尾气处理装置国际招标澄清或变更公告(2)0730-194011020019/95
尾气处理装置国际招标澄清或变更公告(2)0730-194011020019/95
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | (略) 理装置 | * 台 | (1)Array (略) 理设备主要使用在平板显示工业中的PECVD领域, (略) (略) 理SiH4, N2O, NH3, NF3, H2等气体。(2)处理特气时的天然气流量,(由MFC控制):≤ * Slm。(3)出口温度:≤ * °C。 | 点击查看>> |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | (略) 理装置 | * 台 | (1)Array (略) 理设备主要使用在平板显示工业中的PECVD领域, (略) (略) 理SiH4, N2O, NH3, NF3, H2等气体。(2)处理特气时的天然气流量,(由MFC控制):≤ * Slm。(3)出口温度:≤ * °C。 | 点击查看>> |
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