序号

名称

技术参数

（含质保要求）

数量

单位

备注

1

半导体参数测试仪

1.1 系统配置2个高精度SMU，技术指标：

1.1.1 2个SMU的电流测量分辨率≤0.1 fA；测量精度≤ * fA；最大直流电流≥1A，最大脉冲电流≥3A；

1.1.2 第1个SMU的电流测量范围不低于 * fA -1A；

1.1.3 第2个SMU的电流测量范围不低于 * fA -1A；

1.1.4 2个SMU的最大电压源≥ * V，最小电压测量分辨率≤0.1uV，电压测量精度≤ * uV；.最大直流功率≥ * W，最大脉冲功率≥ * W，脉冲模式下的最短脉冲宽度≤ * us；

1.2系统电容-电压（C-V）单元技术指标：

1.2.1频率范围：不低于4Hz-8MHz ，偏置电压不低于± * V；

1.2.2 可单独当做 * 个LCR表来用；

1.3 半导体参数测试仪含嵌入式工业级PC： Windows 7操作系统，本地硬盘 * G，多个USB接口，含全套测试软件，可以外接显示器。

1.4 测试软件要求：

1.4.1图形化全套测试软件，测试软件要求：

1.4.2简单易用，仅需点击鼠标即可完成器件测量；

1.4.3提供样板测量例程，提供绝大多数器件测量例程，包括但不限于：MOSFET，双极器件，晶体管器件，晶体管电容器，电阻器， * 极管；

1.4.4支持模型参数提取功能，能够实现从测量到提取的无缝化链接。

(1). 用于器件模型提取，内置快速的SPICE仿真器、先进的优化器和 (略) 的编程环境

(2). (略) 有标准模型

包括FinFET、BSIM-CMG、BSIM6、BSIM4，BSIM3、PSP、BSIMSOI、HiSIM、HSIM_HV、BJT G-P模型、Diode模型、Resistor模型和子电路模型。

1.4.5 测量数据实时记录数据库，确保数据安全，不丢失；

1

台

核心产品

2

探针台

1) 不低于4英寸 X- (略) 程；U型4点支撑台面；

2) 体式显微镜1套，总放大倍数不低于 * 倍，LED光源；

3) 探针座4个，要求X-Y-Z * 轴移动范围为大于等于 * mm，螺纹驱动方式，移动精度不低于3微米，线性移动，带磁性反转固定底座；

4) 管状探针杆3个，自带 * 轴线和转接头；

5) 真空泵1个，速率不低于7L/分钟；

1

台

核心产品

3

(略)

1)电位范围：± * V
2)电位控制精度：< ±1 mV
3)电位控制噪声：< 0. * mV
4)电位上升时间：< 1 微秒
5)槽压：± * V
6) * 电极或 * 电极设置
7)电流范围： * mA
8)参比电极输入阻抗：1e * 欧姆（±偏离3%）

9)参比电极输入带宽不低于：  * MHz
* )灵敏度：1e- *  - 0.1A/V共 * 档量程

* )输入偏置电流：< * pA
* )电流测量分辨率不低于：0. * 5%量程
* )CV的最小电位增量不高于：0.1 mV
* ）电位更新速率不低于： * M Hz
* ）自动电位和电流零位调整
* ）电位和电流测量低通滤波器,可自动或手动设置，

* ）能拓展扫描电化学显微镜功能
* ）最大数据长度： * , * 点 - 4, * , * 点可选择

* ）附件包括：电极线、USB通讯线、电源线

1

台

4

电子分析天平

1）称量范围：0- * g

2）可读性：0.1mg

3）秤盘尺寸： * mm

4）工作空间高度： * mm

1

台

5

真空干燥箱

1电源电压 * V，2控温范围PT+ * ~ * 度，3温度波动1度，4温度分辨率不低于0.1度，5输入功率 * 瓦，6真空度不低于 * Pa。

1

台

6

电热恒温鼓风干燥箱

1电源电压 * V，2控温范围PT+ * ~ * 度，3温度波动 * 度，4温度分辨率不低于0.1度，5输入功率不低于 * 瓦

1

台

7

数显式恒温油浴锅

1)容量：3L, 电源： * V/ * Hz， 功率： * W

2)控温类型：智能PID 控温范围：室温~ * ℃

3)内胆尺寸大于等于：直径 * * * mm

1

台

8

氙灯冷光源

1）电源电压：AC * V- * V  * Hz- * Hz
2）灯泡功率： * W×1
3）像平面照度不低于： 点击查看>> Lx
4）灯泡使用寿命不低于： * h
5）外型尺寸： * × * × * （mm）（±偏离3%）

