中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等离子体低温掺杂膜沉积系统采购项目国际招标澄清或变更公告(2)0709-194035614002
澄清或变更简要说明：开标时间变更为 * 号上午 * : *
(略) (略) ，于
点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:为满足国家在半导体激光器领域的重大战略需求，近年来实验室大功率半导体激光学科在新型半导体激光器及其混合集成方面发展迅速，对 * 些特殊膜沉积工艺要求越来越高。 (略) 重大创新项目“窄线宽半导体激光技术研究”的研究中，不仅如传统激光器工艺 * 样需要多次生长氧化硅或氮化硅薄膜做掩膜或绝缘层，还需要研制外腔氧化硅波导光栅，波导芯层厚度要求为3-4μm，上下包层厚度要求为5- * μm不等，既能满足与 (略) 模式匹配 (略) 泄露，同时要求芯层材料折射率可调，整个波导采用无应力沉积。另外，在高深宽比光栅刻蚀方面，需要在高深宽比刻蚀图形上均匀沉积薄膜。在有机无机混合集成激光器方面，沉积工艺温度不能过高防止聚合物变性。上述研究方向对实验室原有PECVD的功能提出了严峻的挑战，该设备采用气相沉积原理沉积速度非常慢，不适合波导层制备，并且随着厚度增加应力增加，没有折射率调整功能，且沉积温度为 * ℃不可调，无法实现上述研究方向对特殊薄膜沉积的需要。因此，本项目等离子体低温掺杂膜沉积系统是基于以上需求提出并实施的。
资金到位或资金来源落实情况:招标人已拥有资金/ (略) 后所签订合同项下的款项
(略) 条件的说明:招标人资金已就位，具备招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:
点击查看>> 招标项目名称: (略) (略) 光学精密机械 (略) 等离子体低温掺杂膜沉积系统采购项目
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 等离子体低温掺杂膜沉积系统 | 1套 | *2.4 上、下电极： 铝制上电极，可加热到最高 * 度；铝制下电极，上面放置石英盖板，可处理4英寸样品，可加热到最高 * 度。 *2.5射频源： 射频源包括射频发生器、并配置自动匹配单元，采用阴极匹配方式（Cathode coupled）以实现更高的沉积速率，下电极连接射频源，频率 * . * MHz，功率≥ * W；反射功率小于5W。 *2.6 气路系统： （1）气体管路：不少于 * 路气体管路，包括SiH4,NH3,N2,O2,CF4等工艺气体；每路气路均配有质量流量计MFC、颗粒过滤器和气动截止阀； （2）液体管路；配置TEOS液体tank并加满TEOS液态源， * 不锈钢制，容量大于等于 * ml；tank带加热系统，可以加热到 * ~ * 度；管路配置相应的质量流量计MFC，金属密封，VCR接头；tank具有过热保护功能； （3）Ge参杂工艺管路：配置TMG液体tank并加满TMG液态源， * 不锈钢制，容量大于等于 * ml；tank带加热系统，可以加热到 * ~ * 度；管路配置响应的质量流量计MFC，金属密封，VCR接头；tank并且具有过热保护功能。 | |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应具备的资格或业绩：投标人应具备的资格或业绩：1 (略) 、 (略) 文件并参加投标竞争的法人或其他组织。 (略) 文件的法人或其他组织均不得参加投标。 2 除非另有规定，凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区(以下简称“合格来源国/地区”)的法人或其他组织均可投标。 3 (略) 公正性的法人或其他组织不得参加投标。 4 (略) 文件编制的法人或其他组织不得参加受托项目的投标，也不得为该项目的投标人编制投标文 (略) 。 5 单位负责人为同 * 人或者存在控股、管理关系的不同单位， (略) 项目包投标。 6 本项目不接受联合体投标。 7 只有在法律上和财务上独立、 (略) 机构的供货人才能参加投标。 8 (略) 文件载明的投标截止时间前在（以下简称“ (略) ”，网址：http://）成功注册（免费）。否则， (略) 程序，由此产生的 (略) 承担。 