MEMS光声光谱痕量气体传感器

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MEMS光声光谱痕量气体传感器

一、成果介绍
该项目基于多年 MEMS 技术积累，开展微型光声光谱气体传感器关键部件设计、制造与集成技术研究，研制了国内首款集成式 MEMS 光声光谱 CO2 气体传感器，将建立设计-制造-封装-集成-应用的全链条技术壁垒，实现检测精度、成本和体积、可靠性的协同提升。检测下限 2μL/L，量程 5000μL/L；响应速度 T90 小于 15 秒；传感器体积0.8cm*0.5cm*0.7cm，电路板面积小于5cm*5cm；逐步实现气体检测种类包括 CO2、CO、CH4、C2H2 等。其产品应用领域包括碳排放监测、工业排放监测、电力设备油溶气体监测、危化气体监测等。填补国内集成式 MEMS 光声光谱气体传感器的空白。
二、成果亮点
当前已取 (略) 开具的校准证书，验证仪器准确可靠。
三、团队介绍
(略) 李运*教授团队。李运*教授长期从事MEMS 传感器、执行器与能量采集器的设计、制造及封装技术；MEMS 器件的算法、电路及系统集成方法；MEMS 器件的可靠性研究。王曙东助理教授长期从事 MEMS 声学传感器、基于光声效应的 MEMS 气体传感器、MEMS 传感器集成与应用研究。
一、成果介绍
该项目基于多年 MEMS 技术积累，开展微型光声光谱气体传感器关键部件设计、制造与集成技术研究，研制了国内首款集成式 MEMS 光声光谱 CO2 气体传感器，将建立设计-制造-封装-集成-应用的全链条技术壁垒，实现检测精度、成本和体积、可靠性的协同提升。检测下限 2μL/L，量程 5000μL/L；响应速度 T90 小于 15 秒；传感器体积0.8cm*0.5cm*0.7cm，电路板面积小于5cm*5cm；逐步实现气体检测种类包括 CO2、CO、CH4、C2H2 等。其产品应用领域包括碳排放监测、工业排放监测、电力设备油溶气体监测、危化气体监测等。填补国内集成式 MEMS 光声光谱气体传感器的空白。
二、成果亮点
当前已取 (略) 开具的校准证书，验证仪器准确可靠。
三、团队介绍
(略) 李运*教授团队。李运*教授长期从事MEMS 传感器、执行器与能量采集器的设计、制造及封装技术；MEMS 器件的算法、电路及系统集成方法；MEMS 器件的可靠性研究。王曙东助理教授长期从事 MEMS 声学传感器、基于光声效应的 MEMS 气体传感器、MEMS 传感器集成与应用研究。
    
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