项目名称： (略) 专业设备3

采购需求中设备 (略) 如下调整：

第 * 项货物 名称：光伏组件制备系统 数量：1套

原技术参数要求：

功能、配置和主要技术要求：

功能：光伏电池制备

主要技术要求：

1.真空腔室：净空间尺寸不小于Φ * ×H * mm，前门开度尺寸不小于 * × * mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ * mm，配 * 套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用 * 不锈钢材质；

2.真空系统：主泵分子泵抽速不小于 * L/s，双级旋片泵抽速不小于6L/s，主泵需采用国产或进口知名品牌，全量程数显复合真空计量程：1× * ～1× * -5Pa；投标文件需要注明分子泵、双级旋片泵品牌；

3.真空极限： * -8Torr（优于3.0× * -5Pa）；抽速：抽至2× * -6Torr≤ * min，抽至 * -7Torr≤2h；

4.基片台：根据客户要求定制的基片台和掩膜板， (略) 理基片不小于4英寸，基片台配有气动挡板，磁力密封，随设备提供 * 块掩膜板；基片台旋转且水冷：旋转速度0- * 转/分连续可调，磁力密封；

5.蒸发源：不少于3组蒸发源，可拓展至 * 组蒸发源，源间配隔离挡板，源上至少2源有独立挡板；

6.蒸发电源：不少于1台蒸发电源，蒸发电源功率不小于2.2KW，电流可调精度不大于0.1安培；如需要电源切换蒸发源，需要通过电控实现，不能采用插拔重新接线的方式；

7.速率和膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；厚度监测范围：1?～ * ?，分辨率±1?；速率监测范围：0.1?～ * .9? /s，分辨率±0.1?；配置不少于1个探头， * 片6MHz原装晶振片；

8.操控系统：采用PLC手自动控制，触摸屏操作，PLC采用西门子、 * 菱或者同等知名品牌， * 键抽真空；

9.水冷系统： (略) 件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等，整机配水流报警保护系统；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～ * ℃，控温精度±0.1℃；

* . 其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机1台，静音气泵1台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作；镀膜设备及外围设备（冷水机，空压机等）总占地面积不超过1平米；

* . 该包设备的核心产品为高真空电阻蒸发镀膜设备，核心产品整机免费保修期不少于2年，核心产品需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件，原件放入正本，复印件放入副本。

* .要求提供全新设备，分子泵，机械泵，真空计，膜厚 (略) 日期 (略) 日期 * 个月；交货期：合同签订后1周内。

* .手套箱要求： * 不锈钢的箱体，长 * mm，宽 * mm，高 * mm，厚度3mm，左后侧留有镀膜机接口；1 个 * 不锈钢的大过渡仓，直径 * mm，长度 * mm右侧；1 个 * 不锈钢的小过渡仓，直径 * mm，长度 * mm右侧；水氧指标：小于1ppm；泄露率：小于0. * vol%/h；

货物配置要求：

1. 热蒸发系统1套。

2. 手套箱1套。

技术标准：国家标准

质量保证期：1年

现调整为：

货物 名称：光伏组件制备系统 数量：1套

功能、配置和主要技术要求：

功能：光伏电池制备

主要技术要求：

1.真空腔室：净空间尺寸不小于Φ * ×H * mm，前门开度尺寸不小于 * × * mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ * mm，配 * 套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用 * 不锈钢材质；

2.真空系统：主泵分子泵抽速不小于 * L/s，双级旋片泵抽速不小于6L/s，主泵需采用国产或进口知名品牌，全量程数显复合真空计量程：1× * ～1× * -5Pa；投标文件需要注明分子泵、双级旋片泵品牌；

3.真空极限： * -8Torr（优于3.0× * -5Pa）；抽速：抽至2× * -6Torr≤ * min，抽至 * -7Torr≤2h；

4.基片台：根据客户要求定制的基片台和掩膜板， (略) 理基片不小于4英寸，基片台配有气动挡板，磁力密封，随设备提供 * 块掩膜板；基片台旋转且水冷：旋转速度0- * 转/分连续可调，磁力密封；

5.蒸发源：不少于3组蒸发源，可拓展至 * 组蒸发源，源间配隔离挡板，源上至少2源有独立挡板；

6.蒸发电源：不少于1台蒸发电源，蒸发电源功率不小于2.2KW，电流可调精度不大于0.1安培；如需要电源切换蒸发源，需要通过电控实现，不能采用插拔重新接线的方式；

