一期气体输送、侦测系统（GMS）及尾气处理器设计、及安装招标变更
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一期气体输送、侦测系统（GMS）及尾气处理器设计、及安装招标变更
各潜在投标人：
由我司代理的 (略) (略) * 期气体输送、侦测系统（GMS） (略) 理器设计、采购及安装项目（项目编号： * AT 点击查看>> ）做如下补遗，请各潜在投标人据此编制投标文件：
1、请确认附件H特气系统工器具清单是否属于报价范围内。
回复：在本包范围内，由承包商免费提供。
2、纯化器技术规格里面没有PN2 * SLPM技术要求，标单中有2台。，请确认以哪个为准？
回复：数量为2台，安装于外延间PN2主管路， (略) 人的纯化 (略) 。
3、请确认气体系统 * 项测试是否需要第 * 方测试认证。
回复：不需要第 * 方认证，由承包人按照技术要求中的 (略) 测试后出具测试报告，，并对测试报告负责。
4、请确认GO2&GH2是否可以使用SUS * L BA材质规格。
回复：可以采用SS * L BA材质，见 * 层设备平面布 (略) 分 (略) 分。
5、材料品牌表中气体品质分析仪均为水分分析仪品牌，请招标方提供氧分分析仪品牌。
回复：补充氧份仪品牌美国DELTA-F。
6、请确认TSC/H2鼓泡器设备是否可使用自有品牌。
回复：需按照招 (略) 。
7、根据相关规范气柜入口管道消防水管不小于DN * , 图纸消防水系统管径尺寸不符合相关规范要求，请确认。
回复：请提供规范名称及条款约定，如确有要求，管道依据规范要求做相应调整， (略) 更新图纸及工程标单。
8、 (略) 是否可采用组合阀， * 通阀， * 通阀设计。采用该设计方案目的减少死角，保证气体品质，请确认。
回复：按招标人提 (略) 。
9、UM表中没有气体流量需求，请招标方提供，以便复核系统供应能力。
回复：工艺用气流量参数暂不明确。
* 、UM表中“立式LPCVD”有PH3需求。技术要求中仅有 * %PH3/N2系统需求，无PH3系统需求，请确认是否需要PH3系统。
回复：:PH3需求与 * %PH3/N2需求相同，均采用 * %PH3/N2。
* 、UM表中“氧化炉”有BH3气体需求，技术要求中无此系统，请确认是否需要BH3系统。
回复：BH3需求为B2H6。
* 、技术要求中有B2H6系统需求，UM表中无此系统需求，请确认是否需要B2H6系统。
回复：同上条回复。
* 、技术要求中，HBr系统管道采用单管SS * L EP，管道伴热图纸中无伴热，请确认管道是否需要伴热。建议不用伴热，采用双套管设计。
回复：HBr系统无管道伴热，采用单管。
* 、技术要求中，HCl系统管道采用单管SS * L EP，管道伴热，请确认管道是否需要伴热。。
回复：HCL系统管道不用伴热。
* 、技术要求中，C2H4系统管道采用采用双套管设计，请确认C2H4系统是否双套管设计，建议采用单管设计。
回复：C2H4属危险性易燃易爆气体，按招标图纸双套管设计。
* 、技术要求中，HCL&HBr系统气源均为GR，请确认，建议采用GC。
回复：HCL&HBr系统气源采用全自动GC。
* 、技术要求中，N2O&CO2&C4F8&CF4&CHF3&SF6系统气源均为GC，请确认，建议采用GR。
回复：N2O&CO2&C4F8&CF4&CHF3&SF6系统气源均为半自动GC，因气体均有微毒性，按照 (略) 。
* 、 (略) (略) 房管道段是否需要室外保温，请确认。
回复：不需保温。
* 、 (略) 对接工作是否在工作范围之内，请确认。
回复：属于本包范围，招标人 (略) (略) 的 (略) 房外1m，预留接口后端的工程均属于本包范围。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * . 外套管压力开关（IPS）干接点反馈至气柜PLC。PLC * V 双冗余配置。此处PLC * V 双冗余配置。是指压力开关信号冗余，还是PLC柜内电源冗余即可？
回复：压力开关信号需按单独系统反馈，在PLC中需做冗余配置，以便后期用气扩充。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * .Heater均配置漏电保护器件，起到保护上游主电盘的作用。加热箱配置漏电装置可能会导致频繁跳闸，标准设备是装备保险丝回路，保护上游电源的。
回复：按照 (略) 。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.1紧急状况时提供手动/自动关闭阀门功能及广播警告，GDS/GMS架构见图纸；广播语音联动信号GDS是预留点位，还是要敷设电缆至消防语音系统控制箱？GDS/GMS架构附件只是侦测器采集的PID图纸，是否需要 (略) 络架构图？。
回复：预留点位即可，项目已有广播系统； (略) 络架构图 (略) 后深化设计，本次招标仅提供GMS P&ID图纸。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.2? 点级的故 (略) 级的诊断检测数据时标功能；此处点级的故 (略) 级的诊断检测数据时标功能；是指PLC模块的通道故障报警反馈么？
回复：图控上可显示PLC的点位故障报告。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.4? 2. ★PLC采用冗余设计，预留 * %容量，GMS系统CPU冗余设计，IO模块是否需要冗余？
