序号

设备名称

技术指标

单位

数量

金额/万元

1

显微拉曼荧光光谱仪（允许进口）

显微共焦激光拉曼光谱仪应为科研型仪器，包括多波长激光光源、高分辨率光栅、显微镜系统、软件和计算机系统等，要求仪器具有较高整体性和稳定性，具有较高的自动化程度，操作方便、扩展灵活。

*本仪器必须具备下列功能扩展能力：

1.  与原子力显微镜/近场光学显微镜联用（RAMAN / AFM/NSOM），并无需对拉曼光谱仪做任何改造。

2.  与扫描电镜（电子探针，能谱，阴极荧光）联用(SEM / RAMAN)。

3.  与激光共焦显微镜联用（RAMAN / LCSM），并无需对拉曼光谱仪做任何改造。

4.  可升级到采用窄带虑光片技术的拉曼光谱二维直接成像。

1.1 激光光源

1.1.1   532nm激发波长，激光器功率不低于45mW。

1.1.2   325nm激发波长，激光器功率不低于30mW

1.1.3   *785nm激发波长，激光器功率不低于280mW，具备点光斑和线光斑模式。

1.1.4   *不同激发波长采用独立的，按波长独立优化的激光入射光路，以保证每个波长均有最优的通光效率，避免互相影响。

1.1.5   *要求必须配置激光光斑尺寸连续可调，使得激光光斑尺寸在焦平面内连续可调，并能连续改变到样品上的激光功率密度，以方便信号弱且怕烧样品的检测。

1.1.6   各波长均使用两片Edge瑞利滤光片和一片用于去除等离子线的干涉滤光片，仪器阻挡激光瑞利散射水平好于1014。

1.2 光谱仪

1.2.1   为保证仪器的高通光效率和高灵敏度，必须采用先进的自动聚焦透射式光谱仪，无色差，无像差。光谱仪焦长250mm。

1.2.2   系统总通光效率大于30%。

1.2.3   *激光入射光路通光效率大于40%。

1.2.4   *光谱范围：200nm 到1060nm，全光谱范围内可快速连续扫描，无接谱。

?  532nm激发波长，光谱范围： ## cm-1

?  325nm激发波长，光谱范围： ## cm-1

?  785nm激发波长，光谱范围： ## cm-1

1.2.5   *光谱分辨率：好于1波数。

检验标准：使用氖灯作为信号源，大于等于1800线高分辨光栅，测试17086ABScm-1发光线，其半高全宽小于1波数（FWHM<1cm-1）。

1.2.6   *光谱重复性：≤±0.04cm-1。

检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，采用X100物镜，光栅转动，扫描范围100～4000cm-1，重复不少于40次，观测硅拉曼峰（520cm-1），略位置重复性≤±0.04 cm-1。

1.2.7   *不同波长瑞利滤光片需自动切换，采用三点精确定位技术，转台必须采用光栅尺反馈控制系统，确保精度和重复性，可调节滤光片角度，优化低波数性能。

1.2.8   *采用1800线及1200线高分辨率光栅，两块光栅固定在同一转台上软件控制自动转换，不能使用四块光栅转台，避免仪器校准误差。

1.2.9   *光栅控制：必须采用光栅尺反馈控制系统控制光栅的精确定位，重复性好。

1.2.10  *高灵敏度：硅三阶峰（约在1440 cm-1）的信噪比好于25:1，并能观察到四阶峰。

检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，激光输出功率20mW，狭缝宽度（或针孔）<= 50微米，使用大于等于1800线高分辨光栅，积分时间300秒，binning等于1，显微镜头为X100倍。