1

台

9

磁力搅拌器

1）电源：AC * V * Hz

2）搅拌转速大于等于： * ~ * r/min

3）最大搅拌量大于等于： * ml

4）电机转距： * mN·m

5）最长定时： * 分钟

6）加热盘尺寸大于等于：φ * mm

7）定时精度：1分钟（±偏离3%）

8）液体控温范围：室温~ * ℃（ * ml内）

1

台

*

高强度紫外灯

1）紫外波长： 点击查看>> nm（峰值 * nm）

2）中心紫外强度：4, * μW/cm2  ( * mm距离)

3）紫外光源： * 瓦 金属卤素灯泡

4）滤色片尺寸： * .0 X * .9cm（±偏离3%）

5）外形尺寸： * .1L X * .5W X * .5cmH（±偏离3%）

1

台

*

超声波清洗器

1）仪器外尺寸大于等于：长 * mm宽 * mm高 * mm

2）清洗槽尺寸大于等于：长 * mm宽 * mm高 * mm

3）清洗槽容量：3L

4）超声功率： * W，功率可调： * - * (%)

5）超声频率： * KHz

6）加热功率： * W，温度可调：0- * ℃，

7） 时间可调：1- * min

8） 有排水阀，配排水软管

9.） (略) 架

* .电源： * V/ * Hz

1

台

*

数字存储示波器

* MHz/4通道,通道数 4 ,最大存储器深度不低于4 Mpts,最大采样率不低于5 GSa/s,显示屏尺寸大于等于:8.5英寸的电容触控,

波形更新速率不低于1, * , * wfms/s,

ADC 位数不低于8 位,3 位 DVM, * MHz AWG 8 位计数器,8 位计数器

1

台

*

便携式高精度万用表

不低于4.5位高分辨率， * 0计数，基本直流电压准确度不低于0. * %。1/4VGA显示。同时可以显示多组数据。

1

台

*

精密数字万用表

具体参数：不低于6位半分辨率；基本直流电压准确度： * ppm；?双参数显示； * ?A至 * A电流量程，分辨力不低于 * pA；宽电阻量程从 * Ω至1GΩ，分辨力不低于 * ?Ω；2线，4线和专利的2x4线电阻测量技术；可测量频率和周期；测量电容和温度；USB存储器接口；图形显示功能；趋势绘图功能无纸记录测量数值，统计信息，直方图；安全标准为CAT I * V，CAT II  *  V。

1

台

*

新能源变换电能测量功分仪

具体参数：功率精度达到0. * %以上，  (略) 不低于 * 次谐波分析，不低于2MS/s( * 位) (略) 多达6输入通道的同步测量，高分辨率8.4英寸XGA显示器，可以将数据存储、打印并可将其保存到USB等存储设备，含ATE测试系统软件（主要测试项目包含：辅助电源测试、参数设置、待机功耗测试、序号时间等参数设置、绝缘阻抗校准与检测、输入电压电流参数校正、输出电压电流参数校正、输入输出特性测试、显示误差测试、转换效率、MPPT追踪精度测试、过欠压、欠频功能测试、过欠压、欠频警告时间测试、全天光照强度变化模拟测试等）。

1

台

核心产品

*

红外热像仪

具体参数：采用具有对准即拍的简便性，快速扫描大面积区域，图像质量 不低于 * x * 分辨率（ * 0 像素）， D:S 为 * :1， 3.5 英寸， * x * LCD，不低于 5 兆像素数字照相机，智能电池系统 – 带有 5 格 LED 电量水平显示的锂离子智能电池，可存储上至少千张图像 –包含不低于 4GB 内置存储卡和可选 不低于4 GB 微型 SD 卡

1

台

*

电脑

主板芯片组类型：Q * ；CPU型号：Intel Core i7- * ；内存选择8GB；硬盘选择容量：1TB；内置光驱：8倍速 DVD±RW；显卡选择2GB 独立显卡；显卡芯片描述AMD Radeon R7  *   (略) 卡 * / 点击查看>> (略) 网络接口适配器；键盘、鼠标光电鼠标、标准键盘；显示器屏幕尺寸 * .5英寸 LED；显示器屏幕长宽比例 * :9；操作系统正版Windows操作系统

3

台

*

打印机

打印黑色文本(A4)：约 * 页ppm*2，约 * ipm*3

打印分辨率： * x * dpi （带有智能墨滴变换技术）

首页输出时间：约9s*2

进纸器容量： * 页，A4普通纸（ * g/m2）

打印机接口：USB接口: 高速USB（兼容USB2.0）; (略) 络: * BASE-TX/ * BASE-T; (略) 络: IEEE * . * b/g/n