回复：需要，预留后期扩充使用。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 电盘的点里输入/输出的故障信号应该输出到SCADA。此处电盘的点是指电盘开关的故障信号么？主电盘是否需要配置多功能表，采集用电量数据？
回复：SCADA需能显示电源故障信号，主电盘不需要配置多功能表。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.7紧急关闭按钮 EMO?采用常闭接点（NC）的方式， 防止误报 (略) 气瓶柜，在DI卡上选择 * 个判断点，并且在PLC程式中做判断。只采用常闭接点（NC）的方式，防止误报警是否不妥。建议采用 * 路常开， * 路常闭。两个触点接入系统。
回复：请按照规范要求。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.8? 信号：每种气体侦测器都可提供控制单元(PLC) * 段报警输出信号、 * 段报警输出信号，以及仪表故障输出信号。同时气体泄漏读值可通过侦测器本身自带的4～ * mA模拟量输出接点提供给控制单元(PLC)。此处气体侦测器输入PLC的类型请明确。
回复： * 段报警须接干接点，其余 * 段及故障点讯号透过4- * ma讯号判断。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.4 CQC气体品质监测系统。CQC气体品质监测系统，是否并入GMS-Scada。
回复：不用并入GMS-SCADA，属于工艺日常监测内容。
* 、全费用清单里：
此处使用AB- * CPU报价，不满足PLC采用冗余设计，不支持支持带电插拔功能，模块未采用机架式安装，不支 (略) 络。请确认是否按照清单报价？组态软件具体规格（运行版、开发版）请确认？
回复：按照工程标单报价，PLC需能扩充，采用IP通讯协议，考虑后期扩充使用，组态软件需采用开放式的完整版，且承包方需无偿提供源代码。
* 、 (略) 理器，纯化器信号是否需要接入GMS系统，请确认。
回复：需要。
* 、本项目是否包含地震仪的设计、供应和安装，请确认。
回复：本包不含地震仪。
* 、标单中侦测器 * 颗，图纸 * 颗，并且不同气体种类的侦测器也无法对应，请确认以哪 * 个为准。
回复：按照侦测配置清 (略) ， * 层清晰键合区CO2 (略) 增加 * 颗O2环境点，侦测器共 * 颗。
* 、标单中A-3. * &A-3. * 中5%O2/He VMP分别为1进3出与1进6出，图纸对应系统VMP分别为1进2出与1进5出，请确认以哪 * 个为准。
回复：此两台VMP为黄光区使用，以PID图纸为准，分别为 * 进2出， * 进5出。
* 、标单中A-3. * He VMP规格1进4出,3/8"x1/4"，但无具体数量，图纸中也无此项VMP，请确认是否需要此规格VMP设备。
回复：不需此规格VMP，以图纸为准。
* 、标单中A-3. * &A-3. * &A-3. * 中C4F8 VMP分别为1进3出、1进2出、1进2出共计 * 台，图纸对应系统VMP分别为1进2出与1进5出共计两台，请确认以哪 * 个为准。
回复：以图纸为准。
* 、标单中A-3. * 中Ar VMP1进5出，图纸对应系统VMP为1进6出，请确认以哪 * 个为准。
回复：以图纸为准。
* 、标单中A- * . * 中GN2 Valve stand 阀门组 3/8"为 * 个，图纸为 * 个，请确认以哪 * 个为准。
回复：以标单为准。
* 、标单中A- * . * 中PN2 Valve stand 阀门组1/4"为 * 个，图纸为5个，请确认以哪 * 个为准。
回复：依据图纸为准， (略) 统计。
* 、标单中NH3、BCL3、DCS管道伴热系统分别为 * 套、4套、4套，数量过多且与图纸不符，请确认以哪 * 个为准。
回复：招标人设计方案时加热带按照 * m为 * 个通道， * 套伴热控制 * 个通道，故伴热系统套数较多， (略) 设计加热带分段米数配置伴热系统，但需保证加热效果，保证使用功能。
* 、utility 图纸中GN2 GC 气动进气口均为两个，GC设备图纸气动进气口为 * 个，请确认以哪 * 个为准。
回复：GN2 utility中分为气动及文丘里两种用途，设备图纸中显示的为文丘里用GN2，气动用GN2在电控系统内，本次招标未提供电控系统图纸， (略) 误解，GN2接口按照utili (略) 。
* 、技术要求文件中，5.2辅助系统工作界面未界定local scrubber CDA系统工作界面，请确认此项内容是否属于工作范围。
回复：发包人负责将CDA预留进房间1m留阀门，本包承包方负责预留阀门至local scrubber间的管道。
* 、技术要求文件中，5.2辅助系统工作界面未界定local scrubber Drain系统工作界面，请确认此项内容是否属于工作范围。
回复：local scrubber Drain属于本包范围内，因使用频次低，local scrubber Drain可排入房间地沟的预埋管道内。
* 、需求表有BH3需求，图纸无此系统流程图，请确认是否需要此系统。
回复：BH3需求统 * 为B2H6需求，参见B2H6 P&ID。