1.2.11  *CCD探测器：2018年#月#像元，优质芯片，半导体制冷到-70oC，读出噪音（<4/e-(RMS)），取谱速度>1800张光谱/秒

1.2.12  *计算机控制激光多级衰减片，15级以上，以方便针对不同样品调整激光功率。

1.3 智能控制功能

1.3.1   *切换波长时，采用计算机控制全自动切换（（包括激光器、光栅和滤光片））。

1.3.2   *内置标准样品，自动准直激光到样品的激发光路、样品至探测器的拉曼信号传递光路。

1.3.3   自动定期仪器状态校准、并自动调节准直光路，保证仪器最佳性能状态。

1.3.4   *厂家工程师略实现远程自动调整及优化。

1.3.5   自动拉曼信号强度校正功能：内置标准白光光源，软件自动校准拉曼光强度，消除不同波长信号的响应差异。

1.3.6   自动波长校准功能：内置标准氖灯光源，自动实现全光谱自动校准，保证光谱峰位准确度。

1.3.7   拉曼信号采集模式与白光照明模式自动切换。

1.4 共焦技术

1.4.1   *须采用新型数字化针孔真共焦显微技术（数字化控制CCD区域），不得内置机械共聚焦针孔，以避免仪器的不稳定性和复杂的光路调整，且保证仪器高灵敏度。

1.4.2   软件控制共焦孔径大小，在10-1000?m范围内连续可调。

1.4.3   *软件控制自动调整狭缝大小，在10-1000?m范围内连续可调。

1.4.4   *空间分辨率：在x100倍镜头下，横向分辨率<0.5微米，光轴方向纵向分辨率<2微米，共焦深度连续可调。

1.5 共焦显微系统

a. *高稳定性研究级徕卡显微镜。

b.*10X原装目镜，5X、20X、100X，紫外40X物镜。

c.反射及透射柯勒照明。

d.彩色摄像头，可在计算机上显示存储图像。

1.6 计算机及彩色激光打印机

3.1GHz，2GB RAM，500 GB 硬盘，DVD-RW刻录机，略卡，22英寸液晶显示器， Windows 7操作系统，可观察和存储显微镜下的白光像。Windows下光谱专业软件包－包括仪器控制、数据采集、略理及曲线拟合等各项功能。

1.7 高精度三维拉曼扫描成像样品台

?  *XYZ最小步长为0.1微米。

?  *XYZ自动平台，扫描范围：X ≥ 100毫米，Y ≥ 70 毫米。

?  带手动操作鼠标球，可软件自动控制驱动。

?  *可略位自略拉曼成像，必须采用光栅尺反馈控制系统自动控制克服反向间隙，保证原始点的重复性。

?  用软件可连接摄像头采集图像，扩展了略，也可使自动平台的扫描区域扩大。

?  包括自动聚焦软件及软件。

1.8 数据库：

?  略谱库搜索。

?  可建立新光谱库。

?  包含无机矿物数据库。

?  包含有机高分子数据库

1.9 高空间分辨率快速拉曼扫描成像技术

?  配合快速扫描自动样品台，最小步长0.1um。

?  快速实时拉曼成像略理软件包。

?  *具备预扫描功能，根据样品表面位置设定坐标，对倾斜弯略自动聚焦扫描成像。

?  *拉曼图象空间分辨率高，最高可达250nm。

?  适用于532nm，325nm，785nm激发波长。

?  *最短积分时间≤2ms。

1.10    3D快速成像技术

?  立体地收集并显示略的拉曼数据。

?  快速实时拉曼成像略理软件包。

?  完整的显示样品的3D立体拉曼图象。

?  适用于532nm，325nm，785nm激发波长。

?  *最短积分时间≤2ms。

1.11    *与Agilent 5500原子力略件

?  *拉曼系统激光引出与信号收集结构

?  *显微镜镜头可实现三维自动调整

?  *计算机控制的内置显微摄像头和照X源

?  *适用于532nm，785nm激发波长

1.12    售后服务

?  提供一年供应商免费保修

?  *产略工程师上门安装、调试、

培训，并附证明文件。

台

1

270

序号

设备名称

技术指标

单位

数量

金额/万元

1

显微拉曼荧光光谱仪（允许进口）

显微共焦激光拉曼光谱仪应为科研型仪器，包括多波长激光光源、高分辨率光栅、显微镜系统、软件和计算机系统等，要求仪器具有较高整体性和稳定性，具有较高的自动化程度，操作方便、扩展灵活。