7.速率和膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；厚度监测范围：1?～ * ?，分辨率±1?；速率监测范围：0.1?～ * .9? /s，分辨率±0.1?；配置不少于1个探头， * 片6MHz原装晶振片；

8.操控系统：采用PLC手自动控制，触摸屏操作，PLC采用西门子、 * 菱或者同等知名品牌， * 键抽真空；

9.水冷系统： (略) 件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等，整机配水流报警保护系统；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～ * ℃，控温精度±0.1℃；

* . 其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机1台，静音气泵1台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作；镀膜设备及外围设备（冷水机，空压机等）总占地面积不超过1平米；

* . 该包设备的核心产品为高真空电阻蒸发镀膜设备，核心产品整机免费保修期不少于2年，核心产品需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件，原件放入正本，复印件放入副本。

* . 要求提供全新设备，分子泵，机械泵，真空计，膜厚 (略) 日期 (略) 日期 * 个月；交货期：合同签订后1周内。

* . 手套箱要求：

1. 主要参数：

*水氧指标：小于1 ppm；

*泄露率：小于0. * vol%/h；为保证核心指标的真实性，投标时需提供第 * 方检测机构的检测报告， (略) 家公章。

2.技术指标：

1）手套箱箱体

*箱体：内部尺寸：长度： * mm深度： * mm；高度： * mm 材料： * 不锈钢

前窗： 倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度8 mm

*手套口：材料为铝合金，原色氧化，螺母在外面，O型圈密封

手套： * 基橡胶， 厚度0.4mm ，直径 8”，长度 * ”

过滤器 ： 规格 0.3 微米，1个气体入口和1个气体出口

搁物架： 不锈钢材料，内置3层，可调节。

箱体照明：LED灯，安装在每块玻璃窗前上方

管路：全部采用不锈钢

接口：备用接口3个， DN * KF，需要增加接口，可另外注明，电源接口 1 个 （ * V）

2) 大过渡舱：*尺寸：直径 * mm,长度 * mm 材料： * 不锈钢

滑动托盘： * 不锈钢

舱门：双门，阳极氧化铝材料，厚度 * mm，竖直操作，带提升机构

压力表：模拟显示

控制：电磁阀触摸屏自动操作

3)小过渡舱：尺寸直径 * mm，长度 * mm， (略) 分长度 * mm

材料： * 不锈钢

舱门：双门，翻盖式

4）气体净化循环系统：

*净化柱

功能：气体密闭，除水、除氧

容器材料： * 不锈钢

净化材料：铜触媒：5 kg 分子筛：5 kg

净化能力：除氧： * L 除水：2Kg

水氧指标：小于1ppm

*循环系统

工作气体：氮气、氩气

*循环能力：集成风机流量 * m3/h，加装变频

再生

操作：PLC自动控制再生过程

再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气5- * %)

阀门

主阀：DN * KF ，电气动角阀

控制阀：电磁集成阀

*管路：全部采用不锈钢

5）控制系统：

功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用PLC触摸屏。

压力控制： 控制箱体、过渡舱的压力，箱体工作压力+/- * mbar内可以自由设定，超出+/- * mbar系统自动保护；

脚踏板： 控制箱体压力，方便操作升压和降压

6）显示系统：采用PLC 触摸屏， (略) 状态，箱体压力、系统记录等

7）真空系统控制情况

真空泵，可手动或通过PLC启动，流量8m3/h ,可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度≤2x * -1pa

8) 其他配件

*水分析仪：测量范围：0～ * ppm 采用P2O5传感器，应用范围广，尤其对于锂电制造及金属有机等用户， (略) 清洗并重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。为保证核心指标的真实性，投标时需提供第 * 方检测机构的检测报告， (略) 家公章。

*氧分析仪：测量范围： 0～ * ppm 采用ZrO2传感器，避免了燃料电池寿命短，不能暴露在空气中的问题。为保证核心指标的真实性，投标时需提供第 * 方检测机构的检测报告， (略) 家公章。

*为保证设备质量，投标时需提供质量认证，UL,CE (略) 家公章。

*为保证售后，投 (略) 家承诺本设备保修期 * 年的承诺书原件（ (略) 家公章）。

货物配置要求：

1. 热蒸发系统1套。

2. 手套箱1套。

技术标准：国家标准

质量保证期：1年

其他设备不变。



项目名称： (略) 专业设备3

采购需求中设备 (略) 如下调整：

第 * 项货物 名称：光伏组件制备系统 数量：1套

原技术参数要求：

功能、配置和主要技术要求：

功能：光伏电池制备

主要技术要求：

1.真空腔室：净空间尺寸不小于Φ * ×H * mm，前门开度尺寸不小于 * × * mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ * mm，配 * 套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用 * 不锈钢材质；

