公告概要：

公告信息：
采购项目名称	聚焦离子束双束微纳加工系统
品目	货物/通用设备/仪器仪表/试验仪器及装置/其他试验仪器及装置
采购单位	(略) (略)
行政区域	(略) 市	公告时间	* 日 * : *
首次公告日期	* 日	更正日期	* 日
联系人及联系方式：
项目联系人	程海政
项目联系电话	点击查看>>
采购单位	(略) (略)
采购单位地址	(略) 市 (略) 区松岭路 * 号
采购单位联系方式	尚艳红， 点击查看>>
代理机构名称	(略) 有限公司
代理机构地址	(略) 市 (略) 路 * (略) A座 *
代理机构联系方式	程海政， 点击查看>>

项目名称：聚焦离子束双束微纳加工系统

项目编号：SDZG- 点击查看>>

* 、项目联系方式：

项目联系人：程海政

项目联系电话： 点击查看>>

* 、原公告名称及地址时间等：

首次公告日期： * 日

本次变更日期： * 日

原公告项目名称： (略)

原公告地址：http:/ 点击查看>> * 、更正事项、内容：

各投标人：

由我单位组织的聚焦离子束双 (略) ，现对投标人提出的疑问做如下答复：

问题 * ：2.2.3电子束

★（1）分辨率：在 * KV优于0.7 nm， * KV优于0.6 nm；

备注：电子束成像大多数都采用低加速电压条件成像，招标文件只给了 * KV和 * KV下的分辨率要求，并未给出1KV下的分辨率要求，不能体现低电压下的性能，低电压对不导电非常重要，建议添加上1KV的分辨率，建议将“分辨率：在 * KV优于0.7 nm， * KV优于0.6 nm”修改为：分辨率：在1 KV优于1.0 nm, * KV优于0.7 nm， * KV优于0.6 nm。

答复：同意增加1KV下分辨率指标， (略) 文件 “★分辨率：在 * KV优于0.7nm， * KV优于0.6nm”修改为“★分辨率：在1KV优于1.0nm, * KV优于0.7nm， * KV优于0.6nm”。

问题 * ：（2）加速电压：0. * kV- * kV，连续可调，无需模式更换；

备注：加速电压0. * kV为蔡司独家指标，且0. * kV下蔡司实际无法给出良好的测试结果，因此建议将“加速电压：0. * kV- * kV”修改为：加速电压：0.2kV- * kV

答复：同意修改， (略) 文件“（2）加速电压：0. * kV- * kV······”修改为“加速电压：0.2kV- * kV······”

问题 * ：★（7）样 (略) ，保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时同时工作，具备实时观察离子束加工的监控功能。

备注：离子束不工作的时候，磁场模式可以显著提高分辨率，提升双束电镜的电镜成像性能，建议此条修改为：具有样 (略) 模式，保证电子束离子束可以都能实时同时工作，具备实时观察离子束加工的监控功能。

答复：同意修改， (略) 文件“★样 (略) ，保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时同时工作，具备实时观察离子束加工的监控功能”修改为“★具有样 (略) 模式，保证电子束离子束可以都能实时同时工作，具备实时观察离子束加工的监控功能”。

问题 * ：（3）气体注入针尖的移动范围为： X= * mm, Y= * mm, Z= * mm，移动速度： * - * μms-1, 移动精度1μm；

备注：气体注入针尖是在使用过程中非常容易因为人为因素撞弯，目前技术领先的机器设计都是预先设置好的，气体注入的时候，针尖的位置是预先确认好的；上述的针尖移动范围等指标早期设备自动化不高阶段，需要人工干预时期的 * 些参数，现在自动化更加高的机器，已经 (略) 这么复杂的设置，所以此条是否可以删除；

答复：删除本条技术要求。

问题 * ：（1） (略) 尺寸不小于 * mm× * mm，配备不少于 * 个附件接口，2套彩色CCD相机系统；

备注：导航用的CCD相机系统是彩色的，另外 * 套监控样品离极靴安全高度的是红外的CCD相机，红外CCD相机的成本更高，红外光源的实时监控可以减少可见光对 * 次电子探测器和被散射探测器的图像干扰，而采用彩色CCD的设备，采集SE/BSE/EDS信号时必须关闭CCD光源。因此建议将“2套彩色CCD相机系统”修改为：2套CCD相机系统

