品目号

货物名称

主要技术参数

单位

数量

1

等离子体增强化学气相沉积系统

1. 加热系统 　　

1.1最高温度： * oC（1小时）；1.2 炉膛有效尺寸：Φ * × * mm ；1.3 炉膛材料：氧化铝、高温纤维制品 ；1.4 热电偶类型：K型热电偶 ；1.5 控温精度：±1oC；1.6 控温方式：(1) * 段可编程控温，PID参数自整定；(2) 操作界面为 * "工控电脑，内置PLC控制程序；(3) 可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制；1.7 加热长度： * + * mm；1.8 恒温长度： * + * mm；1.9 加热原件：电阻丝；1. * 供电电源：单相， * V， * Hz； 1. * 额定功率：9KW　　

2. PE射频电源 　　

2.1 信号频率： * . * MHz ± 0. * % 　　 2.2 功率输出范围：0~ * W 　　

2.3 最大反射功率： * W 　　

2.4 射频输出接口： * Ω， N-type， female 　　

2.5 射频范围：整管均匀 　　

2.6 等离子方向：可控制方向 　　

2.7 功率稳定度：± 0.1% 　　

2.8 谐波分量：≤- * dbc 　　

2.9供电电压：单相交流（ * V- * V），频率 * / * Hz 　　

2. * 整机效率：≥ * % 　　

2. * 功率因素：≥ * % 　　

2. * 冷却方式：强制风冷 　　

3. * 路质子流量控制系统 　　

3.1 外形尺寸： * × * × * mm

3.2连接头类型：双卡套不锈钢接头

3.3标准量程（N2)： * sccm（两路，其中 * 路指定氢气（H2）标定）， * sccm（ * 路） 　　

3.4准确度：±1.5% 　　

3.5 线性：± 0.5～1.5% 　　

3.6重复精度：± 0.2% 　　

3.7响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性： * Sec 　　

3.8工作压差范围：0.1～0.5 MPa 　　

3.9最大压力：3MPa 　　

3. * 接口：Φ6，1/4

台

1

2

柔性基底 * 维材料沉积系统

1. 加热系统 　　

1.1预热器　

1.1.1 工作温度： * ℃ 　　

1.1.2 最高温度： * ℃ 　　

1.1.3 最快升温速率： * ℃/min 　　

1.1.4 推荐升温速率： * ℃/min 　　

1.1.5 控温方式：智能化 * 段可编程控制 　　

1.1.6 工作电压：AC * V 　　

1.1.7 额定功率： * W 　　

1.1.8 控温精度：±1℃ 　

加热元件：电阻丝 　　

1.2 双温区真空管式炉BTF- * C-II 　　 1.2.1炉管尺寸：Φ * × * mm（管径可选） 　　

1.2.2 加热元件：电阻丝 　　

1.2.3 加热区长度： * + * mm 　　

1.2.4 恒温区长度： * + * mm 　　

1.2.5 工作温度≤ * ℃ 　　

1.2.6 最高温度： * ℃ 　　

1.2.7 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化 * 段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 　　

1.2.8 控温精度:±1℃

1.2.9 炉门结构：开启式 　　

1.2. * 工作电源：AC 点击查看>> V Single Phase， * / * Hz ,额定功率：9KW 　　 1.2. * 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式 (略) 嘴接头）端口可按实际使用扩展。 　　

