高精度石英MEMS传感器系列产品研发

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高精度石英MEMS传感器系列产品研发

一、成果介绍
单晶石英材料具有优秀的压电特性，以及高品质因数、高弹性模量等特性，采用单晶石英制作的石英 MEMS 加速度传感器、压力传感器和陀螺等，具有高精度、高稳定性、高分辨力等特点，在微型惯性导航系统、姿态测量与控制等领 域具有广泛应用，对国民经济和国防安全具有重要意义。
二、成果亮点
实现了石英谐振加速度计、压力传感器和陀螺的工程化批量生产，打破了国外的技术垄断，实现了低成本、小体积、高精度的石英 MEMS 传感器的制造。
三、团队介绍
团队组经过近十年的技术攻关，突破了单晶石英各向异性湿法腐蚀、石英等离子干法刻蚀、以及电极制备工艺等关键微加工技术，研制出了高品质因数、高稳定性的石英振梁，开发了石英谐振加速度传感器、石英谐振压力传感器和石英振动陀螺等系列石英 MEMS 传感器，研究了影响石英谐振传感器精度和稳定性的应力隔离、封装阻尼、材料匹配、误差链等。
一、成果介绍
单晶石英材料具有优秀的压电特性，以及高品质因数、高弹性模量等特性，采用单晶石英制作的石英 MEMS 加速度传感器、压力传感器和陀螺等，具有高精度、高稳定性、高分辨力等特点，在微型惯性导航系统、姿态测量与控制等领 域具有广泛应用，对国民经济和国防安全具有重要意义。
二、成果亮点
实现了石英谐振加速度计、压力传感器和陀螺的工程化批量生产，打破了国外的技术垄断，实现了低成本、小体积、高精度的石英 MEMS 传感器的制造。
三、团队介绍
团队组经过近十年的技术攻关，突破了单晶石英各向异性湿法腐蚀、石英等离子干法刻蚀、以及电极制备工艺等关键微加工技术，研制出了高品质因数、高稳定性的石英振梁，开发了石英谐振加速度传感器、石英谐振压力传感器和石英振动陀螺等系列石英 MEMS 传感器，研究了影响石英谐振传感器精度和稳定性的应力隔离、封装阻尼、材料匹配、误差链等。
    
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