* 、需求表有PH3需求，图纸无此系统流程图，请确认是否需要此系统。
回复：BH3需求统 * 为B2H6需求，参见B2H6 P&ID。
* 、。图纸有B2H6流程图，需求表中无此系统需求，请确认是否需要此系统。
回复：B2H6为BH3需求，参见B2H6 P&ID。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，★6.1.1基本配置:外套管压力开关（IPS）干接点反馈至气柜PLC
问题：请明确该干接点是接入气柜控制系统，由GMS系统读取该信号点还是直接接入GMS系统？。
回复： (略) 属气柜控制系统，由GMS系统读取。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，★6.2 VMB配置及安装技术要求：4sticks及以下的VMB采用单开门，4sticks以上的VMB采用双开门
问题：单开门占地空间较大，VM (略) 做成双开门的形式，外观整体统。
回复： (略) 后，依据VMB的布置空间再决定单开门与双开门的型式，但不调整工程价格。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，★钢瓶、盘面及管路配 (略) 件，盘面与管路上温度控制箱独立设置，盘面左右支路独立。 * m加热线配置 * 个温控箱，温度控制采用E5CC,温度报警讯号回到监控系统
问题：请明确加热箱的实时温度要不要接入GMS系统，还是按照此项要求只将加热箱的报警信号接入GMS系统中。。
回复：需将加热箱的实时温度及报警信号均接入GMS系统，以便运维人员及时发现故障问题。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，6.3.1 本工程范围包含:维护系统，报表系统，数据库系统， (略) 及子系统与FMCS中央 (略) 份， (略) 监视点的状态及数据经由 Ethernet 网络，送至FMCS中控室内，透过计算机 (略) 有的讯息 (略) 画面上；用于监测气体端使用特气泄露及供应状况。并于紧急状况时提供手动/自动关闭阀门功能及广播警告，GDS/GMS架构见图纸；
问题：紧急状况时提供手动/自动关闭阀门功能：实现此功能有两种方式，1）在上位机做相应设置，软件实现方案；2）在监控室做集中按钮箱，硬件实现方案；请明确实现此功能通过哪 * 种方案？。
回复：按照第 (略) ，即在上位机做相应设置，软件实现功能。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，6.3.2 ? 点级的故 (略) 级的诊断检测数据时标功能；
问题：请明 (略) 表达的具体内容。
回复：图控上可显示PLC的点位故障报告。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，6.3.5 ? 电盘的点里输入/输出的故障信号应该输出到SCADA
问题： (略) 的电盘故障信号是指UPS的故障信号吗？如果不是，那么明确电盘故障信号具体是指哪些？。
回复：电盘故障信号指本系统的总配电箱发生故障失电时、UPS故障无法运转时，SCADA界面需能显示相应故障报警。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，危险性气体柜设喷淋头接口、shutboy及AUTO guard。
问题：此处的AUTO guard是否指钢瓶防呆装置。
回复：AUTO guard指钢瓶接口防呆装置。
* 、GMS系统：Local scrubber的信号（故障，运行等）是否接入PLC？。
回复：需接入PLC。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目纯化系统技术要求6. * ，第 * 页4.5.2(1)对氩气的流量要求为 * NM3/H
问题：第 * 页(4)氩气纯化系要求流率为 * NM3/H。
回复：Ar purifier流量参数为 * NM3/h。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目纯化系统技术要求6. * ，第 * 页4.5.2(1)对氧气的流量要求为 * NM3/H
问题：第 * 页( * )氧气纯化系要求流率为 * NM3/H。
回复：O2 purifier流量参数为 * NM3/h。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目纯化系统技术要求6. * ，第 * 页4.5.2(1)对氧气的纯度要求为6N
问题：第 * 页( * )氧气纯化系要求流率为9N。
回复：O2 purifier纯度要求为6N。
* 、气体系统品牌表最终版7. * ，气体系统品牌表最终版7. * 中对材料写的“产地”
问题：此处 (略) 的所在地，还是指材料的原产地。 (略) 在 (略) ，材料价格有关税，运费的差异。。
回复：产地 指材料原产地。
* 、气体系统品牌表最终版7. * ，Scale(秤)品牌：Mettlertoledo，Gemtech，Setra，wika
问题：电子称的品牌是否可增加CAS（韩国）的品牌，此品 (略) 业也是常用品牌。
回复：不可增加， (略) 人提供的 (略) 选择。
