澄清或变更简要说明：深紫外线曝光设备：简要技术说明修改内容为：分辨率： * 纳米；线性曝光功率：≧ * mW/cm2；步进精度：3σ≦ * nm；
晶圆涂胶和显影设备：简要技术说明修改内容为：ADH控温精度： * .0至 * .0°C±0. * .6°C
* .1至 * .0°C±0. * .0°C
* .1至 * .0°C±1. * .5°C
HCP控温精度： * .0至 * .0°C±0.2°C
HHP控温精度： * .0至 * .0°C±0. * .0°C
* .1至 * .0°C±0. * .5°C
* .1至 * .0°C±1. * .0°C
3 本次招标的合格投标人应同时满足下列资格要求：第6）条修改为：投标 (略) (略) 必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有深紫外线(DUV)曝光设备、晶圆涂胶和显影设备的整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:招标内容为：深紫外曝光设备：1台/套和晶圆涂胶和显影设备：1台/套。
资金到位或资金来源落实情况: (略) 需的资金来源已经落实
(略) 条件的说明:拟采购的设备已通过进口论证
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>>
招标项目名称:张江实验室（ (略) 上 (略) ）硅光子市级重大专项 * mm硅光中试 (略) 重新招标
项目实施地点:中国 (略) 市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	深紫外线曝光设备	1	分辨率： * 纳米扫描速率：每秒 * 毫米镜头失真：± * 纳米以内最大曝光区域：水平 * .0毫米，垂直 * .0毫米聚焦水平重复性：3σ≦ * 纳米聚焦校准重复性：3σ≦ * 纳米线性曝光功率：≧ * mW/cm2整合剂量控制精度：±1.2％光罩旋转精度：｜M｜+3σ≦ * nm对准精度：｜M｜+ 3σ≦ * nm， 3σ≦ * nm步进精度：3σ≦ * nm
2	晶圆涂胶和显影设备	1	喷嘴流量：0.8-1.5 cc化学液温度及控温精度： * .0~ * .0 ± 0.2°C光刻胶厚误差：<= * ？ADH控温精度： * .0至 * .0°C±0.6°C * .1至 * .0°C±1.0°C * .1至 * .0°C±1.5°CHCP控温精度： * .0至 * .0°C±0.2°CHHP控温精度： * .0至 * .0°C±1.0°C * .1至 * .0°C±1.5°C * .1至 * .0°C±2.0°CCHP控温精度： * .0至 * .0°C±0.4°C * .1至 * .0°C±0.6°C * .1至 * .0°C±1.0°CPHP控温精度： * .0至 * .0°C±0.4°C * .1至 * .0°C±0.6°C * .1至 * .0°C±1.0°C

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1） 投标人须是投标货物的制造商，或是再制造企业，或是取得有效授权的代理商。(若是再制造企业，应当具备 (略) 需的必备条件（见质检检函[ * 号“关于规范进口再制造用途旧机电产品检验监管工作的通知”的附件“申请再制造企业登记必备条件”）， (略) 在地检验检疫机构申请登记；若是代理商，须提供由投标货物制造商或再制造企业出具的针对本项目的书面唯 * 授权书及售后服务授权书。)；
2） 投标货物可以是全新设备，也可以是再制造后的旧设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明（若为旧设备，须提供设备的生产年份和序列号，且须符合国家建设循环经济和再制造产业发展的要求，通过先进工艺技术和产业化生产可以恢复原设计性能。）；
3） (略) 投标活动提供 (略) (略) 上平台（ (略) 网，网址为：http:/ 点击查看>> ）上完成有效注册；
4） 投标人应为符合《 (略) 投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照或其他相关登记证明文件）；
5） 投标人近 * 年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反 (略) 为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）；
6） 投标 (略) (略) 必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有深紫外线(DUV)曝光设备、晶圆涂胶和显影设备的整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；
7） 投标人提供的投标货物必须为自有机台，须提供自有机台真实性证明（ (略) 属证明，down-payment，不接受LOI）， (略) 人对机台 (略) 查验；
8） 本项目不接受联合体投标。

是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 楼
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点:中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 楼第4会议室
开标地点:中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 楼第4会议室
6、 (略) 网上完成注册。 (略) 网公示。
7、联系方式
招标人: (略) 上 (略)
地址: (略) 市 (略) 区海科路 * 号
联系人:陈洁
联系方式: 点击查看>>
招标代理机构: (略) 有限公司
地址:中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 、 * 楼
联系人:赵丽莉
联系方式: * - * - 点击查看>> × *
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):