1

台

序号

名称

技术参数

（含质保要求）

数量

单位

备注

1

半导体参数测试仪

1.1 系统配置2个高精度SMU，技术指标：

1.1.1 2个SMU的电流测量分辨率≤0.1 fA；测量精度≤ * fA；最大直流电流≥1A，最大脉冲电流≥3A；

1.1.2 第1个SMU的电流测量范围不低于 * fA -1A；

1.1.3 第2个SMU的电流测量范围不低于 * fA -1A；

1.1.4 2个SMU的最大电压源≥ * V，最小电压测量分辨率≤0.1uV，电压测量精度≤ * uV；.最大直流功率≥ * W，最大脉冲功率≥ * W，脉冲模式下的最短脉冲宽度≤ * us；

1.2系统电容-电压（C-V）单元技术指标：

1.2.1频率范围：不低于4Hz-8MHz ，偏置电压不低于± * V；

1.2.2 可单独当做 * 个LCR表来用；

1.3 半导体参数测试仪含嵌入式工业级PC： Windows 7操作系统，本地硬盘 * G，多个USB接口，含全套测试软件，可以外接显示器。

1.4 测试软件要求：

1.4.1图形化全套测试软件，测试软件要求：

1.4.2简单易用，仅需点击鼠标即可完成器件测量；

1.4.3提供样板测量例程，提供绝大多数器件测量例程，包括但不限于：MOSFET，双极器件，晶体管器件，晶体管电容器，电阻器， * 极管；

1.4.4支持模型参数提取功能，能够实现从测量到提取的无缝化链接。

(1). 用于器件模型提取，内置快速的SPICE仿真器、先进的优化器和 (略) 的编程环境

(2). (略) 有标准模型

包括FinFET、BSIM-CMG、BSIM6、BSIM4，BSIM3、PSP、BSIMSOI、HiSIM、HSIM_HV、BJT G-P模型、Diode模型、Resistor模型和子电路模型。

1.4.5 测量数据实时记录数据库，确保数据安全，不丢失；

1

台

核心产品

2

探针台

1) 不低于4英寸 X- (略) 程；U型4点支撑台面；

2) 体式显微镜1套，总放大倍数不低于 * 倍，LED光源；

3) 探针座4个，要求X-Y-Z * 轴移动范围为大于等于 * mm，螺纹驱动方式，移动精度不低于3微米，线性移动，带磁性反转固定底座；

4) 管状探针杆3个，自带 * 轴线和转接头；

5) 真空泵1个，速率不低于7L/分钟；

1

台

核心产品

3

(略)

1)电位范围：± * V
2)电位控制精度：< ±1 mV
3)电位控制噪声：< 0. * mV
4)电位上升时间：< 1 微秒
5)槽压：± * V
6) * 电极或 * 电极设置
7)电流范围： * mA
8)参比电极输入阻抗：1e * 欧姆（±偏离3%）

9)参比电极输入带宽不低于：  * MHz
* )灵敏度：1e- *  - 0.1A/V共 * 档量程

* )输入偏置电流：< * pA
* )电流测量分辨率不低于：0. * 5%量程
* )CV的最小电位增量不高于：0.1 mV
* ）电位更新速率不低于： * M Hz
* ）自动电位和电流零位调整
* ）电位和电流测量低通滤波器,可自动或手动设置，

* ）能拓展扫描电化学显微镜功能
* ）最大数据长度： * , * 点 - 4, * , * 点可选择

* ）附件包括：电极线、USB通讯线、电源线

1

台

4

电子分析天平

1）称量范围：0- * g

2）可读性：0.1mg

3）秤盘尺寸： * mm

4）工作空间高度： * mm

1

台

5

真空干燥箱

1电源电压 * V，2控温范围PT+ * ~ * 度，3温度波动1度，4温度分辨率不低于0.1度，5输入功率 * 瓦，6真空度不低于 * Pa。

1

台

6

电热恒温鼓风干燥箱

1电源电压 * V，2控温范围PT+ * ~ * 度，3温度波动 * 度，4温度分辨率不低于0.1度，5输入功率不低于 * 瓦

1

台

7

数显式恒温油浴锅

1)容量：3L, 电源： * V/ * Hz， 功率： * W

2)控温类型：智能PID 控温范围：室温~ * ℃

3)内胆尺寸大于等于：直径 * * * mm

1

台

8

氙灯冷光源

1）电源电压：AC * V- * V  * Hz- * Hz
2）灯泡功率： * W×1
3）像平面照度不低于： 点击查看>> Lx
4）灯泡使用寿命不低于： * h
5）外型尺寸： * × * × * （mm）（±偏离3%）

