists]-->一、<!--[endif]-->扫描系统

<!--[if !supportLists]-->1. <!--[endif]-->功能模块：扫描隧道显微镜、原子力显微镜（接触/横向力/轻敲/相移模式）、摩擦力显微镜、膜厚/台阶测量功能、纳米定位功能（高精度电控样品移动平台）

<!--[if !supportLists]-->2. <!--[endif]-->超级曲线测量模式、单一60μm大量程高精度扫描器、60μm量程扫描器分辨率：

<!--[if !supportLists]-->3. <!--[endif]-->扫描隧道STM X-Y向0.1nm，Z向0.01nm，HOPG原子定标；

<!--[if !supportLists]-->4. <!--[endif]-->原子力AFM（接触）X-Y向0.2nm，Z向0.03nm，云母晶格定标；

<!--[if !supportLists]-->5. <!--[endif]-->原子力AFM（轻敲）X-Y向0.2nm，Z向0.1nm；DNA样品验证；

<!--[if !supportLists]-->6. <!--[endif]-->样品台尺寸：样品直径≤80mm，厚度≤30mm；

<!--[if !supportLists]-->二、<!--[endif]-->纳米定位系统

<!--[if !supportLists]-->1、<!--[endif]-->高精度电控样品移动平台

<!--[if !supportLists]-->（1）<!--[endif]-->最小步进50nm，移动范围5×5mm；

<!--[if !supportLists]-->（2）<!--[endif]-->可在CCD视频界面或SPM图像扫描界面，直接用鼠标拖动待测区域到目标位置，计算机控制移动平台自动定位；

<!--[if !supportLists]-->（3）<!--[endif]-->可任意设置数个原点位置，随时一键返回（计算机控制电控移动平台回到指定原点）；

<!--[if !supportLists]-->（4）<!--[endif]-->可任意标记多个测样点，编制定位路径，计算机控制移动平台依次到达各预设点。

<!--[if !supportLists]-->（5）<!--[endif]-->直接输入在X、Y方向移动数值，计算机控制电控样品移动平台自动定位；

<!--[if !supportLists]-->（6）<!--[endif]-->高分辨CCD光学观测系统：在计算机上成像，用于观察探针和样品，放大倍数80～600倍，视场1.6mm，配套控制及成像软件；

<!--[if !supportLists]-->三、<!--[endif]-->电子控制系统

<!--[if !supportLists]-->1、<!--[endif]-->中枢控制器：32位ARM芯片，16 M RAM ，2M Flash ROM；

<!--[if !supportLists]-->2、<!--[endif]-->高压单元：±300V 纹波噪声1.5mV；

<!--[if !supportLists]-->3、<!--[endif]-->扫描角度：-180度～180度连续可调；

<!--[if !supportLists]-->4、<!--[endif]-->持固件远程下载技术，可直接远程下载升级可编程电子器件中的程序；

<!--[if !supportLists]-->四、<!--[endif]-->软件系统

<!--[if !supportLists]-->1、<!--[endif]-->软件兼容WIN2000/XP/7/VISTA操作系统

<!--[if !supportLists]-->2、<!--[endif]-->四窗口图像界面，16个可选数据通道，可同时观察其中任意4个不同数据通道实时同步成像，扫描图 (略) 工作环境参数同步保存。

<!--[if !supportLists]-->3、<!--[endif]-->压电陶瓷非线性校正（测量结果非线性度<1%），曲面拟合校正，样品倾斜校正；

<!--[if !supportLists]-->4、<!--[endif]-->任意剖面分析功能：可在图像上设置任意曲线，得到该曲线的剖面图；

<!--[if !supportLists]-->5、<!--[endif]--> (略) 理软件：3D显示， (略) 理，图像修饰，边缘增强、 (略) 理、图像格式转换，图像几何变换、调色板设置等；

<!--[if !supportLists]-->6、<!--[endif]-->数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、数据统计、摩擦力分析、Bearing分析和比较、功率谱分析和比较、自相关/互相关分析、图像相加减功能、各种曲线统计/分析等；

7、软件服务包：软件终身享受免费升级服务；

窄带滤光片

变更前技术要求

中心波长CWL:λ1=480，λ2=520，λ3=550，λ4=670，λ5=700，λ6=730，λ7=780；±3nm；半带宽：10nm±3nm；峰值透过率：Tpeak＞65%；截止深度：OD≥3。

变更后技术要求

<!--[if !supportLists]-->1. <!--[endif]-->波长: 400nm, 420nm, 450nm, 475nm, 500nm, 550nm, 600nm各一片；

<!--[if !supportLists]-->2. <!--[endif]-->石英材质，半波带宽15nm；

<!--[if !supportLists]-->3. <!--[endif]-->透过率最少85%以上。

扫描探针显微镜

变更前技术要求

可测量、评定平面、曲面、球面等表面。评定参数：GT/T 点击查看>> 的 6 个二维评定参数、GB/T 点击查看>> 的 43 个二维评定参数、ISO25178 的 14个三维评定参数。 功能模块：扫描隧道显微镜、原子力显微镜（接触/横向力/轻敲/相移模式）、摩擦力显微镜、膜厚/台阶测量功能、纳米定位功能（高精度电控样品移动平台）、增加功能模块