*本仪器必须具备下列功能扩展能力：

1.  与原子力显微镜/近场光学显微镜联用（RAMAN / AFM/NSOM），并无需对拉曼光谱仪做任何改造。

2.  与扫描电镜（电子探针，能谱，阴极荧光）联用(SEM / RAMAN)。

3.  与激光共焦显微镜联用（RAMAN / LCSM），并无需对拉曼光谱仪做任何改造。

4.  可升级到采用窄带虑光片技术的拉曼光谱二维直接成像。

1.1 激光光源

1.1.1   532nm激发波长，激光器功率不低于45mW。

1.1.2   325nm激发波长，激光器功率不低于30mW

1.1.3   *785nm激发波长，激光器功率不低于280mW，具备点光斑和线光斑模式。

1.1.4   *不同激发波长采用独立的，按波长独立优化的激光入射光路，以保证每个波长均有最优的通光效率，避免互相影响。

1.1.5   *要求必须配置激光光斑尺寸连续可调，使得激光光斑尺寸在焦平面内连续可调，并能连续改变到样品上的激光功率密度，以方便信号弱且怕烧样品的检测。

1.1.6   各波长均使用两片Edge瑞利滤光片和一片用于去除等离子线的干涉滤光片，仪器阻挡激光瑞利散射水平好于1014。

1.2 光谱仪

1.2.1   为保证仪器的高通光效率和高灵敏度，必须采用先进的自动聚焦透射式光谱仪，无色差，无像差。光谱仪焦长250mm。

1.2.2   系统总通光效率大于30%。

1.2.3   *激光入射光路通光效率大于40%。

1.2.4   *光谱范围：200nm 到1060nm，全光谱范围内可快速连续扫描，无接谱。

?  532nm激发波长，光谱范围： ## cm-1

?  325nm激发波长，光谱范围： ## cm-1

?  785nm激发波长，光谱范围： ## cm-1

1.2.5   *光谱分辨率：好于1波数。

检验标准：使用氖灯作为信号源，大于等于1800线高分辨光栅，测试17086ABScm-1发光线，其半高全宽小于1波数（FWHM<1cm-1）。

1.2.6   *光谱重复性：≤±0.04cm-1。

检验标准：使用表面抛光的单晶硅做样品，采用X100物镜，光栅转动，扫描范围100～4000cm-1，重复不少于40次，观测硅拉曼峰（520cm-1），略位置重复性≤±0.04 cm-1。

1.2.7   *不同波长瑞利滤光片需自动切换，采用三点精确定位技术，转台必须采用光栅尺反馈控制系统，确保精度和重复性，可调节滤光片角度，优化低波数性能。

1.2.8   *采用1800线及1200线高分辨率光栅，两块光栅固定在同一转台上软件控制自动转换，不能使用四块光栅转台，避免仪器校准误差。

1.2.9   *光栅控制：必须采用光栅尺反馈控制系统控制光栅的精确定位，重复性好。

1.2.10  *高灵敏度：硅三阶峰（约在1440 cm-1）的信噪比好于25:1，并能观察到四阶峰。

检测条件：使用单晶硅片，波长532nm，激光输出功率20mW，狭缝宽度（或针孔）<= 50微米，使用大于等于1800线高分辨光栅，积分时间300秒，binning等于1，显微镜头为X100倍。

