序号

设备及主要配件名称

设备参数及说明

1

温度指标

1、温度范围：5~ * K（液氦）； * ~ * K（液氮）。

2、制冷形式：需要消耗液氮或液氦。

3、控温精度：优于± *  mK。

4、*在 * 个探针臂前端加装温度传感器，以便实时监视探针臂与样品台的温差，避免探针臂与样品的温差过高时扎针而引入不必要的测量误差。

5、  * 台 * * 通道温控仪，分别对样品台、防辐射屏、 (略) 控温或测温。

6、*两次热沉设计：探针臂热沉在防辐射屏上、探针通过陶瓷片热沉在样品台上，尽可能的提高系统温度稳定性，降低探针与样品台的温差。

7、防辐射屏上安装加热器， (略) 快速回温。

2

电测指标

1、*直流探针带镀银Guard保护设计，配合同轴电缆及 * 同轴接头真正实现从仪表测试端到探针的全量程Guard保护。且直流臂加装直流探针后，系统漏电流＜ * V（配合带前置放大器的 * 或性能相当的仪表测量）。

2、*具有带Guard保护的直流柔性探针，柔性探针在△T＜ * K时无需抬针落针，可得到连续的变温测试数据。 * /B * 内置有探针台 * 温控仪的控制程序，可与探针台温控仪协调工作，实现变温测试时的自动测量。

3、直流探针匹配阻抗为 * 欧姆，为射频RF测量提供很好的匹配阻抗，同时电缆也具有与探针相同的匹配阻抗。

4、 * 个直流臂直流臂可实现DC- * MHz电学测试， * 个光纤臂用于做光学实验。

5、 * 个1. * 英寸的接地样品座和 * 个2英寸的 * 同轴样品座， * 同轴样 (略) 通偏压。

3

其它指标

1、真空指标：基础温度：<5 × * -5 Torr 。

2、分子泵组的前级泵为涡旋式干泵，抽速不小于3m3/h。

3、探针臂的可移动距离：X方向2英寸，Y方向1英寸，Z方向0.7英寸。

4、显微镜系统光学分辨率：优于4μm。照明灯采用环形光和轴型光。

5、以后可升级高温选件，最高温度 * k。

6、制造商要有 * 年以上制造经验。

7、*本项目不接受非标定制的产品。所投标产品必须 (略) 上有公开的产品型号及参数信息。 (略) 投标产品的 (略) 公布的参数， (略) 理。

4

探针台主机 * 台

1、4个DC- * MHz的探针臂、探针夹具及电缆

2、1个光纤臂通光波长为 * 到 * nm

3、带红外吸收窗口的防辐射屏

4、光学系统：放大倍数为 * 倍的显微镜、CCD相机、可摆动的显微镜手臂、显示器

5、样品照明：带同轴灯和环形灯

6、液氮和液氦共用的传输管线

7、 * 个1. * 英寸的接地样品座, * 个2英寸的 * 同轴样品座

8、培训用探针：2个 * 微米半径的铍铜探针

             2 个 * 微米半径的钨探针

             2个 * 微米半径的柔性钨探针

5

其它配件

1、3微米半径的钨探针 * 个

2、 * 微米半径的柔性钨探针4个

3、 *  L进口液氮杜瓦1个

4、分子泵组 * 台：包含分子泵、涡旋式干泵、全量程真空计、控制器和接口电缆

5、探针台和分子泵之间的连接件 * 套

序号

设备及主要配件名称

设备参数及说明

1

整体系统构成清单

1台半导体特性分析系统主机，

2个高分辨率中功率源测量单元，

1个电流前置放大器，

1个1KHz- * MHz 电容—电压测量单元，

1个自动测试转换模块，

1个超高速脉冲测量模块，

2个远程前置放大器/开关模块，

1个外演示装置，

2根测试线缆。

典型应用

MOSFET, BJT 晶体管，材料表征，非易失性存储设备，电阻率系数和霍尔效应测量，NBTI/PBTI，III-V 族器件，失效分析，纳米器件， * 极管和pn 联结，太阳能电池，传感器，MEMS 器件，电化学，LED 和OLED

2

半导 (略) 分功能指标

最大电压源 * V；电压源设定分辨率5μV；

▲高分辨率中功率源测量单元，最大电压 * V，最大电流 * mA，最大功率2W；

▲高分辨率高功率源测量单元，最大电压 * V，最大电流1A，最大功率 * W；

▲电流前置放大器，可扩展电流测量分辨率到0.1fA，精度 * fA；

电容—电压模块带宽：1KHz- * MHz偏置电压：± * V

多通道开关模块主要测量：DC I-V 和C-V 自动切换；

超快速脉冲测量单元主要测量：

远程前段放大器/开关模块主要测量：DC I-V、C-V、脉冲式I-V间自动切换

3

附件、备件以及技术资料

(略) 几乎任何类型的I-V、C-V 和脉冲式I-V 表征测试。设备使用说明书及维修手册使用说明书、维修手册、部件详细清单等；

(略) 有软件（光盘）以及软件使用说明书；

(略) 提供仪器是专为买方 (略) 利用成熟技术制造的全新最新型产品，不涉及到专利纠纷等法律条款。关键重要器件应是国外优质产品，保证产品质量符合相应的国际标准、国家标准、行业标准。