2.真空系统：主泵分子泵抽速不小于 * L/s，双级旋片泵抽速不小于6L/s，主泵需采用国产或进口知名品牌，全量程数显复合真空计量程：1× * ～1× * -5Pa；投标文件需要注明分子泵、双级旋片泵品牌；

3.真空极限： * -8Torr（优于3.0× * -5Pa）；抽速：抽至2× * -6Torr≤ * min，抽至 * -7Torr≤2h；

4.基片台：根据客户要求定制的基片台和掩膜板， (略) 理基片不小于4英寸，基片台配有气动挡板，磁力密封，随设备提供 * 块掩膜板；基片台旋转且水冷：旋转速度0- * 转/分连续可调，磁力密封；

5.蒸发源：不少于3组蒸发源，可拓展至 * 组蒸发源，源间配隔离挡板，源上至少2源有独立挡板；

6.蒸发电源：不少于1台蒸发电源，蒸发电源功率不小于2.2KW，电流可调精度不大于0.1安培；如需要电源切换蒸发源，需要通过电控实现，不能采用插拔重新接线的方式；

7.速率和膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；厚度监测范围：1?～ * ?，分辨率±1?；速率监测范围：0.1?～ * .9? /s，分辨率±0.1?；配置不少于1个探头， * 片6MHz原装晶振片；

8.操控系统：采用PLC手自动控制，触摸屏操作，PLC采用西门子、 * 菱或者同等知名品牌， * 键抽真空；

9.水冷系统： (略) 件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等，整机配水流报警保护系统；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～ * ℃，控温精度±0.1℃；

* . 其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机1台，静音气泵1台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作；镀膜设备及外围设备（冷水机，空压机等）总占地面积不超过1平米；

* . 该包设备的核心产品为高真空电阻蒸发镀膜设备，核心产品整机免费保修期不少于2年，核心产品需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件，原件放入正本，复印件放入副本。

* .要求提供全新设备，分子泵，机械泵，真空计，膜厚 (略) 日期 (略) 日期 * 个月；交货期：合同签订后1周内。

* .手套箱要求： * 不锈钢的箱体，长 * mm，宽 * mm，高 * mm，厚度3mm，左后侧留有镀膜机接口；1 个 * 不锈钢的大过渡仓，直径 * mm，长度 * mm右侧；1 个 * 不锈钢的小过渡仓，直径 * mm，长度 * mm右侧；水氧指标：小于1ppm；泄露率：小于0. * vol%/h；

货物配置要求：

1. 热蒸发系统1套。

2. 手套箱1套。

技术标准：国家标准

质量保证期：1年

现调整为：

货物 名称：光伏组件制备系统 数量：1套

功能、配置和主要技术要求：

功能：光伏电池制备

主要技术要求：

1.真空腔室：净空间尺寸不小于Φ * ×H * mm，前门开度尺寸不小于 * × * mm，前门观察窗玻璃尺寸不小于Φ * mm，配 * 套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用 * 不锈钢材质；

2.真空系统：主泵分子泵抽速不小于 * L/s，双级旋片泵抽速不小于6L/s，主泵需采用国产或进口知名品牌，全量程数显复合真空计量程：1× * ～1× * -5Pa；投标文件需要注明分子泵、双级旋片泵品牌；

3.真空极限： * -8Torr（优于3.0× * -5Pa）；抽速：抽至2× * -6Torr≤ * min，抽至 * -7Torr≤2h；

4.基片台：根据客户要求定制的基片台和掩膜板， (略) 理基片不小于4英寸，基片台配有气动挡板，磁力密封，随设备提供 * 块掩膜板；基片台旋转且水冷：旋转速度0- * 转/分连续可调，磁力密封；

5.蒸发源：不少于3组蒸发源，可拓展至 * 组蒸发源，源间配隔离挡板，源上至少2源有独立挡板；

6.蒸发电源：不少于1台蒸发电源，蒸发电源功率不小于2.2KW，电流可调精度不大于0.1安培；如需要电源切换蒸发源，需要通过电控实现，不能采用插拔重新接线的方式；

7.速率和膜厚监控：采用石英晶振膜厚监控仪在蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；厚度监测范围：1?～ * ?，分辨率±1?；速率监测范围：0.1?～ * .9? /s，分辨率±0.1?；配置不少于1个探头， * 片6MHz原装晶振片；

