溅射机(PVD)设备采购项目 (略) (1)

发布时间： 点击查看>>

澄清或变更简要说明：各投标人：
* 、招标文件序号1 钛铝溅射机（正面工艺）P * 页 “( * )设备的铝工艺腔需配置背气控制温度，背气的气压需高于5torr” 此条款删除。
* 、序号1 钛铝溅射机（正面工艺）P * 页 “( * )设备的铝工艺腔需配置背气控制温度，背气的气压需高于5torr” 此条款删除。
* 、序号1 钛铝溅射机（正面工艺）
2.5.2 For aluminum chamber, the thickness of the Al deposited on wafer per target ≥ * μm.
2.5.2 对铝工艺腔，单个靶材淀积在wafer上的铝层总厚度 ≥ * μm。
修改为：
2.5.2 For aluminum chamber, the thickness of the Al deposited on wafer per target ≥ * μm, the peplacement cycle of the target and shields shall be the same (Shields only be replaces when the target is replaced).
2.5.2 对铝工艺腔，单个靶材淀积在wafer上的铝层总厚度 ≥ * μm，靶材和shields的更换周期需 * 致（即只需在更换靶材时才更换腔体内的shields）。
* 、序号1 钛铝溅射机（正面工艺）第 * 页增加
★2.6 When set the heater temperature to * ℃, run * monitoring wafers continuously, the resistance of * th wafer needs to be increased by less than 2% relative to the resistance of the 1st wafer;
★2.6 铝工艺腔Heater设定为 * ℃时，连续作业 * 片监控片，需满足第 * 片监控片的方块电阻相对第1片监控片的方块电阻增加量不超过2%；
* 、序号3 * 层金属溅射机（背面工艺）：
1.2.1主系统及其主要配置（设备具体配置 (略) 分的工艺与设备要求）
(1)Main support system 2 sets, each tool configured with 2(or more than 2) nickel vanadium chambers and 1 titanium chamber and 1 silver deposition chamber.
(1)主机 2 台，每台设备配置2个（或2个以上）镍钒工艺腔和 1个钛工艺腔，1个银工艺腔；
修改为：
(1)Main support system 2 sets, each tool configured with 2(or more than 2) nickel vanadium chambers and 1 titanium chamber and 1 silver deposition chamber and several etch chambers to meet throughput requirement.
(1)主机 2 台，每台设备配置2个（或2个以上）镍钒工艺腔和 1个钛工艺腔，1个银工艺腔和几个刻蚀腔以满足产能的需求；
* 、序号3 * 层金属溅射机（背面工艺）：
(6) The sputter system should be configured with Chiller.
(6) 设备需配备冷水机组；
修改为：
★(6)The sputter system shall be configured with chiller for process chamber, temperature: - * ℃, each process chamber in the maintenance(such as the replacement of target, shields) can not affect the normal process of other process chamber, resulting in down of other chamber;
★(6)设备需为各工艺腔配置chiller，温度：- * ℃，各工艺腔在维护检修时（如更换靶材和shields时）不能影响其它工艺腔的正常工艺，而导致其它工艺腔停机；
如招标文件其 (略) ，均作相应修改。
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:溅射机(PVD)设备采购项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>> J 点击查看>>
招标项目名称:溅射机(PVD)设备采购项目
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	钛铝溅射机（正面工艺）	2台	该溅射系统需要配置多个RF射频刻蚀腔和多个溅射镀膜腔，用于IGBT和F (略) 正面铝和钛镀膜工序	以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。
2	铝溅射机（背面工艺）	1台	该溅射系统需要配置多个RF射频刻蚀腔和多个溅射镀膜腔，用于IGBT和F (略) 背面铝镀膜工序	以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。
3	* 层金属溅射机（背面工艺）	2台	该溅射系统需要配置多个个RF射频刻蚀腔和多个溅射镀膜腔，用于IGBT和F (略) 背面Ti/NiV/Ag镀膜工序	以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、 (略) 投设备的制造或销售资格，所投设备制造商 * 年1月至本项目投标截止时间之前溅射机设备的销售业绩不低于5台；（投标文件中必须提供订单或合同复印件或制造商出具的其他有效证明材料）。
2、 (略) ，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：湖 (略) * 室
招标文件售价:￥ * /$ *
其他说明:每天上午8: * - * : * ；下午 * : * - * : * ( (略) 时间，节假日除外)
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点: (略) 省公 (略) ( (略) 市 (略) 区万家丽南路 * 段 * 号）相应开标室
开标地点: (略) 省公 (略) ( (略) 市 (略) 区万家丽南路 * 段 * 号）相应开标室
6、投标人在投 (略) 中车 (略) 标 (略) （http:/ 点击查看>> ） (略) 投标电子交易平台（http:/ 点击查看>> ）完成注册及信息核验。 (略) 网公示。

7、联系方式
招标人:
地址: (略) 市时代路
联系人:汤婷
联系方式: 点击查看>>
招标代理机构:湖 (略)
地址: (略) 省 (略) 市 (略) 区湘府东路 * 段 * 号
联系人:李玩妹 李广
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币): (略) (略)
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币): 点击查看>>
账号(美元):
其他:开户名：湖 (略)
账号： 点击查看>>
9、其他补充说明
其他补充说明:电子信箱：[email protected]



