电子束物理气相沉积设备国际招标澄清或变更公告(5)0730-18401E010103
电子束物理气相沉积设备国际招标澄清或变更公告(5)0730-18401E010103
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电子束物理气相沉积设备 | 1台 | 电子束枪:4把;沉积用坩埚:2个 ;电子束枪加速电压: * - * kV;单把电子束枪最大功率:≥ * kW;工作转速:0- * rpm;主沉积室极限真空度:不大于1.0 * -3Pa ;压升率:不大于0. * Pa/h。 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电子束物理气相沉积设备 | 1台 | 电子束枪:4把;沉积用坩埚:2个 ;电子束枪加速电压: * - * kV;单把电子束枪最大功率:≥ * kW;工作转速:0- * rpm;主沉积室极限真空度:不大于1.0 * -3Pa ;压升率:不大于0. * Pa/h。 |
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