澄清或变更简要说明：变更投标截止时间（开标时间）
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1 全自动裂片机 * 台 包2 陶瓷盘清洗机 4台 包3 甩干机 * 台（套） 包4 Plasma清洗设备 * 台 包5 RTA退火炉 2台 包6 自动曝光机 4台 包7 自动匀胶机 3台 包8 自动显影机 4台 包9 扩张机 2台 包 * 自动裁膜机 1台 包 * 激光划片机-双焦点 7台 包 * 倒装测试机 8台（套） 包 * 全自动刮边机 2台 包 * 全自动单面化学机械抛光机 1台 包 * 全自动上蜡机 2台 包 * 全自动研磨机 3台 包 * 全自动硬抛机 1台 包 * AOI芯片目检机 2台（套） 包 * 晶圆自动翻转倒膜机 2台 包 * 全自动分选机 8台 包 * SPM清洗机 1台（套） 包 * 去光阻清洗机 1台（套） 包 * ITO+BOE半自动蚀刻清洗机 1台（套） 包 * PSS缺陷及反射率检测设备 3台（套） 包 * 光刻版自动清洗机 1台 包 * 膜厚测试仪 1台（套）
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>> SUMECA * / *
招标项目名称:光刻版自动清洗机
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	全自动裂片机	* 台	设备产能：≥7片/小时（4英寸7Mil×9Mil，隐切工艺）；
2	陶瓷盘清洗机	4台	* 次清洗盘数≧3盘
3	甩干机	* 台（套）	晶圆尺寸：适用于4/6 inch
4	Plasma清洗设备	* 台	制程温度: ＜ * ℃（5 min）
5	RTA退火炉	2台	产品尺寸： 4吋、6寸产品及碎片
6	自动曝光机	4台	预对准精度：精度≤ * μm。
7	自动匀胶机	3台	晶圆尺寸：适用于4 /6inch且4 /6inch兼容生产，切换生产无需硬件调试。
8	自动显影机	4台	具备DIW清洗功能及洗背功能，且晶片清洗洁净程度必须满足工艺要求
9	扩张机	2台	扩膜倍数范围：1~1.5倍圆度；
*	自动裁膜机	1台	单边切割斜裂宽度小于6um；
*	激光划片机-双焦点	7台	单边切割斜裂宽度小于6um；
*	倒装测试机	8台（套）	带自动清针功能，自动校准功能
*	全自动刮边机	2台	探头测厚精度±3(um)
*	全自动单面化学机械抛光机	1台	设备产能： 月产能 ≥ * 0
*	全自动上蜡机	2台	* 次加工片数2"≥ * 片, 4"≥5片
*	全自动研磨机	3台	研磨作业时间< * min
*	全自动硬抛机	1台	* 次加工片数2"≥ * 片, 4"≥5片
*	AOI芯片目检机	2台（套）	可加工wafer 尺寸：2-4寸wafer,6 (略) 升级；
*	晶圆自动翻转倒膜机	2台	可生产单颗晶粒尺寸大小： * .6μm * * μm~ * μm * * μm；
*	全自动分选机	8台	扫描判别率： * . * %（误判率＜0. * %）；
*	SPM清洗机	1台（套）	节水功能：节水 * %以上
*	去光阻清洗机	1台（套）	温控保护： * 道保护装置
*	ITO+BOE半自动蚀刻清洗机	1台（套）	节水模式：节水 * %以上
*	PSS缺陷及反射率检测设备	3台（套）	稼动率（1年内）：大于 * ％
*	光刻版自动清洗机	1台	产能：≥ * PC/H
*	膜厚测试仪	1台（套）	设备验收合格后 (略) 稼动率需大于 * ％

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本； 2、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查） 3、投 (略) 在开标日前 * 个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件 4、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署，则需要提供《单位负责人授权书》，授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查） 如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦9楼西侧（ (略) 长江路 * 号）
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点:苏美达大厦 * 会议室
开标地点:苏美达大厦 * 会议室
6、投标人在投标 (略) （http:/ 点击查看>> ） (略) 投标电子交易平台（http://）完成注册及信息核验。评标结 (略) 和公示。
7、联系方式
招标人: (略) (略)
地址: (略)
联系人:金经理
联系方式: 点击查看>>
招标代理机构:苏美达 (略)
地址: (略)
联系人:邓梦诗
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):
澄清或变更简要说明：变更投标截止时间（开标时间）