溅射机(PVD)设备采购项目 (略) (1)

发布时间： 点击查看>>

澄清或变更简要说明：各投标人：
* 、招标文件序号1 钛铝溅射机（正面工艺）P * 页 “( * )设备的铝工艺腔需配置背气控制温度，背气的气压需高于5torr” 此条款删除。
* 、序号1 钛铝溅射机（正面工艺）P * 页 “( * )设备的铝工艺腔需配置背气控制温度，背气的气压需高于5torr” 此条款删除。
* 、序号1 钛铝溅射机（正面工艺）
2.5.2 For aluminum chamber, the thickness of the Al deposited on wafer per target ≥ * μm.
2.5.2 对铝工艺腔，单个靶材淀积在wafer上的铝层总厚度 ≥ * μm。
修改为：
2.5.2 For aluminum chamber, the thickness of the Al deposited on wafer per target ≥ * μm, the peplacement cycle of the target and shields shall be the same (Shields only be replaces when the target is replaced).
2.5.2 对铝工艺腔，单个靶材淀积在wafer上的铝层总厚度 ≥ * μm，靶材和shields的更换周期需 * 致（即只需在更换靶材时才更换腔体内的shields）。
* 、序号1 钛铝溅射机（正面工艺）第 * 页增加
★2.6 When set the heater temperature to * ℃, run * monitoring wafers continuously, the resistance of * th wafer needs to be increased by less than 2% relative to the resistance of the 1st wafer;
★2.6 铝工艺腔Heater设定为 * ℃时，连续作业 * 片监控片，需满足第 * 片监控片的方块电阻相对第1片监控片的方块电阻增加量不超过2%；
* 、序号3 * 层金属溅射机（背面工艺）：
1.2.1主系统及其主要配置（设备具体配置 (略) 分的工艺与设备要求）
(1)Main support system 2 sets, each tool configured with 2(or more than 2) nickel vanadium chambers and 1 titanium chamber and 1 silver deposition chamber.
(1)主机 2 台，每台设备配置2个（或2个以上）镍钒工艺腔和 1个钛工艺腔，1个银工艺腔；
修改为：
(1)Main support system 2 sets, each tool configured with 2(or more than 2) nickel vanadium chambers and 1 titanium chamber and 1 silver deposition chamber and several etch chambers to meet throughput requirement.
(1)主机 2 台，每台设备配置2个（或2个以上）镍钒工艺腔和 1个钛工艺腔，1个银工艺腔和几个刻蚀腔以满足产能的需求；
* 、序号3 * 层金属溅射机（背面工艺）：
(6) The sputter system should be configured with Chiller.
(6) 设备需配备冷水机组；
修改为：
★(6)The sputter system shall be configured with chiller for process chamber, temperature: - * ℃, each process chamber in the maintenance(such as the replacement of target, shields) can not affect the normal process of other process chamber, resulting in down of other chamber;
★(6)设备需为各工艺腔配置chiller，温度：- * ℃，各工艺腔在维护检修时（如更换靶材和shields时）不能影响其它工艺腔的正常工艺，而导致其它工艺腔停机；
如招标文件其 (略) ，均作相应修改。
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:溅射机(PVD)设备采购项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>> J 点击查看>>
招标项目名称:溅射机(PVD)设备采购项目
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	钛铝溅射机（正面工艺）	2台	该溅射系统需要配置多个RF射频刻蚀腔和多个溅射镀膜腔，用于IGBT和F (略) 正面铝和钛镀膜工序	以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。
2	铝溅射机（背面工艺）	1台	该溅射系统需要配置多个RF射频刻蚀腔和多个溅射镀膜腔，用于IGBT和F (略) 背面铝镀膜工序	以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。
3	* 层金属溅射机（背面工艺）	2台	该溅射系统需要配置多个个RF射频刻蚀腔和多个溅射镀膜腔，用于IGBT和F (略) 背面Ti/NiV/Ag镀膜工序	以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、 (略) 投设备的制造或销售资格，所投设备制造商 * 年1月至本项目投标截止时间之前溅射机设备的销售业绩不低于5台；（投标文件中必须提供订单或合同复印件或制造商出具的其他有效证明材料）。
2、 (略) ，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：湖 (略) * 室
招标文件售价:￥ * /$ *
其他说明:每天上午8: * - * : * ；下午 * : * - * : * ( (略) 时间，节假日除外)
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点: (略) 省公 (略) ( (略) 市 (略) 区万家丽南路 * 段 * 号）相应开标室
开标地点: (略) 省公 (略) ( (略) 市 (略) 区万家丽南路 * 段 * 号）相应开标室
6、投标人在投 (略) 中车 (略) 标 (略) （http:/ 点击查看>> ） (略) 投标电子交易平台（http:/ 点击查看>> ）完成注册及信息核验。 (略) 网公示。

7、联系方式
招标人:
地址: (略) 市时代路
联系人:汤婷
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招标代理机构:湖 (略)
地址: (略) 省 (略) 市 (略) 区湘府东路 * 段 * 号
联系人:李玩妹 李广
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8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币): (略) (略)
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币): 点击查看>>
账号(美元):
其他:开户名：湖 (略)
账号： 点击查看>>
9、其他补充说明
其他补充说明:电子信箱：[email protected]

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