氢氟酸清洗机国际招标澄清或变更公告(2)
氢氟酸清洗机国际招标澄清或变更公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 氢氟酸清洗机 | 2台 | (1)氢氟酸清洗机通过低浓度氢氟酸去除G4.5 AMOLED驱动背板表面的自然氧化物,并借助臭氧水去除金属污染物同时生成均匀致密的氧化膜,为ELA或GI层提供良好的表面形态。(2)设备尺寸(不含维保区域):长≤ * mm,宽≤ * mm,高≤ * mm;(3)Spin Unit Passline: * mm,EUV Passline: * mm。 | 点击查看>> |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 氢氟酸清洗机 | 2台 | (1)氢氟酸清洗机通过低浓度氢氟酸去除G4.5 AMOLED驱动背板表面的自然氧化物,并借助臭氧水去除金属污染物同时生成均匀致密的氧化膜,为ELA或GI层提供良好的表面形态。(2)设备尺寸(不含维保区域):长≤ * mm,宽≤ * mm,高≤ * mm;(3)Spin Unit Passline: * mm,EUV Passline: * mm。 | 点击查看>> |
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