* 、气体系统品牌表最终版7. * ，钢瓶自动关闭装置Cylinder Auto Shut-boy品牌：VS * MARK2,TYK
问题：shutboy的品牌是否增加VS * komyo（日本）品牌，此品 (略) 业也是常用品牌。
回复：不可增加， (略) 人提供的 (略) 选择。
* 、商务：附件H特气系统工具清单
问题：此 (略) 列较多，价格是否纳入此包？。
回复：由承包方免费提供。
* 、工程关键节点要求，只要求总工期为 * 个日历天。请提供送气及验收移交时间。
回复：具体工作的时间节点 (略) (略) 确认。
* 、C2H4 POU 流量是 0.1m3/h 还是 0.4m3/h ?标单与纯化规格书有矛盾。
回复：C2H4 POU流量是0.4nm3/h。
* 、C3H8 POU 流量是 0.1m3/h 还是 0.4m3/h ?标单与纯化规格书有矛盾。
回复：C3H8 POU 流量是 0.1m3/h 。
* 、无尘室内的气体设备（GC,VMB）的排气由 * 次配包负责连接？
回复：是，机电总包预留排风 (略) 有设备，由 * (略) 分配接管更为合理。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * .docx第 * 页中说明：仅气瓶柜钢瓶出口气动阀需具备远程关断功能，请问是否为VMB端或设备端泄露时仅需关断对应的上游气柜气动阀即可，VMB端不做远程关断功能？
回复：VMB段泄漏自动关断GC出口；‘仅气瓶柜钢瓶出口气动阀需具备远程关断功能’，此项描述是指在特气房出现泄漏情况，房间环境点联动失效但可读取泄漏值，由运维人员在SCADA界面远程关断钢瓶出口气动阀。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * .docx第 * 页中说明：气体泄漏读值可通过侦测器本身自带的4～ * mA模拟量输出接点提供给控制单元(PLC)。但全费用清单中规划的偵 (略) 路通讯（ (略) 线数量 * 7米），请问偵測器是否要求TCP/ (略) 路通讯？如不是那么偵測器的讯号线规格是否可更改标单中的规格数量？
回复：侦测器为TCP/ (略) 络通讯模式。
* 、偵測器的取样管是否可用PTFE材质？
回复：可以。
* 、PLC是否可增加施耐德品牌，目前图控软件Wonderware Intouch为 (略) 并购，施耐德的PLC直接支持Wonderware图控软件，可在Intouch上直接显 (略) 有状态，整合更方便。
回复：不可增加， (略) 人提供的 (略) 选择。
* 、全费用清单中显示的PLC为AB的元器件，此处是为参考，我司可按照常用品牌规划或是已指定AB的PLC？
回复：不指定AB的PLC，为参考。
* 、全费用清单中的线缆规格米数是否可变更按照 (略) 调整？
回复：可以。
* 、组态软件是否需要配置开发版？或是 (略) 版即可？
回复：需为开放式的完整版，承包方需提供源代码，以便招标人后期扩充。
* 、 * -VMB-3S-H2-POU，图纸支路有气动阀，是否改为手动？
回复：VMB进口主管配置气动阀，支路气动阀取消，改为手动阀。
* 、5%O2/He VMP，图纸 5S+2S 各 * 台，标单 6S+3S各 * 台 ，按那个为准？
回复：以图纸为准。
* 、C4F8 VMP，图纸2S+5S各1台，标单3S+2S 共3台，按那个为准？
回复：以图纸为准。
* 、标单A-3. * ，HE,数量空白。是否需要？
回复：He vmp ，1进4出，不需此规格vmp，以图纸为准。
* 、标单A-3. * ，H2 3/4”进1/2“出1台，是否改为配置1支路POU需求 ?
回复：是，请投标人核对设备图纸 * -VMB-3S-H2-POU。
* 、PID 是否按“ (略) 太赫兹-PID- * ”为准？
回复：是，招标人仅提供了 * 套“ (略) 太赫兹-PID- * ”。
* 、标单内的TAKE-OFF数量是否已包含 * %的余量？
回复： (略) 核对。
* 、防爆间设备需要EX认证, 是否接受Z-Purge方式？
回复：易燃易爆间电气设备须具有EX防爆。
* 、毒性/腐蚀性/燃烧性/自燃性气体使用EX认证的自调控加热带,标单内容没提到，按何者为准？
回复：结合标单中工程量，材料要求按照技术要求中描述为准。
* 、1/2“必须使用成品弯头？可否使用弯管方式？
回复：3/4’寸以 (略) 弯管方式，弯管半径需满足技术要求。
* 、3/8"*5/8"双套可否使用弯管？
回复： (略) 弯管方式，弯管半径需满足技术要求。
* 、请提供氧分析仪的规格；
水分仪NH3 * 台，N2,AR共用 * 台，H2 * 台；氧分仪是N2,AR共用 * 台，H2 * 台；但是图纸上写的是N2,AR,H2水氧共用，请确认何者为准？
回复：N2/AR/H2水分仪、氧份仪共用，H2测试VMB与N2/AR测试VMP单独设置。
* 、选样方式需要手动还是自动选样？
回复：手动选样即可，在界面上做成N2/H2/AR这 * 种选项，管道切换完成后手动选择测试气体种类再开始测试。
* 、是否采用两个机柜，H2/N2/AR * 个，NH3 * 个?
回复：N2/AR的测试采用共用VMP，H2的测试采用VMB，NH3测试采用VMB。
* 、CQC PID图内没有看到纯化器，安装纯化器 * 方面可以给机台做零点校准，确认机台零点是否准确，另 * 方便也可以在发生异常时，立刻判断是气体真实品质波动还是机台问题，请确认是否需要增加 ?