(略) (略) ，于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1 全自动裂片机 * 台 包2 陶瓷盘清洗机 4台 包3 甩干机 * 台（套） 包4 Plasma清洗设备 * 台 包5 RTA退火炉 2台 包6 自动曝光机 4台 包7 自动匀胶机 3台 包8 自动显影机 4台 包9 扩张机 2台 包 * 自动裁膜机 1台 包 * 激光划片机-双焦点 7台 包 * 倒装测试机 8台（套） 包 * 全自动刮边机 2台 包 * 全自动单面化学机械抛光机 1台 包 * 全自动上蜡机 2台 包 * 全自动研磨机 3台 包 * 全自动硬抛机 1台 包 * AOI芯片目检机 2台（套） 包 * 晶圆自动翻转倒膜机 2台 包 * 全自动分选机 8台 包 * SPM清洗机 1台（套） 包 * 去光阻清洗机 1台（套） 包 * ITO+BOE半自动蚀刻清洗机 1台（套） 包 * PSS缺陷及反射率检测设备 3台（套） 包 * 光刻版自动清洗机 1台 包 * 膜厚测试仪 1台（套）
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>> SUMECA * / *
招标项目名称:光刻版自动清洗机
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	全自动裂片机	* 台	设备产能：≥7片/小时（4英寸7Mil×9Mil，隐切工艺）；
2	陶瓷盘清洗机	4台	* 次清洗盘数≧3盘
3	甩干机	* 台（套）	晶圆尺寸：适用于4/6 inch
4	Plasma清洗设备	* 台	制程温度: ＜ * ℃（5 min）
5	RTA退火炉	2台	产品尺寸： 4吋、6寸产品及碎片
6	自动曝光机	4台	预对准精度：精度≤ * μm。
7	自动匀胶机	3台	晶圆尺寸：适用于4 /6inch且4 /6inch兼容生产，切换生产无需硬件调试。
8	自动显影机	4台	具备DIW清洗功能及洗背功能，且晶片清洗洁净程度必须满足工艺要求
9	扩张机	2台	扩膜倍数范围：1~1.5倍圆度；
*	自动裁膜机	1台	单边切割斜裂宽度小于6um；
*	激光划片机-双焦点	7台	单边切割斜裂宽度小于6um；
*	倒装测试机	8台（套）	带自动清针功能，自动校准功能
*	全自动刮边机	2台	探头测厚精度±3(um)
*	全自动单面化学机械抛光机	1台	设备产能： 月产能 ≥ * 0
*	全自动上蜡机	2台	* 次加工片数2"≥ * 片, 4"≥5片
*	全自动研磨机	3台	研磨作业时间< * min
*	全自动硬抛机	1台	* 次加工片数2"≥ * 片, 4"≥5片
*	AOI芯片目检机	2台（套）	可加工wafer 尺寸：2-4寸wafer,6 (略) 升级；
*	晶圆自动翻转倒膜机	2台	可生产单颗晶粒尺寸大小： * .6μm * * μm~ * μm * * μm；
*	全自动分选机	8台	扫描判别率： * . * %（误判率＜0. * %）；
*	SPM清洗机	1台（套）	节水功能：节水 * %以上
*	去光阻清洗机	1台（套）	温控保护： * 道保护装置
*	ITO+BOE半自动蚀刻清洗机	1台（套）	节水模式：节水 * %以上
*	PSS缺陷及反射率检测设备	3台（套）	稼动率（1年内）：大于 * ％
*	光刻版自动清洗机	1台	产能：≥ * PC/H
*	膜厚测试仪	1台（套）	设备验收合格后 (略) 稼动率需大于 * ％

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本； 2、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查） 3、投 (略) 在开标日前 * 个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件 4、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署，则需要提供《单位负责人授权书》，授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查） 如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：苏美达大厦9楼西侧（ (略) 长江路 * 号）
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: 点击查看>> * : *
投标文件送达地点:苏美达大厦 * 会议室
开标地点:苏美达大厦 * 会议室
6、投标人在投标 (略) （http:/ 点击查看>> ） (略) 投标电子交易平台（http://）完成注册及信息核验。评标结 (略) 和公示。
7、联系方式
招标人: (略) (略)
地址: (略)
联系人:金经理
联系方式: 点击查看>>
招标代理机构:苏美达 (略)
地址: (略)
联系人:邓梦诗
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):
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