延期信息

延期理由：	由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至 点击查看>> * : *

项目名称	紫外光刻机	项目编号	JJ 点击查看>>
公告开始日期	点击查看>> * : * : *	公告截止日期	点击查看>> * : * : *
采购单位	(略)	付款方式	货到验收合格后付全款
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后 * 天	到货时间要求	签约后 * 天
预 算	￥ * , * . *
收货地址	(略) 省 (略) 市浑 (略) 创新路 * 号
供应商资质要求	符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件 需要有ISO认证和CE认证 (必选)
公告说明	由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至 点击查看>> * : *

采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
紫外光刻机	1	台	其他特种设备

品牌	IOE
型号	URE- 点击查看>>
预算	￥ * , * . *
技术参数及配置要求	工作条件： 电压： * V电源(电流大于 * A以上) 压缩空气：≥0.4Mpa 真空：≤-0. * Mpa 氮气：根据 (略) 配置 主要技术参数： 曝光面积： * mm× * mm 曝光波长： * nm 分辨力：≤1mm（胶厚1.5 mm的正胶） 对准精度：±0.6mm 显微镜扫描台运动范围：X： > * mm;Y: > * mm 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 样片尺寸：直径f * mm-- f * mm（各种不规则片） 厚度0.1mm--6mm 曝光方式：定时（倒计时方式）曝光模式 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光 * 种功能 照明不均匀性： 3%（f * mm 范围） (略) 对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍 物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍 目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍 曝光对准双工位自动切换 调平接触压力通过传感器保证重复 数字设定对准间隙和间隙 具备压印模块接口，也具备接近模块接口 掩模相对 (略) 程： X: > ±5mm; Y: >±5mm; q: > ±6o 最大焦厚： * mm（SU8胶，用户提供检测条件） (略) 性：3 o 曝光能量密度：> * mW/cm2,照明面温度< * oC 单层曝光 * 键完成 采用球气浮 曝光光源：紫外LED（进口） 设备构成与配置明细 整机由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台、对准显微镜、电控系统、气动系统及辅助配置构成。 （1）曝光头 紫外LED光源模块 LED光源整形模块 冷却风扇 光学系统：固定光栏、可变光栏、电子快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（ * 个透镜）、场镜、冷光反射镜； （2）对准工件台 光刻机底座 工位切换台（气缸） 掩模样片整体运动台 掩模样片相对运动台 转动台 样片调平机构, * 点自动完成 样片调焦机构，电机自动调 基片抽拉式上下机构 承片台4个：f * mm 、2英寸、3英寸、4英寸 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 样片抽拉式上下机构 （3）对准显微镜 光源、 电源 (略) 对准显微镜主体 目镜3对（ * 倍、 * 倍、 * 倍，共6个） 物镜3对（4倍、 * 倍、 * 倍，共6个） CCD对准系统， * 寸液晶显示器 （4）电控系统 紫外LED控制模块 嵌入式控制系统 液晶触摸控制屏 控制柜桌 （5）气动系统 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 电磁阀驱动 气动仪表 （6）其他附件 真空泵 * 台 空压机 * 台 配套接口管道 （7）技术资料 使用维修说明书 产品检验合格证
售后服务	(略) 点:本地（ (略) ）;电话支持:7x * 小时;服务年限:1;服务时限:报修后 * 小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;供应商提供售后服务承诺书，对所提供的产品做如下承诺：具有完善的技术支持服务体系， (略) 在地具备直接的实施和服务能力，能够向用户提供统 * 快捷的技术支持服务。设备验收合格后，供应商对用户提供设备的使用、校准、日常保养等方面的培训。买方如遇技术问题，供应商随时提供技术支持。保修1年，负责长期维修（只收材料成本费和旅差费，不收劳务费）。质保期自最终验收合格并交付使用之日起计算。设备质保期按国家、厂商、 (略) ，质保期由设备安装调试合格后开始计算。;

(略)