回复：不增加，本包CQC系统安装于外延灰区内，用于工艺生产人员日常监测气体品质用。
* 、关于仪器校正，DF * E需要定期做高点校正，外部高点校正用的钢瓶盘面是否包含本工程？
回复：仪器校正含在售后服务内。
* 、建议贵司整体采用Servomex的配置方案，针对纯化器后9N的气体，Meeco Tracer的精确度/误差（Accuracy）实际为4~6PPB（视不同Sa (略) 差别），可能无法满足贵司实际需求（1PPB）,方案如下：
? H2/N2/AR 中的水采用 DF * 选样检测，LDL 1PPB，精确度 1PPB，优于Meeco的4~6PPB
? H2/N2/AR 中的氧采用 DF * E选样检测，LDL * PPT，精确度0.1PPB
? NH3中的水采用DF * 单独检测，LDL * PPB，精确度5PPB，优于Tiger Optics的Halo-LP的 * 和9PPB
回复：H2/N2/AR中的水氧分析仪可以采用Servomex品牌，NH3中的水分析仪不可以采用。H2/N2/AR中的氧分析仪增加液空品牌。
说明：请个潜在投标人在信e采 (略) 下载完整的澄清文件附件： * AT 点击查看>> (略) (略) * 期气体输送、侦测系统（GMS） (略) 理器设计、采购及安装项目澄清文件.pdf
(略) (略) 有限公司
(略) 安天利信 (略)
* 日
各潜在投标人：
由我司代理的 (略) (略) * 期气体输送、侦测系统（GMS） (略) 理器设计、采购及安装项目（项目编号： * AT 点击查看>> ）做如下补遗，请各潜在投标人据此编制投标文件：
1、请确认附件H特气系统工器具清单是否属于报价范围内。
回复：在本包范围内，由承包商免费提供。
2、纯化器技术规格里面没有PN2 * SLPM技术要求，标单中有2台。，请确认以哪个为准？
回复：数量为2台，安装于外延间PN2主管路， (略) 人的纯化 (略) 。
3、请确认气体系统 * 项测试是否需要第 * 方测试认证。
回复：不需要第 * 方认证，由承包人按照技术要求中的 (略) 测试后出具测试报告，，并对测试报告负责。
4、请确认GO2&GH2是否可以使用SUS * L BA材质规格。
回复：可以采用SS * L BA材质，见 * 层设备平面布 (略) 分 (略) 分。
5、材料品牌表中气体品质分析仪均为水分分析仪品牌，请招标方提供氧分分析仪品牌。
回复：补充氧份仪品牌美国DELTA-F。
6、请确认TSC/H2鼓泡器设备是否可使用自有品牌。
回复：需按照招 (略) 。
7、根据相关规范气柜入口管道消防水管不小于DN * , 图纸消防水系统管径尺寸不符合相关规范要求，请确认。
回复：请提供规范名称及条款约定，如确有要求，管道依据规范要求做相应调整， (略) 更新图纸及工程标单。
8、 (略) 是否可采用组合阀， * 通阀， * 通阀设计。采用该设计方案目的减少死角，保证气体品质，请确认。
回复：按招标人提 (略) 。
9、UM表中没有气体流量需求，请招标方提供，以便复核系统供应能力。
回复：工艺用气流量参数暂不明确。
* 、UM表中“立式LPCVD”有PH3需求。技术要求中仅有 * %PH3/N2系统需求，无PH3系统需求，请确认是否需要PH3系统。
回复：:PH3需求与 * %PH3/N2需求相同，均采用 * %PH3/N2。
* 、UM表中“氧化炉”有BH3气体需求，技术要求中无此系统，请确认是否需要BH3系统。
回复：BH3需求为B2H6。
* 、技术要求中有B2H6系统需求，UM表中无此系统需求，请确认是否需要B2H6系统。
回复：同上条回复。
* 、技术要求中，HBr系统管道采用单管SS * L EP，管道伴热图纸中无伴热，请确认管道是否需要伴热。建议不用伴热，采用双套管设计。
回复：HBr系统无管道伴热，采用单管。
* 、技术要求中，HCl系统管道采用单管SS * L EP，管道伴热，请确认管道是否需要伴热。。
回复：HCL系统管道不用伴热。
* 、技术要求中，C2H4系统管道采用采用双套管设计，请确认C2H4系统是否双套管设计，建议采用单管设计。
回复：C2H4属危险性易燃易爆气体，按招标图纸双套管设计。
* 、技术要求中，HCL&HBr系统气源均为GR，请确认，建议采用GC。
回复：HCL&HBr系统气源采用全自动GC。
* 、技术要求中，N2O&CO2&C4F8&CF4&CHF3&SF6系统气源均为GC，请确认，建议采用GR。
回复：N2O&CO2&C4F8&CF4&CHF3&SF6系统气源均为半自动GC，因气体均有微毒性，按照 (略) 。
* 、 (略) (略) 房管道段是否需要室外保温，请确认。
回复：不需保温。
* 、 (略) 对接工作是否在工作范围之内，请确认。
回复：属于本包范围，招标人 (略) (略) 的 (略) 房外1m，预留接口后端的工程均属于本包范围。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * . 外套管压力开关（IPS）干接点反馈至气柜PLC。PLC * V 双冗余配置。此处PLC * V 双冗余配置。是指压力开关信号冗余，还是PLC柜内电源冗余即可？
回复：压力开关信号需按单独系统反馈，在PLC中需做冗余配置，以便后期用气扩充。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * .Heater均配置漏电保护器件，起到保护上游主电盘的作用。加热箱配置漏电装置可能会导致频繁跳闸，标准设备是装备保险丝回路，保护上游电源的。
回复：按照 (略) 。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.1紧急状况时提供手动/自动关闭阀门功能及广播警告，GDS/GMS架构见图纸；广播语音联动信号GDS是预留点位，还是要敷设电缆至消防语音系统控制箱？GDS/GMS架构附件只是侦测器采集的PID图纸，是否需要 (略) 络架构图？。