2. (略) 分 　　

2.1 信号频率： * . * MHz ± 0. * % 　　 2.2 功率输出范围：0~ * W 　　

2.3 最大反射功率： * W 　　

2.4 射频输出接口： * Ω， N-type， female 　　

2.5 射频范围：整管均匀 　　

2.6 等离子方向：可控制方向 　　

2.7 功率稳定度：± 0.1% 　　

2.8 谐波分量：≤- * dbc 　　

2.9供电电压：单相交流（ * V- * V），频率 * / * Hz 　　

2. * 整机效率：≥ * % 　　

2. * 功率因素：≥ * % 　　

2. * 冷却方式：强制风冷 　　

3. * 路供气系统　　

3.1 工作电压： * ~ * V， * Hz 　　

3.2最大输出功率： * W 　　

3.3流量计标准量程： * sccm（两路，其中 * 路指定氢气标定）， * sccm（ * 路） 　　

3.4工作温度：4~ * ℃ 　　

3.5工作压差：0.1~0.5Mpa 　　

3.6最大压力：3Mpa 　　

3.7准确度：±1.5%F.S 　　

3.8压力表测量范围：-0.1~0. * MPa（0. * MPa/grid） 　　

3.9针阀： * 不锈钢 　　

3. * 混气罐：Φ * * * mm 　　

3. * 截止阀：Φ6mm 　　

3. * 尺寸： * * * * * mm 　　

4. 真空系统VAU- * 　　

4.1空气相对湿度≤ * % 　　

4.2工作电电压： * V± * % * ~ * HZ 　　 4.3功率：1千瓦 　　

4.4抽气速率： * m3/h 　　

4.5极限真空：4× * -2Pa 　　

4.6实验真空度：1.0× * -1Pa 　　

4.7容油量：1.1L 　　

4.8进气口口径：KF * 　　

4.9排气口口径：KF * 　　

4. * 转速： * rpm 　　

4. * 噪音： * dB 　　

4. * 外型尺寸: * × * × * m

台

1

3

元素型纯水制水系统

1. 基本技术参数： 　　

1.1电源: * V/ * HZ * W；环境温度:5- * 度 ；湿度: * %- * % 　　

1.2进水水源：城市自来水，TDS< * ppm，水温5- * ℃，水压0. * -0.4MPa 　　

1.3取水速率：1-1.5L/min 　　

1.4出水水质：（两种水质） Ⅲ级纯水：电导率<5μs/ * 5℃；符合中国GB 点击查看>> 的III级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；I级超纯水：比电阻达到 * . * MΩ. * 5℃；符合中国GB 点击查看>> 的I级水标准和ASTM CAP NCCLS标准； 微生物<1cfu/ml；热源含量:<0. * EU/ml，微粒(大于0. * μm)含量：＜1/ml 　　吸光度( * nm

个

1

4

酸度计

1cm光程):≤0. * ，可溶性硅［以(SiO2)计］：＜0. * ppm ；重金属含量 点击查看>> ):＜0. * ； 2系统内置定时冲洗程序、RO膜防垢程序、手动RO膜冲洗；3内置手动水循环程序，超纯水自动循环程序，保持超纯水水质；4水质比电阻在线监测显示；尺寸：长 * *宽 * *高 * mm ；5. 技术特点：系统主要由M (略) 理系统单元、反渗透系统单元、超纯水系统输送单元、控制系统构成，设备全自动控制，自动产水，水满自动停机停电停水。5. (略) 理包：作用是滤除原水中细小颗粒、悬浮物、胶体等杂质，降低进水浊度，防止RO膜被污堵；5.2反渗透膜：采用美国原产反渗透膜，双级反渗透，更能有效去除水中的各类盐离子，有机物，细菌，病毒，脱盐除菌率达 * %以上； 5.3膜片纯水输送泵：采用MOL纯水专用输送泵，超纯水取水速度快，可达每分钟1-1.5升；5.4 UV灯：采用 * nm紫外光除去系统中的细菌； 5.5超纯化包：采用美国超纯水专用离子交换树脂及特殊流路设计，超纯化效率高，能有效去除水中的痕量离子物质，保证水质稳定； 5.6终端微滤：用0. * 微米孔径的滤膜或者中空纤维滤膜，滤除大于0. * 微米的污染物，使微粒(大于0. * μm)含量：＜1/ml. 4. 产品质量和服务：4.1严格按照ISO * 质量体系设计生产，保证设备安装后性能、4.2设备验收合格起质保期为十 * 个月。质保期内，免费更换正常情况下损坏零配件和提供全免费保修；质保期后，设备终身维修及零配件及时供应，配件均给予优惠价格，终身维护。

个

1

5

耐腐蚀加热磁力搅拌器

技术参数详述：1. mV范围 : - * to * ；2. mV相对精确性: ± 1 ；3. mV分辨率: 1 ； 4. pH测量范围: 0. * to * . * ；5. 相对pH精度: ± 0. * ；6. pH分辨率: 0. * ；7. 温度精度°C: ± 0.5 ；8. 温度范围 °C: 0.0 to * .0 ；9. 温度分辨率 °C: 0.1； 　　 * . 显示器: LCD ； * . 校准: 最多3点校正，4组预定义缓冲液 ；  * . 接口: RS * 接口； * . 数据储存: * 组数据存储

个

3

品目号

货物名称

主要技术参数

单位

数量

1

等离子体增强化学气相沉积系统

1. 加热系统

1.1最高温度： * oC（1小时）

1.2 炉膛材料：氧化铝、高温纤维制品

1.3 热电偶类型：K型热电偶

1.4 控温精度：±1oC

1.5 控温方式：(1) * 段可编程控温，PID参数自整定；(2) 操作界面为 * "工控电脑，内置PLC控制程序；(3) 可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制。

