氟化氙气体刻蚀机（清设比选 点击查看>> 号）延期公告

发布时间： 点击查看>> * : * : * 阅读量：7次

延期信息

延期理由：	由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至 点击查看>> * : *

采购项目名称	氟化氙气体刻蚀机	采购项目编号	清设比选 点击查看>> 号
公告开始时间	点击查看>> * : * : *	公告截止时间	点击查看>> * : * : *
采购单位	(略)	付款方式	合同签订后付款 * %,验收合格后 * 周付尾款 * %
对外联系人	本 (略)	联系电话	本 (略)
签约时间要求	成交后5个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)	交货时间要求	成交后 * 个工作日
最高限价	未公布
交货地址	逸夫技术科学楼 *
供应商特殊资质要求	无

采购清单1

物资名称	采购数量	计量单位
氟化氙气体刻蚀机	1	台

品牌	SAMCO
型号	VPE-4F
技术参数及配置要求	腔体：铝， * mm（内径） 铝室盖（带玻璃窗） 样品尺寸：最大直径4“晶圆x 1/批 气体引入：储备罐x 1 储液罐：可选 带直阀的标准铝罐， * cc（包括 * 克氟化氙）由南非Pelchem制造和提供，需额外购买 进气阀：波纹管密封截止阀（气动） SUS * L管子，主机内1/8“&1/4” SUS * L管子，1/4“连接至主机 配件：SUS VCR 真空计：反应室用 隔膜表*（1. * × * ～1. * × * -1pa） ：用于储备罐 隔膜表*（1. * × * ～1. * × * -1pa） 附件制造商规格 排气管线：DRP Kashiyama NEODRY * E（ * 升/分钟） 或选择EBARA DRP（ * L/min） 排气阀：气动角阀 操作：通过定序器自动操作也可以手动操作
质保期	* 个月

(略)

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氟化氙气体刻蚀机（清设比选 点击查看>> 号）延期公告

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延期理由：	由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至 点击查看>> * : *

采购项目名称	氟化氙气体刻蚀机	采购项目编号	清设比选 点击查看>> 号
公告开始时间	点击查看>> * : * : *	公告截止时间	点击查看>> * : * : *
采购单位	(略)	付款方式	合同签订后付款 * %,验收合格后 * 周付尾款 * %
对外联系人	本 (略)	联系电话	本 (略)
签约时间要求	成交后5个工作日(如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)	交货时间要求	成交后 * 个工作日
最高限价	未公布
交货地址	逸夫技术科学楼 *
供应商特殊资质要求	无

采购清单1

物资名称	采购数量	计量单位
氟化氙气体刻蚀机	1	台

品牌	SAMCO
型号	VPE-4F
技术参数及配置要求	腔体：铝， * mm（内径） 铝室盖（带玻璃窗） 样品尺寸：最大直径4“晶圆x 1/批 气体引入：储备罐x 1 储液罐：可选 带直阀的标准铝罐， * cc（包括 * 克氟化氙）由南非Pelchem制造和提供，需额外购买 进气阀：波纹管密封截止阀（气动） SUS * L管子，主机内1/8“&1/4” SUS * L管子，1/4“连接至主机 配件：SUS VCR 真空计：反应室用 隔膜表*（1. * × * ～1. * × * -1pa） ：用于储备罐 隔膜表*（1. * × * ～1. * × * -1pa） 附件制造商规格 排气管线：DRP Kashiyama NEODRY * E（ * 升/分钟） 或选择EBARA DRP（ * L/min） 排气阀：气动角阀 操作：通过定序器自动操作也可以手动操作
质保期	* 个月

(略)

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