回复：预留点位即可，项目已有广播系统； (略) 络架构图 (略) 后深化设计，本次招标仅提供GMS P&ID图纸。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.2? 点级的故 (略) 级的诊断检测数据时标功能；此处点级的故 (略) 级的诊断检测数据时标功能；是指PLC模块的通道故障报警反馈么？
回复：图控上可显示PLC的点位故障报告。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.4? 2. ★PLC采用冗余设计，预留 * %容量，GMS系统CPU冗余设计，IO模块是否需要冗余？
回复：需要，预留后期扩充使用。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 电盘的点里输入/输出的故障信号应该输出到SCADA。此处电盘的点是指电盘开关的故障信号么？主电盘是否需要配置多功能表，采集用电量数据？
回复：SCADA需能显示电源故障信号，主电盘不需要配置多功能表。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.7紧急关闭按钮 EMO?采用常闭接点（NC）的方式， 防止误报 (略) 气瓶柜，在DI卡上选择 * 个判断点，并且在PLC程式中做判断。只采用常闭接点（NC）的方式，防止误报警是否不妥。建议采用 * 路常开， * 路常闭。两个触点接入系统。
回复：请按照规范要求。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.3.8? 信号：每种气体侦测器都可提供控制单元(PLC) * 段报警输出信号、 * 段报警输出信号，以及仪表故障输出信号。同时气体泄漏读值可通过侦测器本身自带的4～ * mA模拟量输出接点提供给控制单元(PLC)。此处气体侦测器输入PLC的类型请明确。
回复： * 段报警须接干接点，其余 * 段及故障点讯号透过4- * ma讯号判断。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求Page * 6.4 CQC气体品质监测系统。CQC气体品质监测系统，是否并入GMS-Scada。
回复：不用并入GMS-SCADA，属于工艺日常监测内容。
* 、全费用清单里：
此处使用AB- * CPU报价，不满足PLC采用冗余设计，不支持支持带电插拔功能，模块未采用机架式安装，不支 (略) 络。请确认是否按照清单报价？组态软件具体规格（运行版、开发版）请确认？
回复：按照工程标单报价，PLC需能扩充，采用IP通讯协议，考虑后期扩充使用，组态软件需采用开放式的完整版，且承包方需无偿提供源代码。
* 、 (略) 理器，纯化器信号是否需要接入GMS系统，请确认。
回复：需要。
* 、本项目是否包含地震仪的设计、供应和安装，请确认。
回复：本包不含地震仪。
* 、标单中侦测器 * 颗，图纸 * 颗，并且不同气体种类的侦测器也无法对应，请确认以哪 * 个为准。
回复：按照侦测配置清 (略) ， * 层清晰键合区CO2 (略) 增加 * 颗O2环境点，侦测器共 * 颗。
* 、标单中A-3. * &A-3. * 中5%O2/He VMP分别为1进3出与1进6出，图纸对应系统VMP分别为1进2出与1进5出，请确认以哪 * 个为准。
回复：此两台VMP为黄光区使用，以PID图纸为准，分别为 * 进2出， * 进5出。
* 、标单中A-3. * He VMP规格1进4出,3/8"x1/4"，但无具体数量，图纸中也无此项VMP，请确认是否需要此规格VMP设备。
回复：不需此规格VMP，以图纸为准。
* 、标单中A-3. * &A-3. * &A-3. * 中C4F8 VMP分别为1进3出、1进2出、1进2出共计 * 台，图纸对应系统VMP分别为1进2出与1进5出共计两台，请确认以哪 * 个为准。
回复：以图纸为准。
* 、标单中A-3. * 中Ar VMP1进5出，图纸对应系统VMP为1进6出，请确认以哪 * 个为准。
回复：以图纸为准。
* 、标单中A- * . * 中GN2 Valve stand 阀门组 3/8"为 * 个，图纸为 * 个，请确认以哪 * 个为准。
回复：以标单为准。
* 、标单中A- * . * 中PN2 Valve stand 阀门组1/4"为 * 个，图纸为5个，请确认以哪 * 个为准。
回复：依据图纸为准， (略) 统计。
* 、标单中NH3、BCL3、DCS管道伴热系统分别为 * 套、4套、4套，数量过多且与图纸不符，请确认以哪 * 个为准。
回复：招标人设计方案时加热带按照 * m为 * 个通道， * 套伴热控制 * 个通道，故伴热系统套数较多， (略) 设计加热带分段米数配置伴热系统，但需保证加热效果，保证使用功能。
* 、utility 图纸中GN2 GC 气动进气口均为两个，GC设备图纸气动进气口为 * 个，请确认以哪 * 个为准。
回复：GN2 utility中分为气动及文丘里两种用途，设备图纸中显示的为文丘里用GN2，气动用GN2在电控系统内，本次招标未提供电控系统图纸， (略) 误解，GN2接口按照utili (略) 。
* 、技术要求文件中，5.2辅助系统工作界面未界定local scrubber CDA系统工作界面，请确认此项内容是否属于工作范围。
回复：发包人负责将CDA预留进房间1m留阀门，本包承包方负责预留阀门至local scrubber间的管道。
* 、技术要求文件中，5.2辅助系统工作界面未界定local scrubber Drain系统工作界面，请确认此项内容是否属于工作范围。
回复：local scrubber Drain属于本包范围内，因使用频次低，local scrubber Drain可排入房间地沟的预埋管道内。
* 、需求表有BH3需求，图纸无此系统流程图，请确认是否需要此系统。
回复：BH3需求统 * 为B2H6需求，参见B2H6 P&ID。
* 、需求表有PH3需求，图纸无此系统流程图，请确认是否需要此系统。
回复：BH3需求统 * 为B2H6需求，参见B2H6 P&ID。