答复：同意修改， (略) 文件“······2套彩色CCD相机系统”修改为“······2套CCD相机系统”。

问题 * ：（2）至少为 * 轴样品台，为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um；备注： (略) 家重复精度算法不 * 样，1um是蔡司独家性指标，3um完全能满足使用需求；因此建议将“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um”修改为：为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于3um

答复：同意修改， (略) 文件“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um”修改为“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于3um”。

问题 * ：2.3系统配置要求:2探测器系统：样品室内 * 次电子探测器、镜筒内主光轴上环形 * 次电子探测器、气动可抽拉 * 分割背散射电子探测器、样品束流检测器、2个样品室内彩色CCD相机（同上，因此建议将“2套彩色CCD相机系统”修改为：2套CCD相机系统。

答复：同意修改， (略) 文件“······2套彩色CCD相机系统”修改为“······2套CCD相机系统”。

问题 * ：2.3系统配置要求:6配件系统：原装进口空气冷却式冷却循环水系统、原装进口空气压缩机 * Hz / * Hz、多功能旋钮操作控制面板、不间断电源（可持续1小时）、鱼眼模式（鱼眼模式有变形，是十多年前的技术，而且是蔡司独家的叫法，目的是导航用的，每家都有各自的导航模式，叫法不同，建议将“鱼眼模式”修改为：导航模式）、Windows英文操作系统、计算机及显示器2台

答复：同意修改， (略) 文件“鱼眼模式”修改为“导航模式”。

* 、其它补充事宜：

(略) (略) 分之 * ， (略) 为准。

* 、联系方式：

采购单位名称： (略) (略)

采购单位地址： (略) 市 (略) 区松岭路 * 号

采购单位联系方式：尚艳红， 点击查看>>

采购代理机构全称： (略) 有限公司

采购代理机构地址： (略) 市 (略) 路 * (略) A座 *

采购代理机构联系方式：程海政， 点击查看>>



公告概要：

公告信息：
采购项目名称	聚焦离子束双束微纳加工系统
品目	货物/通用设备/仪器仪表/试验仪器及装置/其他试验仪器及装置
采购单位	(略) (略)
行政区域	(略) 市	公告时间	* 日 * : *
首次公告日期	* 日	更正日期	* 日
联系人及联系方式：
项目联系人	程海政
项目联系电话	点击查看>>
采购单位	(略) (略)
采购单位地址	(略) 市 (略) 区松岭路 * 号
采购单位联系方式	尚艳红， 点击查看>>
代理机构名称	(略) 有限公司
代理机构地址	(略) 市 (略) 路 * (略) A座 *
代理机构联系方式	程海政， 点击查看>>

项目名称：聚焦离子束双束微纳加工系统

项目编号：SDZG- 点击查看>>

* 、项目联系方式：

项目联系人：程海政

项目联系电话： 点击查看>>

* 、原公告名称及地址时间等：

首次公告日期： * 日

本次变更日期： * 日

原公告项目名称： (略)

原公告地址：http:/ 点击查看>> * 、更正事项、内容：

各投标人：

由我单位组织的聚焦离子束双 (略) ，现对投标人提出的疑问做如下答复：

问题 * ：2.2.3电子束

★（1）分辨率：在 * KV优于0.7 nm， * KV优于0.6 nm；

备注：电子束成像大多数都采用低加速电压条件成像，招标文件只给了 * KV和 * KV下的分辨率要求，并未给出1KV下的分辨率要求，不能体现低电压下的性能，低电压对不导电非常重要，建议添加上1KV的分辨率，建议将“分辨率：在 * KV优于0.7 nm， * KV优于0.6 nm”修改为：分辨率：在1 KV优于1.0 nm, * KV优于0.7 nm， * KV优于0.6 nm。

答复：同意增加1KV下分辨率指标， (略) 文件 “★分辨率：在 * KV优于0.7nm， * KV优于0.6nm”修改为“★分辨率：在1KV优于1.0nm, * KV优于0.7nm， * KV优于0.6nm”。