1.6 加热长度： * + * mm

1.7 恒温长度： * + * mm

1.8 加热原件：电阻丝

1.9 供电电源：单相， * V， * Hz

1. *  额定功率：9KW

2. PE射频电源

  2.1 信号频率： * . * MHz ± 0. * %

2.2 功率输出范围：0~ * W

2.3 最大反射功率： * W

2.4 射频输出接口： * Ω, N-type, female

*2.5 射频范围：整管均匀

*2.6 等离子方向：可控制方向

2.7 功率稳定度：± 0.1%

2.8 谐波分量：≤- * dbc

2.9供电电压：单相交流（ * V- * V），频率 * / * Hz

2. * 整机效率：≥ * %

2. * 功率因素：≥ * %

2. * 冷却方式：强制风冷

3. * 路质子流量控制系统

  3.1连接头类型：双卡套不锈钢接头

*3.2标准量程（N2)： * sccm（两路，其中 * 路指定氢气（H2）标定）， * sccm（ * 路）

*3.3准确度：±1.5%

*3.4 线性：± 0.5～1.5%

*3.5重复精度：± 0.2%

*3.6响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性： * Sec

3.7工作压差范围：0.1～0.5 MPa

3.8最大压力：3MPa

3.9接口：Φ6，1/4

3. * 显示：4位数字显示

3. * 工作环境温度：5~ * 高纯气体

*3. * 压力真空表：－0.1～0. * MPa, 0. * MPa/格

3. * 截止阀：Φ6

3. *  内外双抛不锈钢管：Φ6

4. 低真空机组VAU- *

  4.1 空气相对湿度：≤ * %

4.2 工作环境：5℃～ * ℃

4.3 工作电压： * V± * %   * ~ * HZ

4.4 功率：1KW

*4.5 抽气速率： * m3/h

*4.6 极限真空：5× * -1Pa

4.7工作压力范围：1.0 * ～1. * × * -2Pa

4.8耐压值：0. * MPa

4.9容油量：1.1L

4. * 进气口口径：KF *

4. * 排气口口径：KF *

4. * 噪音： * dB

4. * 连接方式：采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

5. 电阻真空计

  5.1配用规管：ZJ- * T电阻规

  5.2测量范围： *  ～ * -1 Pa

  5.3测量路数：1路

  5.4控制范围：5× *  ～5× * -1 Pa

  5.5控制方式：继电器触点输出，负载能力AC * V/3A无感负载

  5.6电源： * V± * % * Hz

5.7功耗： * W

台

1

2

柔性基底 * 维材料沉积系统

1. 加热系统

1.1预热器

1.1.1 工作温度： * ℃

1.1.2 最高温度： * ℃

1.1.3 最快升温速率： * ℃/min

1.1.4 推荐升温速率： * ℃/min

1.1.5控温方式：智能化 * 段可编程控制

1.1.6 工作电压：AC *  V

1.1.7 额定功率： * W

1.1.8 控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

1.2 双温区真空管式炉BTF- * C-II

    1.2.1 加热元件：电阻丝
1.2.2加热区长度： * + * mm
1.2.3 恒温区长度： * + * mm
1.2.4 工作温度≤ * ℃
1.2.5 最高温度： * ℃
1.2.6 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化 * 段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
1.2.7 控温精度:±1℃

1.2.8 炉门结构：开启式
1.2.9 工作电源：AC 点击查看>> V Single Phase， * / * Hz

额定功率：9KW

1.2. *  密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式 (略) 嘴接头）端口可按实际使用扩展。

2. (略) 分

  2.1 信号频率： * . * MHz ± 0. * %

*2.2 功率输出范围：0~ * W

2.3 最大反射功率： * W

2.4 射频输出接口： * Ω, N-type, female

*2.5 射频范围：整管均匀

*2.6 等离子方向：可控制方向

2.7 功率稳定度：± 0.1%

2.8 谐波分量：≤- * dbc

2.9供电电压：单相交流（ * V- * V），频率 * / * Hz

2. * 整机效率：≥ * %

2. * 功率因素：≥ * %

2. * 冷却方式：强制风冷

3. * 路供气系统GMF-3Z

3.1 工作电压： * ~ * V， * Hz

3.2最大输出功率： * W

3.3流量计标准量程： * sccm（两路，其中 * 路指定氢气标定）， * sccm（ * 路）

3.4工作温度：4~ * ℃

3.5工作压差：0.1~0.5Mpa

3.6最大压力：3Mpa

3.7准确度：±1.5%F.S

3.8压力表测量范围：-0.1~0. * MPa（0. * MPa/grid）

3.9针阀： * 不锈钢

3. * 混气罐：Φ * * * mm

3. * 截止阀：Φ6mm

4. 真空系统VAU- *

  4.1空气相对湿度≤ * %

4.2工作电电压： * V± * % * ~ * HZ

4.3功率：1千瓦

4.4抽气速率： * m3/h

4.5极限真空：4× * -2Pa

4.6实验真空度：1.0× * -1Pa

4.7容油量：1.1L

4.8进气口口径：KF *

4.9排气口口径：KF *

4. * 转速： * rpm

4. * 噪音： * dB

台

1

3

元素型纯水制水系统

1. 基本技术参数：

1.1电源: * V/ * HZ   * W；环境温度:5- * 度 ；湿度: * %- * %

1.2进水水源：城市自来水，TDS< * ppm，水温5- * ℃，水压0. * -0.4MPa

1.3取水速率：1-1.5L/min

*1.4出水水质：（两种水质）

   Ⅲ级纯水：电导率<5μs/ * 5℃；符合中国GB 点击查看>> 的III级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；

