评分细目

分值

设备控制系统是否是VITA系统。（是VITA系统得 * 分；不是 得零分）

*

机械传送系统是否是全新制造的VHP+ 带两个陶瓷BLADE和Clamp。

3

ESC CHUCK 是否带WAFER 温度监控功能。（有WAFER温度监控功能 得3分；没有 得零分）

3

TURBO ISOLATION阀提供的是否是全新制造 “钟摆阀”（钟摆阀且全新品得3分；不是钟摆阀或旧阀 得零分）

3

Chamber RPS品牌是MKS还是AE，（MKS得2分； AE得零分）

2

此货物配备的分子泵的品牌和型号是否 (略) 生产的 型号：STP A * P，

（EDWARDS STP A * P得2分. 其他品牌型号得零分）

2

评分细目

分值

* 个腔ESC CHU (略) 全新还是翻新（ (略) 全新：得3分，翻新：得0分）

3

对此 (略) 有质量流量计（MFC）， (略) 商提供 (略) 校准证书。（能够提供，：得2分； 不能提供： 得零分）

2

腔内的工艺陶瓷件COVER RING和COLLAR RING，NOZZLE，DOME 提供 (略) 新品，还是2ND Source （原厂全新品：得2分， (略) 年份越晚，得分越高， (略) 全新品：得0分）

2

此货物配备的质量流量计是新品，还是翻新品。（ (略) 年份越晚，得分越高）。

2

此货物配备的分子泵是新品，还是翻新品。（全新品得1分，翻新品得0分）

1

Chamber RPS，是否为全新制造。（ (略) 年份越晚，得分越高）

2

评分细目

分值

装机过程中， (略) 的设备工程师的每日平均数量

2

设备工程师的年资及证明（同类型设备经验必须大于8年得分，否则不得分）

2

常驻 (略) 负责保修期的设备工程师的数量

2

备件仓库是否在 (略) 本地

2

储备该设备备品备件的仓库在 (略) 本地，备件库存金额是否>= USD * K

2

评分细目

分值

设备控制系统是否是VITA系统。（是VITA系统得 * 分；不是 得零分）

*

机械传送系统是否是全新制造的VHP+ 带两个陶瓷BLADE和Clamp。

3

ESC CHUCK 是否带WAFER 温度监控功能。（有WAFER温度监控功能 得3分；没有 得零分）

3

TURBO ISOLATION阀提供的是否是全新制造 “钟摆阀”（钟摆阀且全新品得3分；不是钟摆阀或旧阀 得零分）

3

Chamber RPS品牌是MKS还是AE，（MKS得2分； AE得零分）

2

此货物配备的分子泵的品牌和型号是否 (略) 生产的 型号：STP A * P，

（EDWARDS STP A * P得2分. 其他品牌型号得零分）

2

评分细目

分值

* 个腔ESC CHU (略) 全新还是翻新（ (略) 全新：得3分，翻新：得0分）

3

对此 (略) 有质量流量计（MFC）， (略) 商提供 (略) 校准证书。（能够提供，：得2分； 不能提供： 得零分）

2

腔内的工艺陶瓷件COVER RING和COLLAR RING，NOZZLE，DOME 提供 (略) 新品，还是2ND Source （原厂全新品：得2分， (略) 年份越晚，得分越高， (略) 全新品：得0分）

2

此货物配备的质量流量计是新品，还是翻新品。（ (略) 年份越晚，得分越高）。

2

此货物配备的分子泵是新品，还是翻新品。（全新品得1分，翻新品得0分）

1

Chamber RPS，是否为全新制造。（ (略) 年份越晚，得分越高）

2

评分细目

分值

装机过程中， (略) 的设备工程师的每日平均数量

2

设备工程师的年资及证明（同类型设备经验必须大于8年得分，否则不得分）

2

常驻 (略) 负责保修期的设备工程师的数量

2

备件仓库是否在 (略) 本地

2

储备该设备备品备件的仓库在 (略) 本地，备件库存金额是否>= USD * K

2