澄清或变更简要说明：深紫外线曝光设备：简要技术说明修改内容为：分辨率： * 纳米；线性曝光功率：≧ * mW/cm2；步进精度：3σ≦ * nm；
晶圆涂胶和显影设备：简要技术说明修改内容为：ADH控温精度： * .0至 * .0°C±0. * .6°C
* .1至 * .0°C±0. * .0°C
* .1至 * .0°C±1. * .5°C
HCP控温精度： * .0至 * .0°C±0.2°C
HHP控温精度： * .0至 * .0°C±0. * .0°C
* .1至 * .0°C±0. * .5°C
* .1至 * .0°C±1. * .0°C
3 本次招标的合格投标人应同时满足下列资格要求：第6）条修改为：投标 (略) (略) 必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有深紫外线(DUV)曝光设备、晶圆涂胶和显影设备的整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:招标内容为：深紫外曝光设备：1台/套和晶圆涂胶和显影设备：1台/套。
资金到位或资金来源落实情况: (略) 需的资金来源已经落实
(略) 条件的说明:拟采购的设备已通过进口论证
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>>
招标项目名称:张江实验室（ (略) 上 (略) ）硅光子市级重大专项 * mm硅光中试 (略) 重新招标
项目实施地点:中国 (略) 市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	深紫外线曝光设备	1	分辨率： * 纳米扫描速率：每秒 * 毫米镜头失真：± * 纳米以内最大曝光区域：水平 * .0毫米，垂直 * .0毫米聚焦水平重复性：3σ≦ * 纳米聚焦校准重复性：3σ≦ * 纳米线性曝光功率：≧ * mW/cm2整合剂量控制精度：±1.2％光罩旋转精度：｜M｜+3σ≦ * nm对准精度：｜M｜+ 3σ≦ * nm， 3σ≦ * nm步进精度：3σ≦ * nm
2	晶圆涂胶和显影设备	1	喷嘴流量：0.8-1.5 cc化学液温度及控温精度： * .0~ * .0 ± 0.2°C光刻胶厚误差：<= * ？ADH控温精度： * .0至 * .0°C±0.6°C * .1至 * .0°C±1.0°C * .1至 * .0°C±1.5°CHCP控温精度： * .0至 * .0°C±0.2°CHHP控温精度： * .0至 * .0°C±1.0°C * .1至 * .0°C±1.5°C * .1至 * .0°C±2.0°CCHP控温精度： * .0至 * .0°C±0.4°C * .1至 * .0°C±0.6°C * .1至 * .0°C±1.0°CPHP控温精度： * .0至 * .0°C±0.4°C * .1至 * .0°C±0.6°C * .1至 * .0°C±1.0°C

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1） 投标人须是投标货物的制造商，或是再制造企业，或是取得有效授权的代理商。(若是再制造企业，应当具备 (略) 需的必备条件（见质检检函[ * 号“关于规范进口再制造用途旧机电产品检验监管工作的通知”的附件“申请再制造企业登记必备条件”）， (略) 在地检验检疫机构申请登记；若是代理商，须提供由投标货物制造商或再制造企业出具的针对本项目的书面唯 * 授权书及售后服务授权书。)；
2） 投标货物可以是全新设备，也可以是再制造后的旧设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明（若为旧设备，须提供设备的生产年份和序列号，且须符合国家建设循环经济和再制造产业发展的要求，通过先进工艺技术和产业化生产可以恢复原设计性能。）；
3） (略) 投标活动提供 (略) (略) 上平台（ (略) 网，网址为：http:/ 点击查看>> ）上完成有效注册；
4） 投标人应为符合《 (略) 投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照或其他相关登记证明文件）；
5） 投标人近 * 年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反 (略) 为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）；
6） 投标 (略) (略) 必须的设备和半导体专业技术能力，投标人须具有深紫外线(DUV)曝光设备、晶圆涂胶和显影设备的整机直接供货和装机经验（须提供机台验收证明文件或用户证明文件）；
7） 投标人提供的投标货物必须为自有机台，须提供自有机台真实性证明（ (略) 属证明，down-payment，不接受LOI）， (略) 人对机台 (略) 查验；
8） 本项目不接受联合体投标。

是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 楼
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点:中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 楼第4会议室
开标地点:中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 楼第4会议室
6、 (略) 网上完成注册。 (略) 网公示。
7、联系方式
招标人: (略) 上 (略)
地址: (略) 市 (略) 区海科路 * 号
联系人:陈洁
联系方式: 点击查看>>
招标代理机构: (略) 有限公司
地址:中国 (略) 西路 * 号美丽园大厦 * 、 * 楼
联系人:赵丽莉
联系方式: * - * - 点击查看>> × *
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):

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