I级超纯水：比电阻达到 * . * MΩ. * 5℃；符合中国GB 点击查看>> 的I级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；

微生物<1cfu/ml　

热源含量:<0. * EU/ml，微粒(大于0. * μm)含量：＜1/ml

吸光度( * nm,1cm光程):≤0. * ，可溶性硅［以(SiO2)计］：＜0. * ppm

重金属含量 点击查看>> ):＜0. *

2. 技术特点：

系统主要由M (略) 理系统单元、反渗透系统单元、超纯水系统输送单元、控制系统构成，设备全自动控制，自动产水，水满自动停机停电停水。

2. (略) 理包：作用是滤除原水中细小颗粒、悬浮物、胶体等杂质，降低进水浊度，防止RO膜被污堵；

2.2反渗透膜：采用美国原产反渗透膜，双级反渗透，更能有效去除水中的各类盐离子，有机物，细菌，病毒，脱盐除菌率达 * %以上；

2.3膜片纯水输送泵：采用MOL纯水专用输送泵，超纯水取水速度快，可达每分钟1-1.5升；

2.4 UV灯：采用 * nm紫外光除去系统中的细菌；

2.5超纯化包：采用美国超纯水专用离子交换树脂及特殊流路设计，超纯化效率高，能有效去除水中的痕量离子物质，保证水质稳定；

2.6终端微滤：用0. * 微米孔径的滤膜或者中空纤维滤膜，滤除大于0. * 微米的污染物，使微粒(大于0. * μm)含量：＜1/ml.

3.产品质量和服务：

3.1严格按照ISO * 质量体系设计生产，保证设备安装后性能、技术符合要求；

3.2负责设备安装调试、负责用户操作人员的技术与操作培训等；

3.3供应商须具有本地化服务，如果设备发生故障，承诺1小时内对用户的服务要求做出响应，并4小时内解决问题；

3.4设备验收合格起质保期为十 * 个月。质保期内，免费更换正常情况下损坏零配件和提供全免费保修；质保期后，设备终身维修及零配件及时供应，配件均给予优惠价格，终身维护。

套

1

4

酸度计

1. mV范围 : - * to *

2. mV相对精确性: ± 1

3. mV分辨率: 1

4. pH测量范围: 0. * to * . *

5. 相对pH精度: ± 0. *

6. pH分辨率: 0. *

7. 温度精度°C: ± 0.5

8. 温度范围 °C: 0.0 to * .0

9. 温度分辨率 °C: 0.1

* . 显示器: LCD

* . 校准: 最多3点校正，4组预定义缓冲液

* . 接口: RS * 接口,

* . 数据储存: * 组数据存储

个

1

5

耐腐蚀加热磁力搅拌器

1. 性能

*1.1采用 * 体成型的玻璃陶瓷材质方形盘面，特殊钢化玻璃，保证化学耐腐蚀性和使用安全性

*1.2 * 体化的定时/ 计时功能，让控制动态反应或灵敏反应更加简单直接, 粘度变化趋势测量

*1.3提供终身保修，提供实时更新的固件升级，具有RS * 接口和USB接口

2. 技术参数

*2.1最大搅拌量：≥ * L（水）

2.2速度范围： * - * rpm

2.5加热速度：1升H2O in H * )，5 K/min

2.4加热温度范围： * - * °C

2.5加热温度控制精确度  1±K

*2.6固定安全温度回路 * °C

2.7外接温度传感器接口PT * 、ETS-D5、ETS-D6

2.7带传感器控温精确度0.5 ±K

2.8温度测量精确性温度偏差±0.2(DIN IEC * Class A) K

*3. 配置要求

控制型搅拌器主机、温度传感器、磁力搅拌子、支杆。

4. 保质及售后服务

*为了保证良好的售后服务， (略) 家在 (略) 设有办事机构或者常驻员工， (略) (略) 调试安装服务，仪器到货后，厂家工程师在收到用户的书面通知后7个工作日之内到用户地点安装。