变更后技术要求

<!--[if !supportLists]-->一、<!--[endif]-->扫描系统

<!--[if !supportLists]-->1. <!--[endif]-->功能模块：扫描隧道显微镜、原子力显微镜（接触/横向力/轻敲/相移模式）、摩擦力显微镜、膜厚/台阶测量功能、纳米定位功能（高精度电控样品移动平台）

<!--[if !supportLists]-->2. <!--[endif]-->超级曲线测量模式、单一60μm大量程高精度扫描器、60μm量程扫描器分辨率：

<!--[if !supportLists]-->3. <!--[endif]-->扫描隧道STM X-Y向0.1nm，Z向0.01nm，HOPG原子定标；

<!--[if !supportLists]-->4. <!--[endif]-->原子力AFM（接触）X-Y向0.2nm，Z向0.03nm，云母晶格定标；

<!--[if !supportLists]-->5. <!--[endif]-->原子力AFM（轻敲）X-Y向0.2nm，Z向0.1nm；DNA样品验证；

<!--[if !supportLists]-->6. <!--[endif]-->样品台尺寸：样品直径≤80mm，厚度≤30mm；

<!--[if !supportLists]-->二、<!--[endif]-->纳米定位系统

<!--[if !supportLists]-->1、<!--[endif]-->高精度电控样品移动平台

<!--[if !supportLists]-->（1）<!--[endif]-->最小步进50nm，移动范围5×5mm；

<!--[if !supportLists]-->（2）<!--[endif]-->可在CCD视频界面或SPM图像扫描界面，直接用鼠标拖动待测区域到目标位置，计算机控制移动平台自动定位；

<!--[if !supportLists]-->（3）<!--[endif]-->可任意设置数个原点位置，随时一键返回（计算机控制电控移动平台回到指定原点）；

<!--[if !supportLists]-->（4）<!--[endif]-->可任意标记多个测样点，编制定位路径，计算机控制移动平台依次到达各预设点。

<!--[if !supportLists]-->（5）<!--[endif]-->直接输入在X、Y方向移动数值，计算机控制电控样品移动平台自动定位；

<!--[if !supportLists]-->（6）<!--[endif]-->高分辨CCD光学观测系统：在计算机上成像，用于观察探针和样品，放大倍数80～600倍，视场1.6mm，配套控制及成像软件；

<!--[if !supportLists]-->三、<!--[endif]-->电子控制系统

<!--[if !supportLists]-->1、<!--[endif]-->中枢控制器：32位ARM芯片，16 M RAM ，2M Flash ROM；

<!--[if !supportLists]-->2、<!--[endif]-->高压单元：±300V 纹波噪声1.5mV；

<!--[if !supportLists]-->3、<!--[endif]-->扫描角度：-180度～180度连续可调；

<!--[if !supportLists]-->4、<!--[endif]-->持固件远程下载技术，可直接远程下载升级可编程电子器件中的程序；

<!--[if !supportLists]-->四、<!--[endif]-->软件系统

<!--[if !supportLists]-->1、<!--[endif]-->软件兼容WIN2000/XP/7/VISTA操作系统

<!--[if !supportLists]-->2、<!--[endif]-->四窗口图像界面，16个可选数据通道，可同时观察其中任意4个不同数据通道实时同步成像，扫描图 (略) 工作环境参数同步保存。

<!--[if !supportLists]-->3、<!--[endif]-->压电陶瓷非线性校正（测量结果非线性度<1%），曲面拟合校正，样品倾斜校正；

<!--[if !supportLists]-->4、<!--[endif]-->任意剖面分析功能：可在图像上设置任意曲线，得到该曲线的剖面图；

<!--[if !supportLists]-->5、<!--[endif]--> (略) 理软件：3D显示， (略) 理，图像修饰，边缘增强、 (略) 理、图像格式转换，图像几何变换、调色板设置等；

<!--[if !supportLists]-->6、<!--[endif]-->数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、数据统计、摩擦力分析、Bearing分析和比较、功率谱分析和比较、自相关/互相关分析、图像相加减功能、各种曲线统计/分析等；

7、软件服务包：软件终身享受免费升级服务；

窄带滤光片

变更前技术要求

中心波长CWL:λ1=480，λ2=520，λ3=550，λ4=670，λ5=700，λ6=730，λ7=780；±3nm；半带宽：10nm±3nm；峰值透过率：Tpeak＞65%；截止深度：OD≥3。

变更后技术要求

<!--[if !supportLists]-->1. <!--[endif]-->波长: 400nm, 420nm, 450nm, 475nm, 500nm, 550nm, 600nm各一片；

<!--[if !supportLists]-->2. <!--[endif]-->石英材质，半波带宽15nm；

<!--[if !supportLists]-->3. <!--[endif]-->透过率最少85%以上。