等离子体增强化学沉积机台 招标变更

澄清或变更简要说明：更改包6、7招标文件
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1自动曝光机8
包2匀胶机7
包3显影机 *
包4品目1去胶清洗机 *
包4品目2去蜡清洗设备2
包5品目1ACE清洗机(4槽)2
包5品目2ACE清洗机(2槽)1
包5品目3酸类清洗机（2槽BOE+2槽ITO）1
包5品目4酸类清洗机（4槽BOE）1
包5品目5酸类清洗机（2槽 * +2槽HCL）1
包5品目6酸类清洗机（3槽 * +1槽 * 洗版）1
包5品目7酸类清洗机（1槽 * +1槽 * 洗版）1
包5品目8去蜡清洗设备 1
包6旋干机 *
包7旋干机 *
包8自动干法刻蚀机 *
包9ITO溅射镀膜机3
包 * 快速退火炉（9片机）9
包 * 电子束蒸发机 *
包 * 合金炉管4
包 * 等离子体增强化学沉积机台 *
包 * 分布式布拉格反射镜3
包 * 等离子去胶机（Asher） *
包 * 膜厚仪器2
包 * 金相显微镜9
包 * 全自动目检机COW（AOI）7
包 * 金属溅射镀膜机2
包 * 椭偏仪1
包 * 品目1高温老化试验机（ * mA/1K/ * V）2
包 * 品目2常温老化试验机（ * mA/1K/ * V）2
包 * 品目3高压老化电流源（ * mA/1K/ * V）3
包 * 自动推力机2
包 * 品目1氮气纯化器3
包 * 品目2氢气纯化器2
包 * 品目3氨气纯化器8
资金到位或资金来源落实情况:已到位
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>> SUMECK * / *
招标项目名称:等离子体增强化学沉积机台
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
包1	自动曝光机	8	单台月产能大于 * 0片，计算方法：WPH* * * * *0. * (系数) (含套刻产能：5秒曝光时间，及基片厚度补偿时间)
包2	匀胶机	7	产能：单台月产能≥ * 0片单台月产能计算公式：WPH( * 小时产量)* * （小时）* * （天）*0. * (系数) ≥ * 0片
包3	显影机	*	显影CUP单元≥4组
包4品目1	去胶清洗机	*	制程槽：SPR（循环）*2、IPA（循环）*1、QDR
包4品目2	去蜡清洗设备	2	去蜡清洗设备必须手动自动可切换操作
包5品目1	ACE清洗机(4槽)	2	制程槽：ACE（循环）*4、QDR*4
包5品目2	ACE清洗机(2槽)	1	制程槽：ACE（循环）*2、QDR*2
包5品目3	酸类清洗机（2槽BOE+2槽ITO）	1	制程槽：BOE*2（循环）、ITO*2（循环）、QDR*4
包5品目4	酸类清洗机（4槽BOE）	1	制程槽：BOE（循环）*4,QDR*4
包5品目5	酸类清洗机（2槽 * +2槽HCL）	1	制程槽： * *2（循环）、HCL*2（循环）、HQDR*2,QDR*2
包5品目6	酸类清洗机（3槽 * +1槽 * 洗版）	1	制程槽： * （循环）*4,HQDR*4
包5品目7	酸类清洗机（1槽 * +1槽 * 洗版）	1	制程槽： * （循环）*2,HQDR*2
包5品目8	去蜡清洗设备	1	管路系统配置于设备后下方之管路区
包6	旋干机	*	机台马达需采用无碳刷直流马达
包7	旋干机	*	机台马达需采用无碳刷直流马达
包8	自动干法刻蚀机	*	单台两套ICP工艺腔室
包9	ITO溅射镀膜机	3	靶材与衬底之间有挡板保护（工艺步骤前挡板开启保护，保证低离子损伤）。
包 *	快速退火炉（9片机）	9	芯片承载盘(SiC) ：SiC材料可放置4吋晶片9片（含）及以上
包 *	电子束蒸发机	*	蒸发源坩埚材质：钨（ * cc*6），蒸镀过程相邻坩埚不会互相污染。
包 *	合金炉管	4	可加工管数 ：3个以上（含3个）
包 *	等离子体增强化学沉积机台	*	气体流量计包括但不限于SiH4, N2O, O2, NH3, CF4, N2气体。
包 *	分布式布拉格反射镜	3	射频中和器：最大射频功率： * W（ * . * MHz）最大中和電流： * mA
包 *	等离子去胶机（Asher）	*	生产治具： * 用 * 备
包 *	膜厚仪器	2	测量厚度：5nm~ * um
包 *	金相显微镜	9	最大可放置样品高度: * mm，实现更大高度样品观察；
包 *	全自动目检机COW（AOI）	7	可用于4英寸晶片尺寸使用，同时兼容6寸
包 *	金属溅射镀膜机	2	具有单独DC，单独RF电源
包 *	椭偏仪	1	微光斑（ * °入射角）：最小尺寸≤ * um X * um。
包 * 品目1	高温老化试验机（ * mA/1K/ * V）	2	配LED PCB专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于 * 度）
包 * 品目2	常温老化试验机（ * mA/1K/ * V）	2	配LED PCB专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于 * 度）
包 * 品目3	高压老化电流源（ * mA/1K/ * V）	3	试验数据可以保存于PC 机中，便于调用，可输出试验报表，绘制数据变化曲线。
包 *	自动推力机	2	用途：适用于2寸片、4寸片及6寸片推力及拉力作业，以验证电极结合度状况
包 * 品目1	氮气纯化器	3	纯化对象及纯化后纯度：氮气/ * . 点击查看>> %
包 * 品目2	氢气纯化器	2	纯化对象及纯化后纯度：氢气/ * . 点击查看>> %
包 * 品目3	氨气纯化器	8	纯化对象及纯度：NH3/ * . 点击查看>> %

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本； 2、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查） 3、投 (略) 在开标日前 * 个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件 4、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署，则需要提供《单位负责人授权书》，授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查） 如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦9楼西侧（ (略) 长江路 * 号）
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点: (略) 省 (略) 市 (略) 区浦上大道 * 号， (略) 阿 (略)
开标地点: (略) 省 (略) 市 (略) 区浦上大道 * 号， (略) 阿 (略)
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人: (略)
地址: (略)
联系人:金经理
联系方式: 点击查看>>
招标代理机构:苏美达 (略)
地址: (略)
联系人:邓梦诗
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):