调试： (略) 购仪器在安装 (略) 安装后应按照安装调试的检验标准正常运转。

现场培训： (略) 家的专业技术人员 (略) 仪器基本操作、日常维护、常见故障分析 (略) 培训，并提供操作说明。

保修期内：

仪器整机要求发生故障5小时内反应，1 (略) ， * 周内解决问题，以 (略) 。

保修期外：在中国国内或当地 (略) 提供仪器使 (略) 有的服务，包括备用零件及消耗品和维修。

** (略) 家针对本项目的授权及售后服务承诺

台

3

品目号

货物名称

主要技术参数

单位

数量

1

等离子体增强化学气相沉积系统

1. 加热系统 　　

1.1最高温度： * oC（1小时）；1.2 炉膛有效尺寸：Φ * × * mm ；1.3 炉膛材料：氧化铝、高温纤维制品 ；1.4 热电偶类型：K型热电偶 ；1.5 控温精度：±1oC；1.6 控温方式：(1) * 段可编程控温，PID参数自整定；(2) 操作界面为 * "工控电脑，内置PLC控制程序；(3) 可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制；1.7 加热长度： * + * mm；1.8 恒温长度： * + * mm；1.9 加热原件：电阻丝；1. * 供电电源：单相， * V， * Hz； 1. * 额定功率：9KW　　

2. PE射频电源 　　

2.1 信号频率： * . * MHz ± 0. * % 　　 2.2 功率输出范围：0~ * W 　　

2.3 最大反射功率： * W 　　

2.4 射频输出接口： * Ω， N-type， female 　　

2.5 射频范围：整管均匀 　　

2.6 等离子方向：可控制方向 　　

2.7 功率稳定度：± 0.1% 　　

2.8 谐波分量：≤- * dbc 　　

2.9供电电压：单相交流（ * V- * V），频率 * / * Hz 　　

2. * 整机效率：≥ * % 　　

2. * 功率因素：≥ * % 　　

2. * 冷却方式：强制风冷 　　

3. * 路质子流量控制系统 　　

3.1 外形尺寸： * × * × * mm

3.2连接头类型：双卡套不锈钢接头

3.3标准量程（N2)： * sccm（两路，其中 * 路指定氢气（H2）标定）， * sccm（ * 路） 　　

3.4准确度：±1.5% 　　

3.5 线性：± 0.5～1.5% 　　

3.6重复精度：± 0.2% 　　

3.7响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性： * Sec 　　

3.8工作压差范围：0.1～0.5 MPa 　　

3.9最大压力：3MPa 　　

3. * 接口：Φ6，1/4

台

1

2

柔性基底 * 维材料沉积系统

1. 加热系统 　　

1.1预热器　

1.1.1 工作温度： * ℃ 　　

1.1.2 最高温度： * ℃ 　　

1.1.3 最快升温速率： * ℃/min 　　

1.1.4 推荐升温速率： * ℃/min 　　

1.1.5 控温方式：智能化 * 段可编程控制 　　

1.1.6 工作电压：AC * V 　　

1.1.7 额定功率： * W 　　

1.1.8 控温精度：±1℃ 　

加热元件：电阻丝 　　

1.2 双温区真空管式炉BTF- * C-II 　　 1.2.1炉管尺寸：Φ * × * mm（管径可选） 　　

1.2.2 加热元件：电阻丝 　　

1.2.3 加热区长度： * + * mm 　　

1.2.4 恒温区长度： * + * mm 　　

1.2.5 工作温度≤ * ℃ 　　

1.2.6 最高温度： * ℃ 　　

1.2.7 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化 * 段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 　　

1.2.8 控温精度:±1℃

1.2.9 炉门结构：开启式 　　

1.2. * 工作电源：AC 点击查看>> V Single Phase， * / * Hz ,额定功率：9KW 　　 1.2. * 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式 (略) 嘴接头）端口可按实际使用扩展。 　　

