司尾气处理设备及服务招标变更
司尾气处理设备及服务招标变更
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | (略) 理设备 | * 台 | (略) (略) 理芯片制造工艺过程中产生的各种工艺尾气,设备对于ETCH及CVD 工艺中全氟化碳气体(PFC)去除效率≥ * %, H2浓度≤1%, (略) 理效率(DRE)≥ * %;详见招标文件第 * 章货物需求 * 览表及技术规格。 | 全新设备 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | (略) 理设备 | * 台 | (略) (略) 理芯片制造工艺过程中产生的各种工艺尾气,设备对于ETCH及CVD 工艺中全氟化碳气体(PFC)去除效率≥ * %, H2浓度≤1%, (略) 理效率(DRE)≥ * %;详见招标文件第 * 章货物需求 * 览表及技术规格。 | 全新设备 |
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