8.操控系统：采用PLC手自动控制，触摸屏操作，PLC采用西门子、 * 菱或者同等知名品牌， * 键抽真空；

9.水冷系统： (略) 件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头、磁流体等，整机配水流报警保护系统；配高精度冷却循环水机1台，控温范围：5～ * ℃，控温精度±0.1℃；

* . 其它：配齐该镀膜设备的外围设备：冷却循环水机1台，静音气泵1台，所需试验蒸镀材料；保证设备就位后即能开展工作；镀膜设备及外围设备（冷水机，空压机等）总占地面积不超过1平米；

* . 该包设备的核心产品为高真空电阻蒸发镀膜设备，核心产品整机免费保修期不少于2年，核心产品需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件，原件放入正本，复印件放入副本。

* . 要求提供全新设备，分子泵，机械泵，真空计，膜厚 (略) 日期 (略) 日期 * 个月；交货期：合同签订后1周内。

* . 手套箱要求：

1. 主要参数：

*水氧指标：小于1 ppm；

*泄露率：小于0. * vol%/h；为保证核心指标的真实性，投标时需提供第 * 方检测机构的检测报告， (略) 家公章。

2.技术指标：

1）手套箱箱体

*箱体：内部尺寸：长度： * mm深度： * mm；高度： * mm 材料： * 不锈钢

前窗： 倾斜的视窗，透明钢化安全玻璃，厚度8 mm

*手套口：材料为铝合金，原色氧化，螺母在外面，O型圈密封

手套： * 基橡胶， 厚度0.4mm ，直径 8”，长度 * ”

过滤器 ： 规格 0.3 微米，1个气体入口和1个气体出口

搁物架： 不锈钢材料，内置3层，可调节。

箱体照明：LED灯，安装在每块玻璃窗前上方

管路：全部采用不锈钢

接口：备用接口3个， DN * KF，需要增加接口，可另外注明，电源接口 1 个 （ * V）

2) 大过渡舱：*尺寸：直径 * mm,长度 * mm 材料： * 不锈钢

滑动托盘： * 不锈钢

舱门：双门，阳极氧化铝材料，厚度 * mm，竖直操作，带提升机构

压力表：模拟显示

控制：电磁阀触摸屏自动操作

3)小过渡舱：尺寸直径 * mm，长度 * mm， (略) 分长度 * mm

材料： * 不锈钢

舱门：双门，翻盖式

4）气体净化循环系统：

*净化柱

功能：气体密闭，除水、除氧

容器材料： * 不锈钢

净化材料：铜触媒：5 kg 分子筛：5 kg

净化能力：除氧： * L 除水：2Kg

水氧指标：小于1ppm

*循环系统

工作气体：氮气、氩气

*循环能力：集成风机流量 * m3/h，加装变频

再生

操作：PLC自动控制再生过程

再生气体：工作气体与氢气混合气体，(氢气5- * %)

阀门

主阀：DN * KF ，电气动角阀

控制阀：电磁集成阀

*管路：全部采用不锈钢

5）控制系统：

功能：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用PLC触摸屏。

压力控制： 控制箱体、过渡舱的压力，箱体工作压力+/- * mbar内可以自由设定，超出+/- * mbar系统自动保护；

脚踏板： 控制箱体压力，方便操作升压和降压

6）显示系统：采用PLC 触摸屏， (略) 状态，箱体压力、系统记录等

7）真空系统控制情况

真空泵，可手动或通过PLC启动，流量8m3/h ,可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度≤2x * -1pa

8) 其他配件

*水分析仪：测量范围：0～ * ppm 采用P2O5传感器，应用范围广，尤其对于锂电制造及金属有机等用户， (略) 清洗并重复使用，避免了 * 次污染即报废的问题。为保证核心指标的真实性，投标时需提供第 * 方检测机构的检测报告， (略) 家公章。

*氧分析仪：测量范围： 0～ * ppm 采用ZrO2传感器，避免了燃料电池寿命短，不能暴露在空气中的问题。为保证核心指标的真实性，投标时需提供第 * 方检测机构的检测报告， (略) 家公章。

*为保证设备质量，投标时需提供质量认证，UL,CE (略) 家公章。

*为保证售后，投 (略) 家承诺本设备保修期 * 年的承诺书原件（ (略) 家公章）。

货物配置要求：

1. 热蒸发系统1套。

2. 手套箱1套。

技术标准：国家标准

质量保证期：1年

其他设备不变。

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