2. (略) 分 　　

2.1 信号频率： * . * MHz ± 0. * % 　　 2.2 功率输出范围：0~ * W 　　

2.3 最大反射功率： * W 　　

2.4 射频输出接口： * Ω， N-type， female 　　

2.5 射频范围：整管均匀 　　

2.6 等离子方向：可控制方向 　　

2.7 功率稳定度：± 0.1% 　　

2.8 谐波分量：≤- * dbc 　　

2.9供电电压：单相交流（ * V- * V），频率 * / * Hz 　　

2. * 整机效率：≥ * % 　　

2. * 功率因素：≥ * % 　　

2. * 冷却方式：强制风冷 　　

3. * 路供气系统　　

3.1 工作电压： * ~ * V， * Hz 　　

3.2最大输出功率： * W 　　

3.3流量计标准量程： * sccm（两路，其中 * 路指定氢气标定）， * sccm（ * 路） 　　

3.4工作温度：4~ * ℃ 　　

3.5工作压差：0.1~0.5Mpa 　　

3.6最大压力：3Mpa 　　

3.7准确度：±1.5%F.S 　　

3.8压力表测量范围：-0.1~0. * MPa（0. * MPa/grid） 　　

3.9针阀： * 不锈钢 　　

3. * 混气罐：Φ * * * mm 　　

3. * 截止阀：Φ6mm 　　

3. * 尺寸： * * * * * mm 　　

4. 真空系统VAU- * 　　

4.1空气相对湿度≤ * % 　　

4.2工作电电压： * V± * % * ~ * HZ 　　 4.3功率：1千瓦 　　

4.4抽气速率： * m3/h 　　

4.5极限真空：4× * -2Pa 　　

4.6实验真空度：1.0× * -1Pa 　　

4.7容油量：1.1L 　　

4.8进气口口径：KF * 　　

4.9排气口口径：KF * 　　

4. * 转速： * rpm 　　

4. * 噪音： * dB 　　

4. * 外型尺寸: * × * × * m

台

1

3

元素型纯水制水系统

1. 基本技术参数： 　　

1.1电源: * V/ * HZ * W；环境温度:5- * 度 ；湿度: * %- * % 　　

1.2进水水源：城市自来水，TDS< * ppm，水温5- * ℃，水压0. * -0.4MPa 　　

1.3取水速率：1-1.5L/min 　　

1.4出水水质：（两种水质） Ⅲ级纯水：电导率<5μs/ * 5℃；符合中国GB 点击查看>> 的III级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；I级超纯水：比电阻达到 * . * MΩ. * 5℃；符合中国GB 点击查看>> 的I级水标准和ASTM CAP NCCLS标准； 微生物<1cfu/ml；热源含量:<0. * EU/ml，微粒(大于0. * μm)含量：＜1/ml 　　吸光度( * nm

个

1

4

酸度计

1cm光程):≤0. * ，可溶性硅［以(SiO2)计］：＜0. * ppm ；重金属含量 点击查看>> ):＜0. * ； 2系统内置定时冲洗程序、RO膜防垢程序、手动RO膜冲洗；3内置手动水循环程序，超纯水自动循环程序，保持超纯水水质；4水质比电阻在线监测显示；尺寸：长 * *宽 * *高 * mm ；5. 技术特点：系统主要由M (略) 理系统单元、反渗透系统单元、超纯水系统输送单元、控制系统构成，设备全自动控制，自动产水，水满自动停机停电停水。5. (略) 理包：作用是滤除原水中细小颗粒、悬浮物、胶体等杂质，降低进水浊度，防止RO膜被污堵；5.2反渗透膜：采用美国原产反渗透膜，双级反渗透，更能有效去除水中的各类盐离子，有机物，细菌，病毒，脱盐除菌率达 * %以上； 5.3膜片纯水输送泵：采用MOL纯水专用输送泵，超纯水取水速度快，可达每分钟1-1.5升；5.4 UV灯：采用 * nm紫外光除去系统中的细菌； 5.5超纯化包：采用美国超纯水专用离子交换树脂及特殊流路设计，超纯化效率高，能有效去除水中的痕量离子物质，保证水质稳定； 5.6终端微滤：用0. * 微米孔径的滤膜或者中空纤维滤膜，滤除大于0. * 微米的污染物，使微粒(大于0. * μm)含量：＜1/ml. 4. 产品质量和服务：4.1严格按照ISO * 质量体系设计生产，保证设备安装后性能、4.2设备验收合格起质保期为十 * 个月。质保期内，免费更换正常情况下损坏零配件和提供全免费保修；质保期后，设备终身维修及零配件及时供应，配件均给予优惠价格，终身维护。

个

1

5

耐腐蚀加热磁力搅拌器

技术参数详述：1. mV范围 : - * to * ；2. mV相对精确性: ± 1 ；3. mV分辨率: 1 ； 4. pH测量范围: 0. * to * . * ；5. 相对pH精度: ± 0. * ；6. pH分辨率: 0. * ；7. 温度精度°C: ± 0.5 ；8. 温度范围 °C: 0.0 to * .0 ；9. 温度分辨率 °C: 0.1； 　　 * . 显示器: LCD ； * . 校准: 最多3点校正，4组预定义缓冲液 ；  * . 接口: RS * 接口； * . 数据储存: * 组数据存储

个

3

品目号

货物名称

主要技术参数

单位

数量

1

等离子体增强化学气相沉积系统

1. 加热系统

1.1最高温度： * oC（1小时）

1.2 炉膛材料：氧化铝、高温纤维制品

1.3 热电偶类型：K型热电偶

1.4 控温精度：±1oC

1.5 控温方式：(1) * 段可编程控温，PID参数自整定；(2) 操作界面为 * "工控电脑，内置PLC控制程序；(3) 可将温控系统、滑轨炉滑动（时间和距离）设定为程序控制。