1.2.11  *CCD探测器：2018年#月#像元，优质芯片，半导体制冷到-70oC，读出噪音（<4/e-(RMS)），取谱速度>1800张光谱/秒

1.2.12  *计算机控制激光多级衰减片，15级以上，以方便针对不同样品调整激光功率。

1.3 智能控制功能

1.3.1   *切换波长时，采用计算机控制全自动切换（（包括激光器、光栅和滤光片））。

1.3.2   *内置标准样品，自动准直激光到样品的激发光路、样品至探测器的拉曼信号传递光路。

1.3.3   自动定期仪器状态校准、并自动调节准直光路，保证仪器最佳性能状态。

1.3.4   *厂家工程师略实现远程自动调整及优化。

1.3.5   自动拉曼信号强度校正功能：内置标准白光光源，软件自动校准拉曼光强度，消除不同波长信号的响应差异。

1.3.6   自动波长校准功能：内置标准氖灯光源，自动实现全光谱自动校准，保证光谱峰位准确度。

1.3.7   拉曼信号采集模式与白光照明模式自动切换。

1.4 共焦技术

1.4.1   *须采用新型数字化针孔真共焦显微技术（数字化控制CCD区域），不得内置机械共聚焦针孔，以避免仪器的不稳定性和复杂的光路调整，且保证仪器高灵敏度。

1.4.2   软件控制共焦孔径大小，在10-1000?m范围内连续可调。

1.4.3   *软件控制自动调整狭缝大小，在10-1000?m范围内连续可调。

1.4.4   *空间分辨率：在x100倍镜头下，横向分辨率<0.5微米，光轴方向纵向分辨率<2微米，共焦深度连续可调。

1.5 共焦显微系统

a. *高稳定性研究级徕卡显微镜。

b.*10X原装目镜，5X、20X、100X，紫外40X物镜。

c.反射及透射柯勒照明。

d.彩色摄像头，可在计算机上显示存储图像。

1.6 计算机及彩色激光打印机

3.1GHz，2GB RAM，500 GB 硬盘，DVD-RW刻录机，略卡，22英寸液晶显示器， Windows 7操作系统，可观察和存储显微镜下的白光像。Windows下光谱专业软件包－包括仪器控制、数据采集、略理及曲线拟合等各项功能。

1.7 高精度三维拉曼扫描成像样品台

?  *XYZ最小步长为0.1微米。

?  *XYZ自动平台，扫描范围：X ≥ 100毫米，Y ≥ 70 毫米。

?  带手动操作鼠标球，可软件自动控制驱动。

?  *可略位自略拉曼成像，必须采用光栅尺反馈控制系统自动控制克服反向间隙，保证原始点的重复性。

?  用软件可连接摄像头采集图像，扩展了略，也可使自动平台的扫描区域扩大。

?  包括自动聚焦软件及软件。

1.8 数据库：

?  略谱库搜索。

?  可建立新光谱库。

?  包含无机矿物数据库。

?  包含有机高分子数据库

1.9 高空间分辨率快速拉曼扫描成像技术

?  配合快速扫描自动样品台，最小步长0.1um。

?  快速实时拉曼成像略理软件包。

?  *具备预扫描功能，根据样品表面位置设定坐标，对倾斜弯略自动聚焦扫描成像。

?  *拉曼图象空间分辨率高，最高可达250nm。

?  适用于532nm，325nm，785nm激发波长。

?  *最短积分时间≤2ms。

1.10    3D快速成像技术

?  立体地收集并显示略的拉曼数据。

?  快速实时拉曼成像略理软件包。

?  完整的显示样品的3D立体拉曼图象。

?  适用于532nm，325nm，785nm激发波长。

?  *最短积分时间≤2ms。

1.11    *与Agilent 5500原子力略件

?  *拉曼系统激光引出与信号收集结构

?  *显微镜镜头可实现三维自动调整

?  *计算机控制的内置显微摄像头和照X源

?  *适用于532nm，785nm激发波长

1.12    售后服务

?  提供一年供应商免费保修

?  *产略工程师上门安装、调试、

培训，并附证明文件。

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