9 投 (略) 投设备生产、系统集成与销售的合法企业，可以 (略) (略) 商授权的总代理；如为代理商，须提供制造商针对本项目及产品的授权书原件。 * (略) 文件并登记备案， (略) 。 * 本项目不允许转包、分包。 * 投标人须在法律和财务上独立、 (略) 代理机构， (略) (略) (略) 或其附属机构有任何关联； * 投标人须承诺（承诺函格式自拟，须加盖投标人公章），招标人在其本国使用投标人提供的货物时，不存在任何已知的不合法的情形，也不存在任何已知的与第 * 方专利权、著作权、商标权或工业设计权相关的任何争议； (略) 人使用投标人提供的货物而提起的侵权指控，投标人 (略) 责任。 * 投标人的投标不符合法律、法规或招标文件中规定的其他实质性要求的，其投标将被否决或 (略) 理。 注：投 (略) 文件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:
点击查看>> 招标文件领购结束时间:
点击查看>> 是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点： (略) 区西直门外大街6号中仪大厦 *
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:
点击查看>> * : *
投标文件送达地点: (略) 省 (略) 市东南湖大路 * (略) (略) 光学精密机械 (略) 专家公寓 * 楼会议室
开标地点: (略) 省 (略) 市东南湖大路 * (略) (略) 光学精密机械 (略) 专家公寓 * 楼会议室
6、投标人在投标 (略) （
http:/ 点击查看>> ） (略) 投标电子交易平台（
http://）完成注册及信息核验。评标结 (略) 和公示。
7、联系方式
招标人: (略) (略) 光学精密机械 (略)
地址: (略) 省 (略) 市东南湖大路 * 号
联系人:李老师
联系方式:
点击查看>> 招标代理机构:中国 (略) 有限公司
地址: (略) 区西直门外大街6号
联系人:张经理 陶经理
联系方式:
点击查看>> 8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):
澄清或变更简要说明：开标时间变更为 * 号上午 * : *
(略) (略) ，于
点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:为满足国家在半导体激光器领域的重大战略需求，近年来实验室大功率半导体激光学科在新型半导体激光器及其混合集成方面发展迅速，对 * 些特殊膜沉积工艺要求越来越高。 (略) 重大创新项目“窄线宽半导体激光技术研究”的研究中，不仅如传统激光器工艺 * 样需要多次生长氧化硅或氮化硅薄膜做掩膜或绝缘层，还需要研制外腔氧化硅波导光栅，波导芯层厚度要求为3-4μm，上下包层厚度要求为5- * μm不等，既能满足与 (略) 模式匹配 (略) 泄露，同时要求芯层材料折射率可调，整个波导采用无应力沉积。另外，在高深宽比光栅刻蚀方面，需要在高深宽比刻蚀图形上均匀沉积薄膜。在有机无机混合集成激光器方面，沉积工艺温度不能过高防止聚合物变性。上述研究方向对实验室原有PECVD的功能提出了严峻的挑战，该设备采用气相沉积原理沉积速度非常慢，不适合波导层制备，并且随着厚度增加应力增加，没有折射率调整功能，且沉积温度为 * ℃不可调，无法实现上述研究方向对特殊薄膜沉积的需要。因此，本项目等离子体低温掺杂膜沉积系统是基于以上需求提出并实施的。
资金到位或资金来源落实情况:招标人已拥有资金/ (略) 后所签订合同项下的款项
(略) 条件的说明:招标人资金已就位，具备招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:
点击查看>> 招标项目名称: (略) (略) 光学精密机械 (略) 等离子体低温掺杂膜沉积系统采购项目