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项目名称	紫外光刻机	项目编号	JJ 点击查看>>
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采购单位	(略)	付款方式	货到验收合格后付全款
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系电话	中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求	成交后 * 天	到货时间要求	签约后 * 天
预 算	￥ * , * . *
收货地址	(略) 省 (略) 市浑 (略) 创新路 * 号
供应商资质要求	符合《政府采购法》第 * 十 * 条规定的供应商基本条件 需要有ISO认证和CE认证 (必选)
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采购清单1

采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
紫外光刻机	1	台	其他特种设备

品牌	IOE
型号	URE- 点击查看>>
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技术参数及配置要求	工作条件： 电压： * V电源(电流大于 * A以上) 压缩空气：≥0.4Mpa 真空：≤-0. * Mpa 氮气：根据 (略) 配置 主要技术参数： 曝光面积： * mm× * mm 曝光波长： * nm 分辨力：≤1mm（胶厚1.5 mm的正胶） 对准精度：±0.6mm 显微镜扫描台运动范围：X： > * mm;Y: > * mm 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 样片尺寸：直径f * mm-- f * mm（各种不规则片） 厚度0.1mm--6mm 曝光方式：定时（倒计时方式）曝光模式 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光 * 种功能 照明不均匀性： 3%（f * mm 范围） (略) 对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数 * 倍，光学+电子放大 * 倍 物镜 * 对：4倍、 * 倍、 * 倍 目镜 * 对： * 倍、 * 倍、 * 倍 曝光对准双工位自动切换 调平接触压力通过传感器保证重复 数字设定对准间隙和间隙 具备压印模块接口，也具备接近模块接口 掩模相对 (略) 程： X: > ±5mm; Y: >±5mm; q: > ±6o 最大焦厚： * mm（SU8胶，用户提供检测条件） (略) 性：3 o 曝光能量密度：> * mW/cm2,照明面温度< * oC 单层曝光 * 键完成 采用球气浮 曝光光源：紫外LED（进口） 设备构成与配置明细 整机由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台、对准显微镜、电控系统、气动系统及辅助配置构成。 （1）曝光头 紫外LED光源模块 LED光源整形模块 冷却风扇 光学系统：固定光栏、可变光栏、电子快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（ * 个透镜）、场镜、冷光反射镜； （2）对准工件台 光刻机底座 工位切换台（气缸） 掩模样片整体运动台 掩模样片相对运动台 转动台 样片调平机构, * 点自动完成 样片调焦机构，电机自动调 基片抽拉式上下机构 承片台4个：f * mm 、2英寸、3英寸、4英寸 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 样片抽拉式上下机构 （3）对准显微镜 光源、 电源 (略) 对准显微镜主体 目镜3对（ * 倍、 * 倍、 * 倍，共6个） 物镜3对（4倍、 * 倍、 * 倍，共6个） CCD对准系统， * 寸液晶显示器 （4）电控系统 紫外LED控制模块 嵌入式控制系统 液晶触摸控制屏 控制柜桌 （5）气动系统 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 电磁阀驱动 气动仪表 （6）其他附件 真空泵 * 台 空压机 * 台 配套接口管道 （7）技术资料 使用维修说明书 产品检验合格证
售后服务	(略) 点:本地（ (略) ）;电话支持:7x * 小时;服务年限:1;服务时限:报修后 * 小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;供应商提供售后服务承诺书，对所提供的产品做如下承诺：具有完善的技术支持服务体系， (略) 在地具备直接的实施和服务能力，能够向用户提供统 * 快捷的技术支持服务。设备验收合格后，供应商对用户提供设备的使用、校准、日常保养等方面的培训。买方如遇技术问题，供应商随时提供技术支持。保修1年，负责长期维修（只收材料成本费和旅差费，不收劳务费）。质保期自最终验收合格并交付使用之日起计算。设备质保期按国家、厂商、 (略) ，质保期由设备安装调试合格后开始计算。;

(略)

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