1.6 加热长度： * + * mm

1.7 恒温长度： * + * mm

1.8 加热原件：电阻丝

1.9 供电电源：单相， * V， * Hz

1. *  额定功率：9KW

2. PE射频电源

  2.1 信号频率： * . * MHz ± 0. * %

2.2 功率输出范围：0~ * W

2.3 最大反射功率： * W

2.4 射频输出接口： * Ω, N-type, female

*2.5 射频范围：整管均匀

*2.6 等离子方向：可控制方向

2.7 功率稳定度：± 0.1%

2.8 谐波分量：≤- * dbc

2.9供电电压：单相交流（ * V- * V），频率 * / * Hz

2. * 整机效率：≥ * %

2. * 功率因素：≥ * %

2. * 冷却方式：强制风冷

3. * 路质子流量控制系统

  3.1连接头类型：双卡套不锈钢接头

*3.2标准量程（N2)： * sccm（两路，其中 * 路指定氢气（H2）标定）， * sccm（ * 路）

*3.3准确度：±1.5%

*3.4 线性：± 0.5～1.5%

*3.5重复精度：± 0.2%

*3.6响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性： * Sec

3.7工作压差范围：0.1～0.5 MPa

3.8最大压力：3MPa

3.9接口：Φ6，1/4

3. * 显示：4位数字显示

3. * 工作环境温度：5~ * 高纯气体

*3. * 压力真空表：－0.1～0. * MPa, 0. * MPa/格

3. * 截止阀：Φ6

3. *  内外双抛不锈钢管：Φ6

4. 低真空机组VAU- *

  4.1 空气相对湿度：≤ * %

4.2 工作环境：5℃～ * ℃

4.3 工作电压： * V± * %   * ~ * HZ

4.4 功率：1KW

*4.5 抽气速率： * m3/h

*4.6 极限真空：5× * -1Pa

4.7工作压力范围：1.0 * ～1. * × * -2Pa

4.8耐压值：0. * MPa

4.9容油量：1.1L

4. * 进气口口径：KF *

4. * 排气口口径：KF *

4. * 噪音： * dB

4. * 连接方式：采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

5. 电阻真空计

  5.1配用规管：ZJ- * T电阻规

  5.2测量范围： *  ～ * -1 Pa

  5.3测量路数：1路

  5.4控制范围：5× *  ～5× * -1 Pa

  5.5控制方式：继电器触点输出，负载能力AC * V/3A无感负载

  5.6电源： * V± * % * Hz

5.7功耗： * W

台

1

2

柔性基底 * 维材料沉积系统

1. 加热系统

1.1预热器

1.1.1 工作温度： * ℃

1.1.2 最高温度： * ℃

1.1.3 最快升温速率： * ℃/min

1.1.4 推荐升温速率： * ℃/min

1.1.5控温方式：智能化 * 段可编程控制

1.1.6 工作电压：AC *  V

1.1.7 额定功率： * W

1.1.8 控温精度：±1℃

加热元件：电阻丝

1.2 双温区真空管式炉BTF- * C-II

    1.2.1 加热元件：电阻丝
1.2.2加热区长度： * + * mm
1.2.3 恒温区长度： * + * mm
1.2.4 工作温度≤ * ℃
1.2.5 最高温度： * ℃
1.2.6 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化 * 段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
1.2.7 控温精度:±1℃

1.2.8 炉门结构：开启式
1.2.9 工作电源：AC 点击查看>> V Single Phase， * / * Hz

额定功率：9KW

1.2. *  密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式 (略) 嘴接头）端口可按实际使用扩展。

2. (略) 分

  2.1 信号频率： * . * MHz ± 0. * %

*2.2 功率输出范围：0~ * W

2.3 最大反射功率： * W

2.4 射频输出接口： * Ω, N-type, female

*2.5 射频范围：整管均匀

*2.6 等离子方向：可控制方向

2.7 功率稳定度：± 0.1%

2.8 谐波分量：≤- * dbc

2.9供电电压：单相交流（ * V- * V），频率 * / * Hz

2. * 整机效率：≥ * %

2. * 功率因素：≥ * %

2. * 冷却方式：强制风冷

3. * 路供气系统GMF-3Z

3.1 工作电压： * ~ * V， * Hz

3.2最大输出功率： * W

3.3流量计标准量程： * sccm（两路，其中 * 路指定氢气标定）， * sccm（ * 路）

3.4工作温度：4~ * ℃

3.5工作压差：0.1~0.5Mpa

3.6最大压力：3Mpa

3.7准确度：±1.5%F.S

3.8压力表测量范围：-0.1~0. * MPa（0. * MPa/grid）

3.9针阀： * 不锈钢

3. * 混气罐：Φ * * * mm

3. * 截止阀：Φ6mm

4. 真空系统VAU- *

  4.1空气相对湿度≤ * %

4.2工作电电压： * V± * % * ~ * HZ

4.3功率：1千瓦

4.4抽气速率： * m3/h

4.5极限真空：4× * -2Pa

4.6实验真空度：1.0× * -1Pa

4.7容油量：1.1L

4.8进气口口径：KF *

4.9排气口口径：KF *

4. * 转速： * rpm

4. * 噪音： * dB

台

1

3

元素型纯水制水系统

1. 基本技术参数：

1.1电源: * V/ * HZ   * W；环境温度:5- * 度 ；湿度: * %- * %

1.2进水水源：城市自来水，TDS< * ppm，水温5- * ℃，水压0. * -0.4MPa

1.3取水速率：1-1.5L/min

*1.4出水水质：（两种水质）

   Ⅲ级纯水：电导率<5μs/ * 5℃；符合中国GB 点击查看>> 的III级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；