1

台

9

磁力搅拌器

1）电源：AC * V * Hz

2）搅拌转速大于等于： * ~ * r/min

3）最大搅拌量大于等于： * ml

4）电机转距： * mN·m

5）最长定时： * 分钟

6）加热盘尺寸大于等于：φ * mm

7）定时精度：1分钟（±偏离3%）

8）液体控温范围：室温~ * ℃（ * ml内）

1

台

*

高强度紫外灯

1）紫外波长： 点击查看>> nm（峰值 * nm）

2）中心紫外强度：4, * μW/cm2  ( * mm距离)

3）紫外光源： * 瓦 金属卤素灯泡

4）滤色片尺寸： * .0 X * .9cm（±偏离3%）

5）外形尺寸： * .1L X * .5W X * .5cmH（±偏离3%）

1

台

*

超声波清洗器

1）仪器外尺寸大于等于：长 * mm宽 * mm高 * mm

2）清洗槽尺寸大于等于：长 * mm宽 * mm高 * mm

3）清洗槽容量：3L

4）超声功率： * W，功率可调： * - * (%)

5）超声频率： * KHz

6）加热功率： * W，温度可调：0- * ℃，

7） 时间可调：1- * min

8） 有排水阀，配排水软管

9.） (略) 架

* .电源： * V/ * Hz

1

台

*

数字存储示波器

* MHz/4通道,通道数 4 ,最大存储器深度不低于4 Mpts,最大采样率不低于5 GSa/s,显示屏尺寸大于等于:8.5英寸的电容触控,

波形更新速率不低于1, * , * wfms/s,

ADC 位数不低于8 位,3 位 DVM, * MHz AWG 8 位计数器,8 位计数器

1

台

*

便携式高精度万用表

不低于4.5位高分辨率， * 0计数，基本直流电压准确度不低于0. * %。1/4VGA显示。同时可以显示多组数据。

1

台

*

精密数字万用表

具体参数：不低于6位半分辨率；基本直流电压准确度： * ppm；?双参数显示； * ?A至 * A电流量程，分辨力不低于 * pA；宽电阻量程从 * Ω至1GΩ，分辨力不低于 * ?Ω；2线，4线和专利的2x4线电阻测量技术；可测量频率和周期；测量电容和温度；USB存储器接口；图形显示功能；趋势绘图功能无纸记录测量数值，统计信息，直方图；安全标准为CAT I * V，CAT II  *  V。

1

台

*

新能源变换电能测量功分仪

具体参数：功率精度达到0. * %以上，  (略) 不低于 * 次谐波分析，不低于2MS/s( * 位) (略) 多达6输入通道的同步测量，高分辨率8.4英寸XGA显示器，可以将数据存储、打印并可将其保存到USB等存储设备，含ATE测试系统软件（主要测试项目包含：辅助电源测试、参数设置、待机功耗测试、序号时间等参数设置、绝缘阻抗校准与检测、输入电压电流参数校正、输出电压电流参数校正、输入输出特性测试、显示误差测试、转换效率、MPPT追踪精度测试、过欠压、欠频功能测试、过欠压、欠频警告时间测试、全天光照强度变化模拟测试等）。

1

台

核心产品

*

红外热像仪

具体参数：采用具有对准即拍的简便性，快速扫描大面积区域，图像质量 不低于 * x * 分辨率（ * 0 像素）， D:S 为 * :1， 3.5 英寸， * x * LCD，不低于 5 兆像素数字照相机，智能电池系统 – 带有 5 格 LED 电量水平显示的锂离子智能电池，可存储上至少千张图像 –包含不低于 4GB 内置存储卡和可选 不低于4 GB 微型 SD 卡

1

台

*

电脑

主板芯片组类型：Q * ；CPU型号：Intel Core i7- * ；内存选择8GB；硬盘选择容量：1TB；内置光驱：8倍速 DVD±RW；显卡选择2GB 独立显卡；显卡芯片描述AMD Radeon R7  *   (略) 卡 * / 点击查看>> (略) 网络接口适配器；键盘、鼠标光电鼠标、标准键盘；显示器屏幕尺寸 * .5英寸 LED；显示器屏幕长宽比例 * :9；操作系统正版Windows操作系统

3

台

*

打印机

打印黑色文本(A4)：约 * 页ppm*2，约 * ipm*3

打印分辨率： * x * dpi （带有智能墨滴变换技术）

首页输出时间：约9s*2

进纸器容量： * 页，A4普通纸（ * g/m2）

打印机接口：USB接口: 高速USB（兼容USB2.0）; (略) 络: * BASE-TX/ * BASE-T; (略) 络: IEEE * . * b/g/n

1

台