* 、。图纸有B2H6流程图，需求表中无此系统需求，请确认是否需要此系统。
回复：B2H6为BH3需求，参见B2H6 P&ID。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，★6.1.1基本配置:外套管压力开关（IPS）干接点反馈至气柜PLC
问题：请明确该干接点是接入气柜控制系统，由GMS系统读取该信号点还是直接接入GMS系统？。
回复： (略) 属气柜控制系统，由GMS系统读取。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，★6.2 VMB配置及安装技术要求：4sticks及以下的VMB采用单开门，4sticks以上的VMB采用双开门
问题：单开门占地空间较大，VM (略) 做成双开门的形式，外观整体统。
回复： (略) 后，依据VMB的布置空间再决定单开门与双开门的型式，但不调整工程价格。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，★钢瓶、盘面及管路配 (略) 件，盘面与管路上温度控制箱独立设置，盘面左右支路独立。 * m加热线配置 * 个温控箱，温度控制采用E5CC,温度报警讯号回到监控系统
问题：请明确加热箱的实时温度要不要接入GMS系统，还是按照此项要求只将加热箱的报警信号接入GMS系统中。。
回复：需将加热箱的实时温度及报警信号均接入GMS系统，以便运维人员及时发现故障问题。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，6.3.1 本工程范围包含:维护系统，报表系统，数据库系统， (略) 及子系统与FMCS中央 (略) 份， (略) 监视点的状态及数据经由 Ethernet 网络，送至FMCS中控室内，透过计算机 (略) 有的讯息 (略) 画面上；用于监测气体端使用特气泄露及供应状况。并于紧急状况时提供手动/自动关闭阀门功能及广播警告，GDS/GMS架构见图纸；
问题：紧急状况时提供手动/自动关闭阀门功能：实现此功能有两种方式，1）在上位机做相应设置，软件实现方案；2）在监控室做集中按钮箱，硬件实现方案；请明确实现此功能通过哪 * 种方案？。
回复：按照第 (略) ，即在上位机做相应设置，软件实现功能。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，6.3.2 ? 点级的故 (略) 级的诊断检测数据时标功能；
问题：请明 (略) 表达的具体内容。
回复：图控上可显示PLC的点位故障报告。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，6.3.5 ? 电盘的点里输入/输出的故障信号应该输出到SCADA
问题： (略) 的电盘故障信号是指UPS的故障信号吗？如果不是，那么明确电盘故障信号具体是指哪些？。
回复：电盘故障信号指本系统的总配电箱发生故障失电时、UPS故障无法运转时，SCADA界面需能显示相应故障报警。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * ，危险性气体柜设喷淋头接口、shutboy及AUTO guard。
问题：此处的AUTO guard是否指钢瓶防呆装置。
回复：AUTO guard指钢瓶接口防呆装置。
* 、GMS系统：Local scrubber的信号（故障，运行等）是否接入PLC？。
回复：需接入PLC。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目纯化系统技术要求6. * ，第 * 页4.5.2(1)对氩气的流量要求为 * NM3/H
问题：第 * 页(4)氩气纯化系要求流率为 * NM3/H。
回复：Ar purifier流量参数为 * NM3/h。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目纯化系统技术要求6. * ，第 * 页4.5.2(1)对氧气的流量要求为 * NM3/H
问题：第 * 页( * )氧气纯化系要求流率为 * NM3/H。
回复：O2 purifier流量参数为 * NM3/h。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目纯化系统技术要求6. * ，第 * 页4.5.2(1)对氧气的纯度要求为6N
问题：第 * 页( * )氧气纯化系要求流率为9N。
回复：O2 purifier纯度要求为6N。
* 、气体系统品牌表最终版7. * ，气体系统品牌表最终版7. * 中对材料写的“产地”
问题：此处 (略) 的所在地，还是指材料的原产地。 (略) 在 (略) ，材料价格有关税，运费的差异。。
回复：产地 指材料原产地。
* 、气体系统品牌表最终版7. * ，Scale(秤)品牌：Mettlertoledo，Gemtech，Setra，wika
问题：电子称的品牌是否可增加CAS（韩国）的品牌，此品 (略) 业也是常用品牌。
回复：不可增加， (略) 人提供的 (略) 选择。
* 、气体系统品牌表最终版7. * ，钢瓶自动关闭装置Cylinder Auto Shut-boy品牌：VS * MARK2,TYK
问题：shutboy的品牌是否增加VS * komyo（日本）品牌，此品 (略) 业也是常用品牌。
回复：不可增加， (略) 人提供的 (略) 选择。
* 、商务：附件H特气系统工具清单
问题：此 (略) 列较多，价格是否纳入此包？。
回复：由承包方免费提供。
* 、工程关键节点要求，只要求总工期为 * 个日历天。请提供送气及验收移交时间。
回复：具体工作的时间节点 (略) (略) 确认。
* 、C2H4 POU 流量是 0.1m3/h 还是 0.4m3/h ?标单与纯化规格书有矛盾。
回复：C2H4 POU流量是0.4nm3/h。
* 、C3H8 POU 流量是 0.1m3/h 还是 0.4m3/h ?标单与纯化规格书有矛盾。
