干式工艺排气处理装置招标变更
干式工艺排气处理装置招标变更
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 干 (略) 理装置/Dry local scrubber | 6台 | 配套 * 英寸集成电路生产企业的设备,满足 (略) 理,保证工 (略) ,满足 * nm及以下产品量产及研发需求。 |
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 干 (略) 理装置/Dry local scrubber | 6台 | 配套 * 英寸集成电路生产企业的设备,满足 (略) 理,保证工 (略) ,满足 * nm及以下产品量产及研发需求。 |
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