问题 * ：（2）加速电压：0. * kV- * kV，连续可调，无需模式更换；

备注：加速电压0. * kV为蔡司独家指标，且0. * kV下蔡司实际无法给出良好的测试结果，因此建议将“加速电压：0. * kV- * kV”修改为：加速电压：0.2kV- * kV

答复：同意修改， (略) 文件“（2）加速电压：0. * kV- * kV······”修改为“加速电压：0.2kV- * kV······”

问题 * ：★（7）样 (略) ，保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时同时工作，具备实时观察离子束加工的监控功能。

备注：离子束不工作的时候，磁场模式可以显著提高分辨率，提升双束电镜的电镜成像性能，建议此条修改为：具有样 (略) 模式，保证电子束离子束可以都能实时同时工作，具备实时观察离子束加工的监控功能。

答复：同意修改， (略) 文件“★样 (略) ，保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时同时工作，具备实时观察离子束加工的监控功能”修改为“★具有样 (略) 模式，保证电子束离子束可以都能实时同时工作，具备实时观察离子束加工的监控功能”。

问题 * ：（3）气体注入针尖的移动范围为： X= * mm, Y= * mm, Z= * mm，移动速度： * - * μms-1, 移动精度1μm；

备注：气体注入针尖是在使用过程中非常容易因为人为因素撞弯，目前技术领先的机器设计都是预先设置好的，气体注入的时候，针尖的位置是预先确认好的；上述的针尖移动范围等指标早期设备自动化不高阶段，需要人工干预时期的 * 些参数，现在自动化更加高的机器，已经 (略) 这么复杂的设置，所以此条是否可以删除；

答复：删除本条技术要求。

问题 * ：（1） (略) 尺寸不小于 * mm× * mm，配备不少于 * 个附件接口，2套彩色CCD相机系统；

备注：导航用的CCD相机系统是彩色的，另外 * 套监控样品离极靴安全高度的是红外的CCD相机，红外CCD相机的成本更高，红外光源的实时监控可以减少可见光对 * 次电子探测器和被散射探测器的图像干扰，而采用彩色CCD的设备，采集SE/BSE/EDS信号时必须关闭CCD光源。因此建议将“2套彩色CCD相机系统”修改为：2套CCD相机系统

答复：同意修改， (略) 文件“······2套彩色CCD相机系统”修改为“······2套CCD相机系统”。

问题 * ：（2）至少为 * 轴样品台，为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um；备注： (略) 家重复精度算法不 * 样，1um是蔡司独家性指标，3um完全能满足使用需求；因此建议将“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um”修改为：为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于3um

答复：同意修改， (略) 文件“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于1um”修改为“为保证精确切割要求XY方向移动重复精度必须优于3um”。

问题 * ：2.3系统配置要求:2探测器系统：样品室内 * 次电子探测器、镜筒内主光轴上环形 * 次电子探测器、气动可抽拉 * 分割背散射电子探测器、样品束流检测器、2个样品室内彩色CCD相机（同上，因此建议将“2套彩色CCD相机系统”修改为：2套CCD相机系统。

答复：同意修改， (略) 文件“······2套彩色CCD相机系统”修改为“······2套CCD相机系统”。

问题 * ：2.3系统配置要求:6配件系统：原装进口空气冷却式冷却循环水系统、原装进口空气压缩机 * Hz / * Hz、多功能旋钮操作控制面板、不间断电源（可持续1小时）、鱼眼模式（鱼眼模式有变形，是十多年前的技术，而且是蔡司独家的叫法，目的是导航用的，每家都有各自的导航模式，叫法不同，建议将“鱼眼模式”修改为：导航模式）、Windows英文操作系统、计算机及显示器2台

答复：同意修改， (略) 文件“鱼眼模式”修改为“导航模式”。

* 、其它补充事宜：

(略) (略) 分之 * ， (略) 为准。

* 、联系方式：

采购单位名称： (略) (略)

采购单位地址： (略) 市 (略) 区松岭路 * 号

采购单位联系方式：尚艳红， 点击查看>>

采购代理机构全称： (略) 有限公司

采购代理机构地址： (略) 市 (略) 路 * (略) A座 *

采购代理机构联系方式：程海政， 点击查看>>

85