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 等离子体低温掺杂膜沉积系统 | 1套 | *2.4 上、下电极： 铝制上电极，可加热到最高 * 度；铝制下电极，上面放置石英盖板，可处理4英寸样品，可加热到最高 * 度。 *2.5射频源： 射频源包括射频发生器、并配置自动匹配单元，采用阴极匹配方式（Cathode coupled）以实现更高的沉积速率，下电极连接射频源，频率 * . * MHz，功率≥ * W；反射功率小于5W。 *2.6 气路系统： （1）气体管路：不少于 * 路气体管路，包括SiH4,NH3,N2,O2,CF4等工艺气体；每路气路均配有质量流量计MFC、颗粒过滤器和气动截止阀； （2）液体管路；配置TEOS液体tank并加满TEOS液态源， * 不锈钢制，容量大于等于 * ml；tank带加热系统，可以加热到 * ~ * 度；管路配置相应的质量流量计MFC，金属密封，VCR接头；tank具有过热保护功能； （3）Ge参杂工艺管路：配置TMG液体tank并加满TMG液态源， * 不锈钢制，容量大于等于 * ml；tank带加热系统，可以加热到 * ~ * 度；管路配置响应的质量流量计MFC，金属密封，VCR接头；tank并且具有过热保护功能。 | |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应具备的资格或业绩：投标人应具备的资格或业绩：1 (略) 、 (略) 文件并参加投标竞争的法人或其他组织。 (略) 文件的法人或其他组织均不得参加投标。 2 除非另有规定，凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区(以下简称“合格来源国/地区”)的法人或其他组织均可投标。 3 (略) 公正性的法人或其他组织不得参加投标。 4 (略) 文件编制的法人或其他组织不得参加受托项目的投标，也不得为该项目的投标人编制投标文 (略) 。 5 单位负责人为同 * 人或者存在控股、管理关系的不同单位， (略) 项目包投标。 6 本项目不接受联合体投标。 7 只有在法律上和财务上独立、 (略) 机构的供货人才能参加投标。 8 (略) 文件载明的投标截止时间前在（以下简称“ (略) ”，网址：http://）成功注册（免费）。否则， (略) 程序，由此产生的 (略) 承担。 9 投 (略) 投设备生产、系统集成与销售的合法企业，可以 (略) (略) 商授权的总代理；如为代理商，须提供制造商针对本项目及产品的授权书原件。 * (略) 文件并登记备案， (略) 。 * 本项目不允许转包、分包。 * 投标人须在法律和财务上独立、 (略) 代理机构， (略) (略) (略) 或其附属机构有任何关联； * 投标人须承诺（承诺函格式自拟，须加盖投标人公章），招标人在其本国使用投标人提供的货物时，不存在任何已知的不合法的情形，也不存在任何已知的与第 * 方专利权、著作权、商标权或工业设计权相关的任何争议； (略) 人使用投标人提供的货物而提起的侵权指控，投标人 (略) 责任。 * 投标人的投标不符合法律、法规或招标文件中规定的其他实质性要求的，其投标将被否决或 (略) 理。 注：投 (略) 文件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:
点击查看>> 招标文件领购结束时间:
点击查看>> 是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点： (略) 区西直门外大街6号中仪大厦 *
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:
点击查看>> * : *
投标文件送达地点: (略) 省 (略) 市东南湖大路 * (略) (略) 光学精密机械 (略) 专家公寓 * 楼会议室
开标地点: (略) 省 (略) 市东南湖大路 * (略) (略) 光学精密机械 (略) 专家公寓 * 楼会议室
6、投标人在投标 (略) （
http:/ 点击查看>> ） (略) 投标电子交易平台（
http://）完成注册及信息核验。评标结 (略) 和公示。
7、联系方式
招标人: (略) (略) 光学精密机械 (略)
地址: (略) 省 (略) 市东南湖大路 * 号
联系人:李老师
联系方式:
点击查看>> 招标代理机构:中国 (略) 有限公司
地址: (略) 区西直门外大街6号
联系人:张经理 陶经理
联系方式:
点击查看>> 8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):
发送至邮箱