序号

设备及主要配件名称

设备参数及说明

1

温度指标

1、温度范围：5~ * K（液氦）； * ~ * K（液氮）。

2、制冷形式：需要消耗液氮或液氦。

3、控温精度：优于± *  mK。

4、*在 * 个探针臂前端加装温度传感器，以便实时监视探针臂与样品台的温差，避免探针臂与样品的温差过高时扎针而引入不必要的测量误差。

5、  * 台 * * 通道温控仪，分别对样品台、防辐射屏、 (略) 控温或测温。

6、*两次热沉设计：探针臂热沉在防辐射屏上、探针通过陶瓷片热沉在样品台上，尽可能的提高系统温度稳定性，降低探针与样品台的温差。

7、防辐射屏上安装加热器， (略) 快速回温。

2

电测指标

1、*直流探针带镀银Guard保护设计，配合同轴电缆及 * 同轴接头真正实现从仪表测试端到探针的全量程Guard保护。且直流臂加装直流探针后，系统漏电流＜ * V（配合带前置放大器的 * 或性能相当的仪表测量）。

2、*具有带Guard保护的直流柔性探针，柔性探针在△T＜ * K时无需抬针落针，可得到连续的变温测试数据。 * /B * 内置有探针台 * 温控仪的控制程序，可与探针台温控仪协调工作，实现变温测试时的自动测量。

3、直流探针匹配阻抗为 * 欧姆，为射频RF测量提供很好的匹配阻抗，同时电缆也具有与探针相同的匹配阻抗。

4、 * 个直流臂直流臂可实现DC- * MHz电学测试， * 个光纤臂用于做光学实验。

5、 * 个1. * 英寸的接地样品座和 * 个2英寸的 * 同轴样品座， * 同轴样 (略) 通偏压。

3

其它指标

1、真空指标：基础温度：<5 × * -5 Torr 。

2、分子泵组的前级泵为涡旋式干泵，抽速不小于3m3/h。

3、探针臂的可移动距离：X方向2英寸，Y方向1英寸，Z方向0.7英寸。

4、显微镜系统光学分辨率：优于4μm。照明灯采用环形光和轴型光。

5、以后可升级高温选件，最高温度 * k。

6、制造商要有 * 年以上制造经验。

7、*本项目不接受非标定制的产品。所投标产品必须 (略) 上有公开的产品型号及参数信息。 (略) 投标产品的 (略) 公布的参数， (略) 理。

4

探针台主机 * 台

1、4个DC- * MHz的探针臂、探针夹具及电缆

2、1个光纤臂通光波长为 * 到 * nm

3、带红外吸收窗口的防辐射屏

4、光学系统：放大倍数为 * 倍的显微镜、CCD相机、可摆动的显微镜手臂、显示器

5、样品照明：带同轴灯和环形灯

6、液氮和液氦共用的传输管线

7、 * 个1. * 英寸的接地样品座, * 个2英寸的 * 同轴样品座

8、培训用探针：2个 * 微米半径的铍铜探针

             2 个 * 微米半径的钨探针

             2个 * 微米半径的柔性钨探针

5

其它配件

1、3微米半径的钨探针 * 个

2、 * 微米半径的柔性钨探针4个

3、 *  L进口液氮杜瓦1个

4、分子泵组 * 台：包含分子泵、涡旋式干泵、全量程真空计、控制器和接口电缆

5、探针台和分子泵之间的连接件 * 套

序号

设备及主要配件名称

设备参数及说明

1

整体系统构成清单

1台半导体特性分析系统主机，

2个高分辨率中功率源测量单元，

1个电流前置放大器，

1个1KHz- * MHz 电容—电压测量单元，

1个自动测试转换模块，

1个超高速脉冲测量模块，

2个远程前置放大器/开关模块，

1个外演示装置，

2根测试线缆。

典型应用

MOSFET, BJT 晶体管，材料表征，非易失性存储设备，电阻率系数和霍尔效应测量，NBTI/PBTI，III-V 族器件，失效分析，纳米器件， * 极管和pn 联结，太阳能电池，传感器，MEMS 器件，电化学，LED 和OLED

2

半导 (略) 分功能指标

最大电压源 * V；电压源设定分辨率5μV；

▲高分辨率中功率源测量单元，最大电压 * V，最大电流 * mA，最大功率2W；

▲高分辨率高功率源测量单元，最大电压 * V，最大电流1A，最大功率 * W；

▲电流前置放大器，可扩展电流测量分辨率到0.1fA，精度 * fA；

电容—电压模块带宽：1KHz- * MHz偏置电压：± * V

多通道开关模块主要测量：DC I-V 和C-V 自动切换；

超快速脉冲测量单元主要测量：

远程前段放大器/开关模块主要测量：DC I-V、C-V、脉冲式I-V间自动切换

3

附件、备件以及技术资料

(略) 几乎任何类型的I-V、C-V 和脉冲式I-V 表征测试。设备使用说明书及维修手册使用说明书、维修手册、部件详细清单等；

(略) 有软件（光盘）以及软件使用说明书；

(略) 提供仪器是专为买方 (略) 利用成熟技术制造的全新最新型产品，不涉及到专利纠纷等法律条款。关键重要器件应是国外优质产品，保证产品质量符合相应的国际标准、国家标准、行业标准。