I级超纯水：比电阻达到 * . * MΩ. * 5℃；符合中国GB 点击查看>> 的I级水标准和ASTM CAP NCCLS标准；

微生物<1cfu/ml　

热源含量:<0. * EU/ml，微粒(大于0. * μm)含量：＜1/ml

吸光度( * nm,1cm光程):≤0. * ，可溶性硅［以(SiO2)计］：＜0. * ppm

重金属含量 点击查看>> ):＜0. *

2. 技术特点：

系统主要由M (略) 理系统单元、反渗透系统单元、超纯水系统输送单元、控制系统构成，设备全自动控制，自动产水，水满自动停机停电停水。

2. (略) 理包：作用是滤除原水中细小颗粒、悬浮物、胶体等杂质，降低进水浊度，防止RO膜被污堵；

2.2反渗透膜：采用美国原产反渗透膜，双级反渗透，更能有效去除水中的各类盐离子，有机物，细菌，病毒，脱盐除菌率达 * %以上；

2.3膜片纯水输送泵：采用MOL纯水专用输送泵，超纯水取水速度快，可达每分钟1-1.5升；

2.4 UV灯：采用 * nm紫外光除去系统中的细菌；

2.5超纯化包：采用美国超纯水专用离子交换树脂及特殊流路设计，超纯化效率高，能有效去除水中的痕量离子物质，保证水质稳定；

2.6终端微滤：用0. * 微米孔径的滤膜或者中空纤维滤膜，滤除大于0. * 微米的污染物，使微粒(大于0. * μm)含量：＜1/ml.

3.产品质量和服务：

3.1严格按照ISO * 质量体系设计生产，保证设备安装后性能、技术符合要求；

3.2负责设备安装调试、负责用户操作人员的技术与操作培训等；

3.3供应商须具有本地化服务，如果设备发生故障，承诺1小时内对用户的服务要求做出响应，并4小时内解决问题；

3.4设备验收合格起质保期为十 * 个月。质保期内，免费更换正常情况下损坏零配件和提供全免费保修；质保期后，设备终身维修及零配件及时供应，配件均给予优惠价格，终身维护。

套

1

4

酸度计

1. mV范围 : - * to *

2. mV相对精确性: ± 1

3. mV分辨率: 1

4. pH测量范围: 0. * to * . *

5. 相对pH精度: ± 0. *

6. pH分辨率: 0. *

7. 温度精度°C: ± 0.5

8. 温度范围 °C: 0.0 to * .0

9. 温度分辨率 °C: 0.1

* . 显示器: LCD

* . 校准: 最多3点校正，4组预定义缓冲液

* . 接口: RS * 接口,

* . 数据储存: * 组数据存储

个

1

5

耐腐蚀加热磁力搅拌器

1. 性能

*1.1采用 * 体成型的玻璃陶瓷材质方形盘面，特殊钢化玻璃，保证化学耐腐蚀性和使用安全性

*1.2 * 体化的定时/ 计时功能，让控制动态反应或灵敏反应更加简单直接, 粘度变化趋势测量

*1.3提供终身保修，提供实时更新的固件升级，具有RS * 接口和USB接口

2. 技术参数

*2.1最大搅拌量：≥ * L（水）

2.2速度范围： * - * rpm

2.5加热速度：1升H2O in H * )，5 K/min

2.4加热温度范围： * - * °C

2.5加热温度控制精确度  1±K

*2.6固定安全温度回路 * °C

2.7外接温度传感器接口PT * 、ETS-D5、ETS-D6

2.7带传感器控温精确度0.5 ±K

2.8温度测量精确性温度偏差±0.2(DIN IEC * Class A) K

*3. 配置要求

控制型搅拌器主机、温度传感器、磁力搅拌子、支杆。

4. 保质及售后服务

*为了保证良好的售后服务， (略) 家在 (略) 设有办事机构或者常驻员工， (略) (略) 调试安装服务，仪器到货后，厂家工程师在收到用户的书面通知后7个工作日之内到用户地点安装。

调试： (略) 购仪器在安装 (略) 安装后应按照安装调试的检验标准正常运转。

现场培训： (略) 家的专业技术人员 (略) 仪器基本操作、日常维护、常见故障分析 (略) 培训，并提供操作说明。

保修期内：

仪器整机要求发生故障5小时内反应，1 (略) ， * 周内解决问题，以 (略) 。

保修期外：在中国国内或当地 (略) 提供仪器使 (略) 有的服务，包括备用零件及消耗品和维修。

** (略) 家针对本项目的授权及售后服务承诺

台

3