澄清或变更简要说明：招标公告变更
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:聚焦离子束微纳加工系统
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>>
招标项目名称:聚焦离子束微纳加工系统
项目实施地点:中国 (略) 市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	聚焦离子束微纳加工系统	1	4技术要求及参数4.1离子束及辅助气体注入系统技术要求4.1.1离子束系统： 离子源种类：液态Ga离子源； 分辨率： ≤4.0nm @ * kV 加速电压：1.0kV - * kV ★束流强度：1pA - * nA ( * 孔光阑条) 离子源寿命：不低于 * 小时 备用 * 套Ga离子源（含人工费）4.1.2辅助气体注入系统： 具备金属沉积系统，可在离子束、电子 (略) W、C等沉积； 每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染。4.2电子束技术要求4.2.1电子枪类型：肖特基（ZrO/W）场发射灯丝 ★4.2.2分辨率：≤1.2nm @ * kV；≤1.6nm @ 1kV 4.2.3样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像 4.2.4加速电压： * V~ * KV (连续可调) ★4.2.5束流强度：最大束流 * nA 4.2.6放大倍数： * ~ * 万 ★4.2.7电子枪寿命：保证使用3年 4.2.8备用 * 根电子枪（含人工费）

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)投标人在中华人民共和国境内外注册且具有独立的法人资格，能提供上述产品及相应服务的代 (略) 家；2) (略) 项目出具的独家授权书；3)具有 (略) 需设备的供货和售后服务的能力；4）4）包件 * 最高投标限价：聚焦离子束微纳加工系统 点击查看>> 美元，单个包件投标报价若高于包件控制价的视为废标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：打浦路 * 号荣科大厦 * 楼
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点:打浦路 * 号荣科大厦 * 楼
开标地点:打浦路 * 号荣科大厦 * 楼
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人: (略)
地址: (略) 路 * 号
联系人:张毅闻
联系方式: 点击查看>>
招标代理机构: (略) 容基 (略)
地址:打浦路 * 号荣科大厦 * 楼
联系人:顾云洁
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):
 

澄清或变更简要说明：招标公告变更
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:聚焦离子束微纳加工系统
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>>
招标项目名称:聚焦离子束微纳加工系统
项目实施地点:中国 (略) 市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	聚焦离子束微纳加工系统	1	4技术要求及参数4.1离子束及辅助气体注入系统技术要求4.1.1离子束系统： 离子源种类：液态Ga离子源； 分辨率： ≤4.0nm @ * kV 加速电压：1.0kV - * kV ★束流强度：1pA - * nA ( * 孔光阑条) 离子源寿命：不低于 * 小时 备用 * 套Ga离子源（含人工费）4.1.2辅助气体注入系统： 具备金属沉积系统，可在离子束、电子 (略) W、C等沉积； 每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染。4.2电子束技术要求4.2.1电子枪类型：肖特基（ZrO/W）场发射灯丝 ★4.2.2分辨率：≤1.2nm @ * kV；≤1.6nm @ 1kV 4.2.3样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像 4.2.4加速电压： * V~ * KV (连续可调) ★4.2.5束流强度：最大束流 * nA 4.2.6放大倍数： * ~ * 万 ★4.2.7电子枪寿命：保证使用3年 4.2.8备用 * 根电子枪（含人工费）

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)投标人在中华人民共和国境内外注册且具有独立的法人资格，能提供上述产品及相应服务的代 (略) 家；2) (略) 项目出具的独家授权书；3)具有 (略) 需设备的供货和售后服务的能力；4）4）包件 * 最高投标限价：聚焦离子束微纳加工系统 点击查看>> 美元，单个包件投标报价若高于包件控制价的视为废标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：打浦路 * 号荣科大厦 * 楼
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点:打浦路 * 号荣科大厦 * 楼
开标地点:打浦路 * 号荣科大厦 * 楼
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人: (略)
地址: (略) 路 * 号
联系人:张毅闻
联系方式: 点击查看>>
招标代理机构: (略) 容基 (略)
地址:打浦路 * 号荣科大厦 * 楼
联系人:顾云洁
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):
 

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