回复：C3H8 POU 流量是 0.1m3/h 。
* 、无尘室内的气体设备（GC,VMB）的排气由 * 次配包负责连接？
回复：是，机电总包预留排风 (略) 有设备，由 * (略) 分配接管更为合理。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * .docx第 * 页中说明：仅气瓶柜钢瓶出口气动阀需具备远程关断功能，请问是否为VMB端或设备端泄露时仅需关断对应的上游气柜气动阀即可，VMB端不做远程关断功能？
回复：VMB段泄漏自动关断GC出口；‘仅气瓶柜钢瓶出口气动阀需具备远程关断功能’，此项描述是指在特气房出现泄漏情况，房间环境点联动失效但可读取泄漏值，由运维人员在SCADA界面远程关断钢瓶出口气动阀。
* 、气体输送及侦测系统（GMS）设计、采购及安装项目技术要求7. * .docx第 * 页中说明：气体泄漏读值可通过侦测器本身自带的4～ * mA模拟量输出接点提供给控制单元(PLC)。但全费用清单中规划的偵 (略) 路通讯（ (略) 线数量 * 7米），请问偵測器是否要求TCP/ (略) 路通讯？如不是那么偵測器的讯号线规格是否可更改标单中的规格数量？
回复：侦测器为TCP/ (略) 络通讯模式。
* 、偵測器的取样管是否可用PTFE材质？
回复：可以。
* 、PLC是否可增加施耐德品牌，目前图控软件Wonderware Intouch为 (略) 并购，施耐德的PLC直接支持Wonderware图控软件，可在Intouch上直接显 (略) 有状态，整合更方便。
回复：不可增加， (略) 人提供的 (略) 选择。
* 、全费用清单中显示的PLC为AB的元器件，此处是为参考，我司可按照常用品牌规划或是已指定AB的PLC？
回复：不指定AB的PLC，为参考。
* 、全费用清单中的线缆规格米数是否可变更按照 (略) 调整？
回复：可以。
* 、组态软件是否需要配置开发版？或是 (略) 版即可？
回复：需为开放式的完整版，承包方需提供源代码，以便招标人后期扩充。
* 、 * -VMB-3S-H2-POU，图纸支路有气动阀，是否改为手动？
回复：VMB进口主管配置气动阀，支路气动阀取消，改为手动阀。
* 、5%O2/He VMP，图纸 5S+2S 各 * 台，标单 6S+3S各 * 台 ，按那个为准？
回复：以图纸为准。
* 、C4F8 VMP，图纸2S+5S各1台，标单3S+2S 共3台，按那个为准？
回复：以图纸为准。
* 、标单A-3. * ，HE,数量空白。是否需要？
回复：He vmp ，1进4出，不需此规格vmp，以图纸为准。
* 、标单A-3. * ，H2 3/4”进1/2“出1台，是否改为配置1支路POU需求 ?
回复：是，请投标人核对设备图纸 * -VMB-3S-H2-POU。
* 、PID 是否按“ (略) 太赫兹-PID- * ”为准？
回复：是，招标人仅提供了 * 套“ (略) 太赫兹-PID- * ”。
* 、标单内的TAKE-OFF数量是否已包含 * %的余量？
回复： (略) 核对。
* 、防爆间设备需要EX认证, 是否接受Z-Purge方式？
回复：易燃易爆间电气设备须具有EX防爆。
* 、毒性/腐蚀性/燃烧性/自燃性气体使用EX认证的自调控加热带,标单内容没提到，按何者为准？
回复：结合标单中工程量，材料要求按照技术要求中描述为准。
* 、1/2“必须使用成品弯头？可否使用弯管方式？
回复：3/4’寸以 (略) 弯管方式，弯管半径需满足技术要求。
* 、3/8"*5/8"双套可否使用弯管？
回复： (略) 弯管方式，弯管半径需满足技术要求。
* 、请提供氧分析仪的规格；
水分仪NH3 * 台，N2,AR共用 * 台，H2 * 台；氧分仪是N2,AR共用 * 台，H2 * 台；但是图纸上写的是N2,AR,H2水氧共用，请确认何者为准？
回复：N2/AR/H2水分仪、氧份仪共用，H2测试VMB与N2/AR测试VMP单独设置。
* 、选样方式需要手动还是自动选样？
回复：手动选样即可，在界面上做成N2/H2/AR这 * 种选项，管道切换完成后手动选择测试气体种类再开始测试。
* 、是否采用两个机柜，H2/N2/AR * 个，NH3 * 个?
回复：N2/AR的测试采用共用VMP，H2的测试采用VMB，NH3测试采用VMB。
* 、CQC PID图内没有看到纯化器，安装纯化器 * 方面可以给机台做零点校准，确认机台零点是否准确，另 * 方便也可以在发生异常时，立刻判断是气体真实品质波动还是机台问题，请确认是否需要增加 ?
回复：不增加，本包CQC系统安装于外延灰区内，用于工艺生产人员日常监测气体品质用。
* 、关于仪器校正，DF * E需要定期做高点校正，外部高点校正用的钢瓶盘面是否包含本工程？
回复：仪器校正含在售后服务内。
* 、建议贵司整体采用Servomex的配置方案，针对纯化器后9N的气体，Meeco Tracer的精确度/误差（Accuracy）实际为4~6PPB（视不同Sa (略) 差别），可能无法满足贵司实际需求（1PPB）,方案如下：
? H2/N2/AR 中的水采用 DF * 选样检测，LDL 1PPB，精确度 1PPB，优于Meeco的4~6PPB
? H2/N2/AR 中的氧采用 DF * E选样检测，LDL * PPT，精确度0.1PPB
? NH3中的水采用DF * 单独检测，LDL * PPB，精确度5PPB，优于Tiger Optics的Halo-LP的 * 和9PPB
回复：H2/N2/AR中的水氧分析仪可以采用Servomex品牌，NH3中的水分析仪不可以采用。H2/N2/AR中的氧分析仪增加液空品牌。
说明：请个潜在投标人在信e采 (略) 下载完整的澄清文件附件： * AT 点击查看>> (略) (略) * 期气体输送、侦测系统（GMS） (略) 理器设计、采购及安装项目澄清文件.pdf
(略) (略) 有限公司
(略) 安天利信 (略)
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